详细介绍
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台— 选型表
| 型号 | Carrier200.xy. /xyz.C |
| 运动方向 | Carrier.S200.XY : X，Y 方向 Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z 方向 |
| 底面尺寸×高度（mm） | 182×150×15 |
| 主体材料 | 铝合金/ 不锈钢 |
| 自重（g） | 1000 |
| 运动行程（um） | Carrier.S200.xy : 200×200 Carrier.S200.xyz : 200×200×200 |
| 中间通孔尺寸（mm） | 77×65 |
| 运动分辨率（nm） | 2 |
| 运动可重复精度（nm） | 士20 |
| 线性误差 | 优于 0.1% |
| 共振频率（Hz） | 200(X) 150(Y) |
| ZD负载（g） | 500 |
| 闭环传感器（闭环版本） | 电容式 |
| 驱动电压 | Max. 150 V |
| 推荐使用温度 | -15 ~ 40 °C |
| 质量（kg） | 1 |
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台尺寸图
