详细介绍
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um;
• 闭环定位精度优于 1nm;
• 最⼤负载 500 g;
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案;
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台— 选型表
型号 | Carrier200.xy. /xyz.C |
运动方向 | Carrier.S200.XY : X,Y 方向 Carrier.S200.XYZ : X,Y,Z 方向 |
底面尺寸×高度(mm) | 182×150×15 |
主体材料 | 铝合金/ 不锈钢 |
自重(g) | 1000 |
运动行程(um) | Carrier.S200.xy : 200×200 Carrier.S200.xyz : 200×200×200 |
中间通孔尺寸(mm) | 77×65 |
运动分辨率(nm) | 2 |
运动可重复精度(nm) | 士20 |
线性误差 | 优于 0.1% |
共振频率(Hz) | 200(X) 150(Y) |
ZD负载(g) | 500 |
闭环传感器(闭环版本) | 电容式 |
驱动电压 | Max. 150 V |
推荐使用温度 | -15 ~ 40 °C |
质量(kg) | 1 |
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台尺寸图
![](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/2075/Company/ebf80530034cb54f5990f458d7f08811.jpg)
![](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/2075/Company/ebf80530034cb54f5990f458d7f08811.jpg)