NanoSpace是Tescan公司2015年隆重推出的又一款超高真空（UHV）多功能平台。NanoSpace的电子枪和离子枪可以按客户需求进行配置，满足一切超高真空微区表面加工和分析的需求：

*可以配置成为超高真空UHV-SEM，UHV FIB-SEM或者UHV FIB-FIB系统

*独特的真空控制系统，样品室真空度可达5x10-10mbar，无污染

*25个接口，提供更多的附件选项

*高精度6轴样品台，稳定性<2nm/分钟

*高信噪比超高真空专用SE探测器（YAP闪烁体）

*交换室样品直径达100mm

NanoSpace提供各种定制：

可选配的电子枪：
高分辨高束流UHV e-Clips热场电子枪，Z小束斑尺寸<4nm，完全静电透镜，Z高加速电压30kV

可选配的离子枪：

UHV Cobra Ga+离子枪，分辨率<2.2nm
UHV i-FIB Xe等离子枪，分辨率<25nm，束流达2uA，加工速度是Ga+离子枪的50倍

UHV Cobra ExB AuSi或AuGe离子枪，分辨率<5nm，可以选择的离子质量范围为14-613

可选配的GIS：单支气体GIS-W或XeF2
SIMS选配：理想的UHV环境，CS和O显著提高二次离子产额，提高微量元素探测效率，
同时显示二次离子图像和二次电子图像。
UHV中间室可以作为任何第三方UHV系统的接口。

应用领域：

1.UHV环境下的MBE样品的观察加工和离子注入。

2.与需要UHV环境的同步辐射测试相结合

3.微区的同步SEM观察和SIMS分析