EBSD，即电子背散射衍射技术，是利用SEM快速测定样品表面的微区晶体取向，并可以根据微区晶体取向的信息来表征材料的微观结构：例如晶粒尺寸，相分布，织构，晶界分析，应变等等。由于EBSD可以同时提供多方位的材料微观信息，所以这项技术在材料研究和材料失效分析中越来越受到重视。