FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能： 1.轻元素分析：元素分析范围从H开始； 2.痕量元素分析：由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度，几个ppm的轻元素都可以进行表征； 3.优秀的空间分辨率：由于离子束与样品的作用区域更小，空间分辨率可达10nm； 4.深度剖析：由于离子束可以逐层剥离样品，从而可以实现深度上对元素分布的表征。