仪器网(yiqi.com)欢迎您!

| 注册
网站首页-资讯-专题- 微头条-话题-产品- 品牌库-搜索-供应商- 展会-招标-采购- 社区-知识-技术-资料库-方案-直播- 视频
上海尔迪仪器科技有限公司
主营产品:等离子清洗机,台阶仪,PECVD,聚对二甲苯涂层,原子力显微镜,X射线荧光光谱仪
认证会员 第 9 年

上海尔迪仪器科技有限公司

认证:工商信息已核实
仪企号 
尔迪仪器
友情链接 
技术文章
 
当前位置:首页>技术文章>尔迪介绍|台阶样板及光栅样板介绍

尔迪介绍|台阶样板及光栅样板介绍

发布:上海尔迪仪器科技有限公司
浏览次数:357

一、台阶样板

该类样板主要用来校准台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜等各种台阶高度测量仪器。

台阶高度范围:10nm~100μm;

台阶区域表面粗糙度Sa:优于5.0nm;

台阶区域均匀性:优于15nm;

台阶样片尺寸:10mm×10mm。

序号

台阶标称高度

1

10nm

2

20nm

3

30nm

4

50nm

5

100nm

6

200nm

7

500nm

8

1000nm

9

2μm

10

5μm

11

10μm

12

20μm

13

50μm

14

100μm


二、光栅样板

该类样板主要用来校准扫描电子显微镜、原子力显微镜等各种线条尺寸测量仪器。

样片类型:一维光栅、二维栅格

区域均匀性:优于15nm;

尺寸范围:100nm~10μm(一维光栅)、2μm~10μm(二维栅格)

线条直线度:优于10nm;


类型

具体结构

复合型光栅样板

包含一维结构:100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm;

二维结构:2μm、5μm、10μm

微米级光栅样板

包含一维、二维光栅结构

结构尺寸:2μm、5μm、10μm





2023-05-15
相关产品
免责声明

①本网刊载上述内容,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任

②若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi