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尔迪介绍|台阶样板及光栅样板介绍
发布:上海尔迪仪器科技有限公司浏览次数:357一、台阶样板
该类样板主要用来校准台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜等各种台阶高度测量仪器。
台阶高度范围:10nm~100μm;
台阶区域表面粗糙度Sa:优于5.0nm;
台阶区域均匀性:优于15nm;
台阶样片尺寸:10mm×10mm。
序号
台阶标称高度
1
10nm
2
20nm
3
30nm
4
50nm
5
100nm
6
200nm
7
500nm
8
1000nm
9
2μm
10
5μm
11
10μm
12
20μm
13
50μm
14
100μm
二、光栅样板
该类样板主要用来校准扫描电子显微镜、原子力显微镜等各种线条尺寸测量仪器。
样片类型:一维光栅、二维栅格
区域均匀性:优于15nm;
尺寸范围:100nm~10μm(一维光栅)、2μm~10μm(二维栅格)
线条直线度:优于10nm;
类型
具体结构
复合型光栅样板
包含一维结构:100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm;
二维结构:2μm、5μm、10μm
微米级光栅样板
包含一维、二维光栅结构
结构尺寸:2μm、5μm、10μm
2023-05-15相关产品 -
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