1、精密光学测量技术，可进行单层、多层和超小样品的测量，且灵敏度更高 2、非接触式信号采集，避免了接触式探针测量对样品的损伤和不稳定性缺点 3、先进的光探针技术，使得采样范围zui小直径可达300...