德国Fraunhofer IOF以激光为光源，测量角分辨散射ARS、BRDF、BT D F、散射损耗、反射、透射等；对表面、薄膜以及材料性质进行表征和分析；可进行在线或离线测量。

应用：

• 对表面，薄膜以及材料性质进行表征和分析

• 产品质量检测

• 光学性能分析

• 粗糙度分析

特征及参数：

• 可测量参数：散射光（角分辨散射ARS、双向反射分布BRDF、双向透射分布BTDF、散射损耗）、θ-2θ、反射、透射

• 全3D球面测量

• 入射角、散射角（方位角和极角）波长以及光源的偏振态均可调整

• 可对样品表面进行区域光栅扫描

• 桌面型系统（＜1m）

• 动态范围：15个数量级

• 等效噪声ARS：低至1x10^-9SR^-1

• 相对粗糙度的分辨率：＜0.1nm
  

• 波长：320nm、405nm、532nm、633nm、640nm、 808nm和1064nm（其他波长可定制）

• 外部光源耦合的光纤端口（例如：可调超连续光源）

• 方便操作的测量及分析软件

• 可分析值：粗糙度、PSD、TS、TIS等