CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含预热器) 双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。

CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是集三温区真空回转炉、三路质量流量计系统及低真空机组而成一种动态状态下的化学气相沉积系统。

该设备炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用电阻丝为加热元件。