可以定制，根据工艺需求，也可设计成炉体移动或者真空系统移动的方案。12个月质保期。

不均匀性低于1%； 阳极氧化铝腔体； 小反应腔体容积确保快速的循环时间并提高质量； ZD可支持4英寸基片； Z多支持4路50cc/100cc前驱体源； 高深宽比结构的保形生长。