企业介绍：

济南创谱仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高科技企业。目前公司的手动探针台、光学隔振平台、光学积分球、电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化，国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。 创谱仪器主要生产经营：光源（氙灯/光催化氙灯光源，卤钨灯光源，氘灯，汞灯，多波长可调光源，激光器）、分光单色仪、光学积分球、光电探测器、数据采集器、光谱测量系统、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。 

　　我们诚心聆听用户的需要与批评，作为不断改进的动力，能让您满意创谱仪器的产品及服务，就是我们的成就。我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好全方位质量保证，就是要让您 “付有所值”，以合理的价位得到优质的产品，这是我们对您选择创谱仪器真诚的回报。 

　　济南创谱仪器始终以满足用户需求为宗旨，分别于北京、 深圳设立分公司，为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、优质产品、高效服务” 是我们的经营理念， 公司长期重视优质高效、短时间为客户开发产品及提供技术支持。济南创谱仪器真诚的希望与国内外同仁携手合作，为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。

产品信息：

◆主体材质采用进口航空铝，在保证稳定性的同时，保证线性移动精度

◆位移部分采用精密加工燕尾槽，采用分离式燕尾，可以保证位移精度

◆整体驱动采用手轮驱动，双顶丝设计，保证稳定性

◆匹配多功能调节夹具，可以180°旋转+60°定向倾斜，适用于在显微镜下定向调节探针，不阻挡视野

◆底部可调磁性底座，可以通过旋钮调节磁力的有无，磁性吸附5Kg，保证了整个系统的稳定性

技术参数：

◆探针位移行程：XYZ三维分别13mm+180°旋转+任意角度倾斜

◆整体结构外形尺寸：170mm×45mm×80mm（LWH）

◆探针整体位移精度：10μm

◆漏电精度：同轴线缆（10pA）

            进口三同轴线缆（100fA）

◆可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头

            进口三同轴线缆只能选择三同轴接口(Triaxial)

◆测量范围：电流：10pA/100fA-10A

            电压：≤1000V

◆适用于R/F量测、I/O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等

颠覆传统操作模式：JEM-F200全自动测角台系统


应用工程师   王凯

测角台系统是透射电子显微镜（TEM）极其重要的硬件之一。 无论是早期的顶插式还是目前主流的侧插式，都需要操作人员手动将样品杆插入或拔出测角台。 这种传统的操作方式，易出错且非常依赖实验人员的操作熟练度，已经无法满足现阶段材料研究和工业分析领域简便GX、高通量的分析需求。 日本电子场发射透射电子显微镜JEM-F200全新的测角台系统颠覆了传统的操作方式，首次实现了全自动进出样品杆，并且兼顾了超高精度和稳定性，是电镜技术发展历程中一个里程碑式的变革。

插拔样品杆作为透射电镜操作的入门课程，传统的手动操作方式需要长时间认真反复的练习方能掌握，即便是经验丰富的使用者也可能由于误操作导致样品室漏气，严重的甚至会损坏测角台内部构造或影响样品杆的使用寿命。    新测角台ZD的特色就是通过名为“SPECPORTERTM”的系统实现了样品杆的自动进出操作，实验人员仅需要将样品杆放到测角台的预设位置，点击软件上的插入按钮就可以等待系统完成样品杆自动插入过程，如图1所示。 

图1 样品杆自动插入过程示意图。

step1：样品杆插到测角台的预抽位置；step2： 预抽完成后转移面板将样品杆固定；step3： 转移面板将样品杆固定不动，测角台旋转90°打开气锁；step4：转移面板将样品杆推入测角台；step5：自动插入样品杆过程结束。


这种自动操作的方式ZD的优点就是简便安全，将电镜进样过程中极易出错的复杂操作环节转变为机械系统的自动流程，避免了因人为误操作导致的设备故障，非常适合电镜新用户以及多操作者的分析测试平台使用。 特别是对于带有液氮罐的冷冻样品杆，由于自动进样过程中样品杆始终保持水平位置，整个过程中液氮不会洒落，从而既保证了操作人员的安全，又避免了因液氮洒落影响冷冻实验温度稳定性及低温持续时间。

此外，新测角台系统兼具高精度皮米级样品移动和超快速样品搜寻能力。 在需要高稳定性移动的使用场合，测角台对样品的操纵可达亚原子精度；需要高速移动样品的时候，超快样品移动速度可达0.3mm/s，对于常规的3mm铜网不到10s就能完成全范围搜索。 测角台系统还预置了多种样品杆控制接口（Rotation、Heating、Option），方便连接原位样品杆线缆。

JEM-F200所配备的测角台是一种简便、安全的侧插样品杆操控系统，实现了全自动样品杆，并且保证了皮米级精度和超快的搜索速度，能够满足高分辨图像和GX率分析等各种操作需求，是透射电子显微镜领域里程碑式的技术革新。

 

参考资料：

Kazuya Yamazaki et al. Development of new stage system for modern electron microscope. DOI:10.1002/9783527808465.EMC2016.5862

扫描探针显微镜的特点