全部评论(1条)
-
- Q773975494 2017-05-25 06:41:28
- 真空镀膜的黏附性比较差,容易脱落 电镀的种类很多,你说的电镀是否是水电镀? 水电镀的膜厚比真空溅镀的厚,水电镀膜厚一般为15~20UM,真空电镀 的膜厚一般为0.5~2UM.水电镀的化学液不同会有不同的色彩。 真空电镀的靶材不同镀膜颜色不同,真空电镀的功率,真空等级不同会有颜色的变化。 溅镀 溅镀是利用氩离子轰击靶材,击出靶材原子变成气相并析镀于基材上。溅镀具有广泛应用的特性,几乎任何材料均可析镀上。 1) 溅镀的优点与限制 i) 优点 a) 无污染 b) 多用途 c) 附着性好 ii) 限制 a) 靶材的制造受限制 b) 靶材的受损,如陶瓷靶材,限制了使用能量的范围 c) 析镀速率低 2) 溅镀系统 i) 分类 a) 平面两极式:靶材为负极,基材为正极 b) 三极式:由阳极,阴极,外加电子源等三种电极所组成的系统。外加电子源产生电场加速正极离子化的气体分子。三极式系统不能使用于反应性溅镀,因为电子会影响反应气体与污染灯丝。 c) 磁控溅镀:利用磁场作用提高溅镀速率 d) 反应溅镀:将反应性气体导入真空腔中,并与金属原子产生化合物以镀着。 ii) 电流的分类 a) 直流电溅镀-应用于导电基材与镀层 b) 交流(或射频)电溅镀-应用于导电或非导电基材与镀层 3) 溅镀系统组合 i) 靶材 在溅镀时,经电浆中的正离子轰击,而析镀于基材的镀层材料;靶材通常是阴极。 ii) 溅镀的通量 溅镀时的通量即为溅镀原子的流量。流量原子的组成与经冷却,且未产生内扩散的靶材相同。同一靶材的所有材料之溅镀速率大致相同。(然而,蒸镀的蒸镀速率并不同)。 iii) 接地屏蔽 将离子局限于仅轰击与溅镀靶材;避免靶材夹治具被溅击。屏蔽与靶材之间的距离必须小于暗带(dark space)的厚度,因此,在高频(13.5MHz)或高压使用时,此距离较近。 iv) 挡板 设置在两个电极之间的活动板。通常溅击清洁靶材(靶材可能会在装载或操作时受到大气的污染)时移置于靶材与基材之间。 v) 靶材的冷却 当外加能量输入系统,会使靶材的温度提高,并损坏靶材与夹治具的结合,因此必须冷却。一般靶材都是用水冷却之。 vi) 基材温度的控制 利用电阻与光源等加热。一般而言,基材的表面温度会因辉光放电,而高于块材。 4) 绝缘体的溅镀 绝缘薄膜可利用射频溅镀或反应溅镀。若采用直流电溅镀,将迅速造成表面电荷堆积而无法溅镀。 i) 射频电溅镀(RF Sputtering) 使用频率为13.56 MHz的射频电源,使靶材与镀层表面能被离子与电子交替的轰击,以避免电荷的堆积。 ii) 射频溅镀的优点 a) 电子轰击离子化的效率,且操作压力比较低(<1mtorr) b) 减少电弧(电弧的产生是由于粉尘或加热蒸发的气体) iii) 反应溅镀(Reactive spuutering) 将反应性气体加入氩气中,如Ar + H2S,而与溅镀原子,如镉形成硫化镉。(例如,在氩气加氮气的环境下溅镀钛,会形成氮化钛)。其可为直流电或射频反应溅镀。 5) 磁控溅镀(Magnetron Sputtering) "Magnetron"意指"磁化的电子"(Magnetical Electron) i) 优点与缺点 磁控溅镀虽会增加溅镀速率,相对地,亦会加速靶材的损耗。由于基材与电浆间的距离较大,使基材较远离电浆可在低的工作温度进行溅镀。 ii) 操作方法 由垂直的电场和磁场的结合组成。由于电磁的交互作用,促进电子集中于靶材附近,以提升离子化效应如下图所示。 a) 磁场会使负极表面形成电子的聚集处,离子会因受限的电子源的静电效应而聚集。 b) 电子能有效聚集于靶材的表面,使离子化效率提高并提高溅镀速率。
-
赞(18)
回复(0)
热门问答
- 真空镀膜与电镀的优缺点是什么?
2017-05-25 01:18:10
1080
1
- 纳米喷镀与电镀的区别是什么知道吗
2018-11-18 16:59:16
292
0
- 活塞杆上电镀的是什么?
2012-03-02 07:17:53
337
2
- wpc是什么电镀表面处理
2014-09-18 19:21:05
281
1
- 电镀 各种电镀的温度控制!
2012-03-14 15:52:45
161
1
- 电镀镍中 氨基磺酸镍 跟 硫酸镍 各有什么优缺点
2017-01-15 19:03:20
524
1
- 真空镀膜中真空系统的工作原理是什么?
- 真空室,粗抽泵,前级泵,罗茨泵,分子(扩散泵),上下位阀,高阀,节流阀,放气阀, 热偶规,电离规,波纹管,等器件他们的工作流程是什么?各起到什么作用。谢谢指教.20分悬赏,《家底了>
2013-01-02 20:57:56
538
5
- 真空镀膜的种类
- 好象有磁控溅射镀膜,离子束镀膜,射频镀膜,蒸发镀膜,等等。请讲一讲它们的原理和工艺是怎样的?谢谢~
2008-07-29 14:36:36
577
2
- 真空镀膜的结构
- 谁知道真空镀膜机的结构,要详细得,谢谢
2010-05-07 13:52:36
330
2
- 白盒测试与黑盒测试的优缺点是什么?
2017-09-19 19:58:09
315
2
- 电镀Fe/Ep.Cu3Ni6 是什么表面处理?
2016-12-04 04:44:25
326
1
- 步进电机与伺服电机的优缺点
2012-07-11 00:18:38
324
3
- 交流电与直流电的优缺点
2011-06-08 09:18:32
404
4
- 涡街流量计与孔板流量计的优缺点?
- 各位网友,新年好!那位能告诉涡街流量计与孔板流量计的优缺点,我在这里先谢谢了
2013-08-19 21:44:00
354
1
- PLC与单片机的优缺点
2017-09-13 15:21:26
353
1
- 电磁流量计的优缺点是什么?
2015-01-28 10:38:16
416
3
- 超声波传感器的优缺点是什么?
2018-02-16 02:01:44
456
1
- 真空镀膜问题
- 各位老师你们好,我们公司真空镀膜机的DP泵Z近总是高温报警,请教是什么原因?DP泵工作原理是什么
2013-04-02 21:51:09
297
1
- 与真空镀膜相比,离子镀膜有哪些优点
2017-05-27 10:20:03
411
1
- 纳米喷镀与电镀区别有哪些
2017-12-04 07:35:08
873
2
参与评论
登录后参与评论