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       虽然光谱仪本身具有很高的测量精度，但在测量样品中元素含量时，得到的结果往往与真实含量不符，存在一定的误差，而且由于多种因素的影响，有些材料本身的含量很低。引起仪器检测误差的主要因素可分为以下几类：

　　系统误差来源

　　当标准品和样品的含量和化学成分不完全相同时，基体线和分析线的强度可能会发生变化，从而引入误差。为了消除系统误差，必须严格遵守标准样品制备要求。为了检查系统误差，需要对多种校对结果进行化学分析。

　　当浇注状态下的钢样与退火、淬火、回火、热轧、锻造状态下的类钢金属结构不同时，测量数据可能不同。未知元素谱线的重叠干涉。例如，在冶炼过程中添加脱氧剂或除硫剂时，混合未知合金元素，并引入系统误差。当标准物和样品的物理性质不一致时，激发的特征线就会不同，从而引起系统误差。

　　偶然误差源

　　与样品成分不均匀有关的误差。由于光电光谱分析所消耗的样品量很小，样品中元素分布不均匀，结构不均匀，导致不同部位分析结果不同，偶尔出现误差。主要原因如下：

　　在冶炼过程中引入夹杂物，产生偏析，导致样品元素分布不均。样品的缺陷、气孔、裂纹、气泡等。磨样线、磨样过热、磨样面放置时间过长及指纹等因素。为了减少偶然误差，需要仔细取样以消除样品不均匀性和铸造缺陷，并且可以重复多次分析以减少分析误差。

　　其他因素误差

　　室温升高会增加光电倍增管的暗电流，降低信噪比。湿度很可能引起高压元件的泄漏和放电，使分析结果不稳定。氩不纯净。当氩中含有氧和水蒸气时，激发点会恶化。如果氩气管道和电极夹持器不放电，分析结果会更差。