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真空玻璃集热管连续溅射镀膜机的真空锁是怎么回事?

zhuvib 2010-12-07 06:56:25 277  浏览
  • 衡阳产的

参与评论

全部评论(2条)

  • xfit闯天涯 2010-12-10 00:00:00
    你说清楚点了 锁有很多种的了

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  • 统领gg_DD 2010-12-08 00:00:00
    就是将各个镀室隔离的门,用气缸作为动力源,气缸收回时将门锁紧。用词语不好表达清楚。

    赞(19)

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    评论

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1、样品台旋转,多样品同时镀膜时,镀膜厚度比较均匀。


2、预溅射挡板功能,刚开始镀膜的时候腔室里会有些杂质,挡板可以保护样品,提高薄膜质量


3、带有水冷系统,可以长时间溅射镀膜,厚度可达1微米以上。


4、直流磁控溅射,提高附着力,溅射速率快,比离子溅射快上一个量级。针对某些金属最快能达到1-2纳米每秒,


5、不但可以电镜制样,还可以制作金属电极。


6、可扩展膜厚监测,监测薄膜厚度。


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在上一期文章:重礼寻“锁” | 共看气质真空锁历史变迁,寻您和它的故事!中提及GCMS系统需在高真空状态下工作,其主要原因有2点:


1、增加离子平均自由程,在高真空状态下有利于减少分子间或离子间的碰撞从而确保离子能顺利到达检测器。


2、避免离子源内发生分子-离子反应,改变质谱图。


因此,包括离子源的维护,色谱柱的安装,EI/CI电离模式的切换等涉及到质谱真空腔内的操作都需要停机卸真空,而重新抽真空至稳定状态将耗费相当长的时间,这也是GCMS系统用户时常面临的痛点。



真空锁应运而生

为解决这一用户痛点,赛默飞一直在寻找一种技术能实现免停机免卸真空进行离子源的维护,色谱柱的安装,EI/CI电离模式的切换。从上世纪90年代初代型号GCQ开始尝试真空锁技术,之后的几十年赛默飞一直在研发改进真空锁技术,2022年3月份发布的ISQ7610系列单四极杆质谱,TSQ9610系列三重四极杆质谱已可真正实现免停机免卸真空进行离子源的维护,色谱柱的安装以及EI/CI电离模式的切换。如一直潜心于使用赛默飞GCMS研究改进分析测试技术的老师们一样,锲而不舍,方能大成!


Thermo Scientific™ ISQ 7610 

单杆气质联用仪


Thermo Scientific™ TSQ 9610

三重四极杆气质联用仪


当您在为任务紧急但系统状态不佳纠结是否要维护离子源时,当您在为分离效果不好纠结是否要更换另一种极性色谱柱时,当您需要使用EI配合CI做更多的研究工作但担心耗时太长时,选择真空锁吧,上述问题都不是问题!


快来和赛默飞一起解锁真空锁吧!

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