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 真空热处理工艺目前来说主要指的是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，其中，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空等，所以，真空热处理实际也属于气氛控制热处理中的一种。

  真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量可以说是得到了大大提高。

  与常规热处理相比，真空热处理加工技术可同时实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。

  在应用方面真空热处理也是非常广泛的。
 
  首先，在加工行业，一些零件经真空热处理后，畸变小，质量高，且工艺本身操作灵活，无公害。因此真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等，经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40～400%，而有许多工具的寿命可提高3～4倍左右。此外，真空加热炉可在较高温度下工作，且工件可以保持洁净的表面，因而能加速化学热处理的吸附和反应过程。因此，某些化学热处理，如渗碳、渗氮、渗铬、渗硼，以及多元共渗都能得到更快、更好的效果。
  
  其次，国内研究工作者在真空碳、氮共渗技术方面也取得了较大的发展。采用真空碳、氮共渗技术不仅极大地扩大了能够被处理的材料范围，同时还能有效减少材料变形，这使得产品质量和性能得到了较大的提高。目前市面上已经有了各个类型的具备真空碳、氮共渗功能的热处理设备，并且已经在零件的热处理领域取得了不错的应用成效。

  第三，在民用市场领域，针对该技术的研究和应用推动了我国金刚石制造技术的进步。在领域，该技术在软磁合金和电工纯铁的热处理方面发挥了重要作用，通过采用此项技术使得产品磁性能得到了明显提高，而产品矫顽力却得到了显著降低。

  除以上介绍到的技术外，将电磁技术与真空热处理技术相结合而诞生的真空磁场热处理技术也是该领域发展的一个重要分支，通过应用这项技术，既能够提高结构材料的力学性能，同时也对提高磁性材料的电磁性能具有重大效果。

　　总而言之，我国在真空热处理技术方面经历了从引进到消化、吸收的各个发展阶段，并且在近年来已经迈入了自主研发的阶段。近年来，我国真空热处理技术发展迅速，工艺水平不断成熟，各种自产设备在性能和质量上取得了巨大的突破，已经完全可以满足相关领域的应用需求。