气相沉积系统用途
化学气相沉积为一种化工技术,在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。化学气相淀积法已经在各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的淀积,新晶体的研制以及物质的提纯方便得到了非常广泛地应用。这些材料既能够是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能够为III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,并且能够利用气相掺杂的淀积过程来对它们的物理功能进行精确地控制。化学气相淀积已经变成无机合成化学的一个新领域。
气相沉积系统应用
几种贵金属薄膜应用化学气相沉积法来生产
由于贵金属薄膜不仅抗氧化能力比较好,导电率高,催化活性强而且相当的稳定,研究者们兴趣非常浓厚。相较于生成贵金属薄膜的其他方式,化学气相沉积法的技术优势更加的多,因此大部分均会采用该种方式来对贵金属薄膜进行制备。
沉积贵金属薄膜用的沉积员物质大部分为包括COCl2、氯化碳酰铂、氯化碳酰铱、DCPD化合物等等在内的贵金属元素的卤化物和有机化合物,种类相当的广泛。
在贵金属薄膜用作电极材料放置Goto 团队做了大量的工作。蓝宝石、石英玻璃以及氧化钇稳定化的二氧化锆(YSZ)等等被他们使用来作为衬底材料。在沉积时将氧气通入装置中是为了使原料由于热分解产生的碳消除掉,并且将更有金属光泽的贵金属薄膜制作出来。如果不这样的话,那么zui终会得到铱碳簇膜,也就是纳米等级被晶碳层所包裹的铱颗粒。在YSZ 上面沉积的铱碳簇膜的电性能和催化活性相当的优秀。在较低的温度下,相比于纯铱或者纯铂,铱碳簇膜的界面有着超过百倍的电导率。贵金属和炭组成的簇膜为一种多孔输送有着较强催化活性的簇膜,在未来对于电极材料上的使用有着相当大的潜力。
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- 气相沉积系统特点
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