气相沉积原理和应用
化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。化学气相淀积法已经在各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的淀积，新晶体的研制以及物质的提纯方便得到了非常广泛地应用。这些材料既能够是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能够为III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，并且能够利用气相掺杂的淀积过程来对它们的物理功能进行精确地控制。化学气相淀积已经变成无机合成化学的一个新领域。
气相沉积原理：
化学气相沉积技术为通过气态物质在固体上发生化学反应和传输反应等并且使固态沉积物产生的一种工艺。其大体上包括以下三步：
1、使挥发性物质形成
2、往沉积区域转移上述挥发性物质
3、在固体上发生化学反应并且使固态物质产生
热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等为zui基本的化学气相沉积反应。
气相沉积应用：
晶须的生产
晶须属于一种已经发育的单晶体，它在符合材料范畴中的作用相当的大，可以被用来对于一些新型复合材料进行生产。在生产晶须时，金属卤化物的氢还原性质为化学气相沉积法所使用。化学气相沉积法除了可以将各类金属晶须制备出来，而且还可以将如氧化铝、金刚砂、碳化钛晶须等等化合物晶须生产出来。
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