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　　氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦质谱检漏仪简介

　　近年来，随着高真空检漏技术科学领域的不断发展和应用技术的日趋成熟，以及高真空检漏仪器技术的不断创新和进步，仪器更新换代很快。从技术性能、高可靠性、准确性、耐用性、灵活性和性价比等各方面都有着划时代的进步，从而使高真空检漏仪器从科学研究领域、实验室的高端应用逐渐普及到工业和民用领域的应用。

　　氦质谱检漏仪是在真空检漏技术领域里应用Z为广泛的一种，这种检漏方法的优点是：检漏灵敏度高(可以检漏到10^-12Pa·m³/s数量级)、仪器响应快、操作简便、安全GX、成本较低、用途广泛等，所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。

氦质谱检漏仪工作原理

　　氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得Z普遍的检漏仪器，其测量工作原理如下：

　　氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送人到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

氦质谱检漏仪示漏气体的选择

　　质谱检漏仪器对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑：

　　①无害，不能对人体或环境造成伤害;

　　②质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;

　　③化学性质稳定，不会引起化学反应和易燃易爆;

　　④在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。

　　氢和氦都是比较理想的示踪气体，空气中的含量少，质量轻，运动速度快，分子直径小，同等条件下，直线运动距离长。在实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。由于He具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性，因此一般检漏都采用氦气作为示漏气体，但也有用氢气作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。

　　氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高，用氦气作示漏气体其本底噪声低，分子质量及粘滞系数小，因而极易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体是无破坏性、无毒、无危险，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪(调整到仅对氦起反应的工作状态)的被检容器上，若容器某一部位有漏孔，则氦质谱检漏仪立即有所反应，从而可知漏孔所在位置及检测到漏气量大小。

　　泄漏和密封是相对而言的，氦质谱检漏仪检测被检容器的泄漏程度的量化一般用漏率来表示漏率可简单理解为：单位时间内，单位体积容器，压强的变化。

与氦质谱检漏仪的原理相关文文章：
• 氦质谱检漏仪的原理及特点
• 氦质谱检漏仪工作原理

　　氦质谱检漏仪在向着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展。广泛应用于航空航天，电力电子，半导体，汽车，制冷和医药等各个行业。

氦质谱检漏仪简介

　　近年来，随着科技的迅猛发展，氦质谱检漏及其应用技术也在不断发展和完善。世界各国的生产商相继推出了多种类型的氦质谱检漏仪，广泛应用于航空航天，电力电子，汽车，制冷和医药等各个行业。综观Zxin氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大地推动了氦质谱检漏技术的不断发展。

氦质谱检漏仪的结构

　　一般情况下，氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成，有时还需要配置辅助的真空系统。

　　1、质谱室

　　形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源，质量分析器和离子检测器三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将diyi级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。

　　质谱室中离子源的作用是将中性分子和原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质量分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质量分析器的作用是将各类离子按其质荷比的不同实现分离，一般有磁偏转式和四极犁两类。一般氦质谱检漏仪多使用前一种质量分析器，而四极型多适用于多种探索气体的通用型氦质谱检漏仪。离子检测器的作用是收集质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，以推动漏率显示等有关电路。

　　2、真空系统

　　真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度Zgao，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

　　真空系统一般由机械泵、分子泵、测量系统组成。按照真空系统的不同结构，氦质谱检漏仪分为常规系统和逆扩散系统两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氦气首先到达质谱管被检测，因而具有较高的灵敏度。逆扩散系统氦质谱检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，因此被广泛采用，逐渐成为市场的主流产品。

　　3、电气系统

　　氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

　　4、辅助真空系统的配置

　　在氦质谱检漏仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证氦质谱检漏仪工作真空度、进行气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。

氦质谱检漏仪的主要性能指标

　　1、Z小可检漏率：即氦质谱检漏仪所能检出的Z小漏孔的漏率。

　　2、响应(清除)时间：指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后，电子和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示才能达到Zda值;反之，停止供气后，漏率指示不能立即回零，需要一定时间的下降过程，通常由于氦气的吸附和脱附作用，清除时间稍长于响应时间。

　　3、启动时间：指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。

与氦质谱检漏仪的结构相关文文章：
• 氦质谱检漏仪的结构

　　氦质谱检漏仪在使用前需要校准。氦质谱检漏仪的校准的主要项目包括:噪音、Z小可检漏率、漏率值校准、清除时间等，其中Z重要的项目是漏率值的校准。漏率值校准通常是在氦质谱检漏仪使用前用标准漏孔进行校准。

氦质谱检漏仪的技术要求

　　1、氦质谱检漏仪在下列条件下应能正常工作

　　①环境温度：5-35℃;

　　②相对湿度：不大于80%;

　　③供电电源：380±38V;220±22V;50±0.5Hz;

　　④大气压力：100±5kPa;

　　⑤仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。

　　2、外观质量

　　①仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。

　　②仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。

　　3、安全要求

　　①绝缘电阻：在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于5MΩ。

　　②绝缘强度：仪器的电源线和机壳之间应能承受1000V、50H交流电压，历时1min而无击穿及飞弧现象。

　　③仪器的泄漏电流不大于3.5mA。

　　4、仪器的错、缺相保护功能

　　使用三相电源的氦质谱检漏仪应当有错、缺相保护措施。

　　5、仪器漏率显示系统误差

　　氦质谱检漏仪离子流放大器及显示系统的误差应不超过±5%。

　　6、仪器漏率音响报警功能

　　氦质谱检漏仪应当设有被检工件漏率音响报警装置。

　　7、仪器入口处压力测量和控制电路

　　带有粗抽泵的氦质谱检漏仪，在检漏口应当有压力指示仪表，并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动(或手动)切换到检漏的功能。

　　8、仪器质谱室灯丝保护功能

　　氦质谱检漏仪中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表与质谱室灯丝保护电路，其动作范围应符合制造厂的规定。

　　9、达到Z佳工作压力的时间

　　使用油扩散泵的氦质谱检漏仪，其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的Z佳工作压力的时间。

　　①加液氮的仪器应不大于0.5h。

　　②不加液氮的仪器应不大于2h

　　10、仪器的Z小可检漏率

　　用常规检漏方式的氦质谱检漏仪在全抽速，仪器的Z小可检漏率应不大于2×10-11Pa·m3·s-1;用逆扩散检漏方式的氦质谱检漏仪，仪器的Z小可检漏率应不大于2×10-10Pa·m3·s-1。

　　11、仪器的时间常数

　　氦质谱检漏仪的清除时间或响应时间应不大于3s.

　　12、仪器的自身漏隙

　　氦质谱检漏仪的高真空系统，不应有对自身喷氦就可以检出漏隙存在。

氦质谱检漏仪的校准方法

　　1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法

　　采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。

　　2、校准仪器的选择

　　为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感;漏率可以做得很小;重复性、稳定性等计量特性好;对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。

　　3、校准步骤

　　设置环境温度为23.0℃，将标准漏孔通过漏孔隔离阀与氦质谱检漏仪相连接，打开漏孔阀，打开检漏仪进行平衡，平衡6h后，开始测量标准漏孔在检漏仪的读数示值，每个10min记录一个数值及此时环境温度，共记录6组数据，对六组漏率示值数据进行温度修正，测量重复性用相对实验标准偏差表示。

与氦质谱检漏仪的使用方法相关文文章：
• 氦质谱检漏仪检漏方法及测量过程
• 氦质谱检漏仪常用的检漏方法
• 氦质谱检漏仪操作步骤

　　氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。

氦质谱检漏仪机械泵故障及处理

　　1、机械泵不动作

　　检查项目有：氦质谱检漏仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。

　　2、机械泵声音异常

　　检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。

氦质谱检漏仪分子泵故障及处理

　　1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作

　　有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。

　　2、分子泵加速指示灯不亮

　　电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

　　3、分子泵故障灯亮

　　检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。

氦质谱检漏仪质谱室故障及处理

　　1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。

　　2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修ZX处理。

氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障

　　1、检漏键无效(绿色指示灯亮)

　　检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

　　2、检漏键无效(指示灯不亮)

　　I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。

氦质谱检漏仪自动校准结束时出现的故障

　　自动校准失败(灯丝亮)红色校准灯亮。首先检查自动校准设置，开关S1是否处于OFF位置，所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上;其次是检查灵敏度，清洗质谱室(如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致，氦质谱检漏仪也可使用)。

氦质谱检漏仪检漏时出现的故障

　　1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明氦质谱检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。

　　2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。

　　3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台氦质谱检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大大减少了环境的氦污染。

　　4、工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常，工作几次后，抽速大大减慢，检漏不过;加死堵氦质谱检漏仪不漏，工作正常。这是因为工装设计不合理所致，比如工装结构不合理，内表面太粗糙，导致过多的氦气残留;或者密封设计不合理导致密封不可靠(由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉)。

　　5、操作不合理导致故障。如工作中，有一个大漏的工件，由于操作人员判断错误，不认为工件漏，而去检查工装的连接或者氦质谱检漏仪，多次对这一工件检漏。这样就会发现，所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后，有大量的氦气进入质谱室，造成质谱室污染。解决的办法是，清理质谱室，反复吸气排气。

与氦质谱检漏仪的维修保养相关文文章：
• 氦质谱检漏仪故障与处理
• 氦质谱检漏仪的校准方法

　　氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度Zgao，用得Z普遍的检漏仪器。

氦质谱检漏仪的分类

　　氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型氦质谱检漏仪灵敏度为10^-9～10^-12Pam³/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪与单级磁偏转型氦质谱检漏仪相比较，本底噪声显著减小，其灵敏度可达10^-14～10^-15Pam³/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点。适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10^-12Pam³/s。

　　1、单级磁偏转型氦质谱检漏仪

　　单级磁偏转型氦质谱检漏仪质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器;由YZ栅、收集极及高阻组成收集器;diyi级放大静电计管和冷阴极电离规。

　　在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。

　　2、双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪

　　由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过diyi个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。

　　3、逆流氦质谱检漏仪

　　逆流氦质谱检漏仪是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为100;对空气中其它成分的压缩比为10^4～10^6。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。

氦质谱检漏仪的特点

　　全自动氦质谱检漏仪的显著优点：

　　1、操作简便：全自动氦质谱检漏仪结合简捷的双键操作功能及内置智能化系统可以提供简单但强大的测试性能。

　　2、功能强大：适用于各种检漏方法，优化设计的质谱室及真空系统功能强大，能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。

　　3、配置齐全：多种系统配置，多种可选件，可以灵活地组成各种各样的系统配置。

　　4、坚固耐用：在坚固耐用方面的革新设计，使得全自动氦质谱检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。

　　台式氦质谱检漏仪的显著优点：

　　1、适合批量测试使用：台式氦质谱检漏仪包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪，大大缩短检漏周期。

　　2、前级泵可选择性：可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。

　　3、操作简便：自动调整、校准、回零，使得检漏操作简便可靠。

　　4、运行稳定：单极开关启动或关闭，高性能阀门，保证设备可稳定运行百万次;自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。

　　便携式氦质谱检漏仪的显著优点：

　　1、性价比高：便携式氦质谱检漏仪是一款Z实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率;

　　2、自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮;

　　3、结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。

与氦质谱检漏仪的分类相关文文章：

　　氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。目前，氦质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。

氦质谱检漏仪用于航空航天高科技工业

　　例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。

　　KM6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用氦质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力氦气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内氦浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，因此有效提高了检漏灵敏度。

　　航天工业中，卫星、各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术。

氦质谱检漏仪用于电力行业

　　SF6高压开关和氧化锌避雷器是发电厂及野外输变电的重要组成部分，往往因泄漏造成大面积或局部停电，影响工业生产，又妨碍人们的正常生活。因此带来的经济损失有时是难以估量的。

　　高压开关在连箱是铝铸件，往往容易有砂眼，且漏孔结构复杂，不易清洗。一般采用检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，然后向罩内充入氦气，等待一定时间，确定总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。

　　氧化锌避雷器，是根据电压高低要求，采用不同截面积、不同厚度和不同数量的氧化锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其工作原理是在高压输出中如遇雷击，氧化锌片电阻变小，大电流对地短路，输电线路被保护。如果泄漏造成内外没有压差，外部潮湿气体有可能进入，而破坏氧化锌片特性，造成爆炸。

　　电力行业中，电厂的检漏、高压变压器、高压电容器、高压开关管及其它元器件也都相应的采用氦质谱检漏仪，用不同方法进行检漏。

氦质谱检漏仪用于电子行业

　　氦质谱检漏仪可用于微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

氦质谱检漏仪用于真空行业，仪器、仪表行业

　　氦质谱检漏仪可用于管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜机、薄膜真空计。

氦质谱检漏仪用于核工业

　　氦质谱检漏仪可用于铀分离装置、存储装置、核发电装置。

氦质谱检漏仪用于制冷行业

　　氦质谱检漏仪可用于冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

氦质谱检漏仪用于不锈钢保温器皿

　　氦质谱检漏仪可用于真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。

氦质谱检漏仪用于的其它应用

　　氦质谱检漏仪可用于汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、甚至汽车轮毂。

　　有待于开拓的检漏领域还很多，但由于思想观念的束缚以及经费等诸多原因，在很多领域还一直沿用古老且较为落后的手段处理泄漏问题。产品合格率和生产效率低。从某种意义上讲，这种工作方式制约了生产力的发展。因此，对于真空专业技术人员，特别是从事真空设备的研制和生产氦质谱检漏仪的专业厂家，应在氦质谱检漏仪的应用推广上进一步下功夫，为推动我国真空技术的发展而努力。

与氦质谱检漏仪的应用相关文文章：
• 氦质谱检漏仪的应用

　　氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控，特别是在一些真空设备的质量检验之中，应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测极ng准度，所以选择合适的氦质谱检漏仪很重要。

氦质谱检漏仪的发展

　　从20世纪60年代开始，氦质谱检漏仪被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展，使氦质谱检漏仪得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始，到如今己有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及前级泵出口采样法等多种氦质谱检漏仪。

　　1956年，Schumacher开始研究背压检漏，并将它应用到密闭电子器件的检漏中去。1973年。Howl先生对背压检漏方法进行了详尽的数学分析，他推导的漏率计算公式就是现在使用的背压检漏用的经典公式。

　　在国内，从20世纪60年代末开始，兰州物理所开展了大容器检漏方法研究，将拟质谱检漏技术应用于卫星环模设备、铁路运输液氢槽车、运载火箭氢氧液体燃料箱等大型容器的检漏中。1996年，北京卫星制造厂闰治平等人采用氦质谱的非真空收集法对卫星整体进行检漏。近年来，曹辉玲等人将前级泵出口采样法应用于电力工业及其他大型真空设备的检漏中，采用特制的油污过滤装置对氦具有和积累作用，提高了检漏灵敏度。现在，氦质谱检漏仪己成为迄今Z灵敏、Z有效、Z方便也是应用Z广的检漏手段。

氦质谱检漏仪的选择

　　选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：

　　1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸枪法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。

　　2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。

　　3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。

　　4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。

　　5、如果被检对对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低时，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。

　　6、如果检漏地点不固定，需要经常搬运氦质谱检漏仪时，就要选择小型便携式仪器。

　　7、在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑氦质谱检漏仪的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。

氦质谱检漏仪的进展

　　在科学技术的不断发展的时代，氦质谱检漏仪也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使氦质谱检漏仪自身的更新;另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有氦质谱检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。经过半个多世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。集中体现在如下几个方面：

　　1、便携式：Z近各国推出的小型便携式氦质谱检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

　　2、高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

　　3、自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

　　4、全无油的干式检漏：有些国家生产的氦质谱检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

　　5、检漏范围宽：现今生产的四极氦质谱检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

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