氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。
氦质谱检漏仪的质谱室
不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中。
1、离子源
氦质谱检漏仪离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴级)、离化室及离子加速极组成。
灯丝在真空中通电加热后发射电子,在离化室与灯丝之间的电场作用下,电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室,在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量,Z后打到离化室上形成电子流,成为发射电流的一部分。电子在运动的过程中碰撞气体分子而使气体分子电离形成正离子,正离子在离化室与加速极之间的电压U(即离子加速电原)作用下,相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝,由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能,便形成具有一定能量的离子束。
2、分析器
氦质谱检漏仪分析器的作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动从而将它们彼此分开,仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。
氦质谱检漏仪分析器的出口电极一般采用三栅结构。在离子收集极前面有三个栅极G1、G2、G3。G1和G3接地,中间栅极G2与离化室相连。G1栅的狭缝决定了氦离子的运动半径,而使除氦以外的其他离子打不到收集极上去。中间栅极G2的正电位对于正离子而言相当于一个拒斥电场,只有具有一定能量的氦离子才能通过G2的狭缝,而由于碰撞失去能量的其他杂散离子即使进入G1狭缝,也不能通过G2狭缝到达收集极,使收集极的氦离子流不受这些杂散离子的干扰。栅极G3是YZ离子在收集极上打出的二次电子不跑向G2,使它仍返回收集极,以防离子流的不稳定。
3、收集极
收集极是对准出口电极狭缝安装的,其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子流一般只有10-13〜10-12A,要使小电流放大器diyi极输入信号电压够大,则输入电阻必需很大。diyi级放大用的静电计管必须要高度绝缘,所以把高阻及静电许管放在高真空的质谱室中。
氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件,不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
氦质谱检漏仪真空系统一般包括:
1、主泵:一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa,其抽速应导气载匹配。
2、前级真空泵:一般采用旋片式机械真空泵,在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa,抽速导主泵匹配。
3、预抽真空泵:一般与前级真空泵共用一个泵,也有专用预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵,其抽速视被检件大小而定,因此预抽真空泵大都由用户自配。
4、冷阱:分子泵型真空系统一般不加冷阱。护散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间,使三者被冷阱隔离。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室,保持质谱室的清洁,并帮助扩散泵迅速获得较高真空。
5、检漏阀:接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀,控制流入质谱室的气体流量。
6、真空规:一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规,又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
7、标准漏孔:一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型),用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。
氦质谱检漏仪的电气部分
氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外,还有几组主要电路:
1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。
2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空,用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。
5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后,立即切断灯丝供电回路,以保护灯丝。
6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同,所以电路也有不少差别,这在各自的说明书中都有说明。
全部评论(0条)
推荐阅读
-
- 氦质谱检漏仪的结构
- 氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。
-
- 氦质谱检漏仪的主要结构
- 氦质谱检漏仪在向着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展。广泛应用于航空航天,电力电子,半导体,汽车,制冷和医药等各个行业。
-
- 氦质谱检漏仪的应用
- 氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。
-
- 氦质谱检漏仪的应用
- 氦质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业,甚至乡镇企业、个体企业,可以说应用领域极其宽广。下面我们一起了解一下氦质谱检漏仪在行业中的应用。
-
- 氦质谱检漏仪使用方法
- 氦质谱检漏仪可靠的品质保证广泛的市场应用,此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用,抗震性能极强,可反复使用数年仍保证高精度的检漏漏率。
-
- 氦质谱检漏仪使用方法
- 对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑:
-
- 氦质谱检漏仪的校准方法
- 氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。通过实验,总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
-
- 氦质谱检漏仪选择技巧
- 氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控,特别是在一些真空设备的质量检验之中,应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。
-
- 氦质谱检漏仪故障维修
- 氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。
-
- 氦质谱检漏仪操作步骤
- 氦质谱检漏仪是检漏领域里不可缺少的一种仪器,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在检漏行业中得到了广泛应用。
-
- 氦质谱检漏仪工作原理
- 氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
-
- 氦质谱检漏仪工作原理
- 根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将氦质谱检漏仪的工作原理分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,以下总结了这四种氦质谱检漏法的工作原理、优缺点及检测的标准。
-
- 氦质谱检漏仪的分类及特点
- 氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高,用得最普遍的检漏仪器。
-
- 氦质谱检漏仪常用的检漏方法
- 氦质谱检漏仪利用氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,氦质谱检漏仪的检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和背压法。
-
- 氦质谱检漏仪的原理及特点
- 氦质谱检漏仪是一种精度很高的不停机查漏仪器,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。
-
- 氦质谱检漏仪故障与处理
- 氦质谱检漏仪在使用过程中,会产生的一些故障或是现象,而影响检漏工作的正常进度,若对其置之不理会危及检漏仪的使用寿命。掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。
-
- 氦质谱检漏仪的技术要求及校准方法
- 氦质谱检漏仪在使用前需要校准。氦质谱检漏仪的校准的主要项目包括:噪音、最小可检漏率、漏率值校准、清除时间等,其中最重要的项目是漏率值的校准。漏率值校准通常是在氦质谱检漏仪使用前用标准漏孔进行校准。
-
- 氦质谱检漏仪检漏方法及测量过程
- 氦质谱检漏仪的检漏方法有许多种,目前比较成熟的检漏方法有喷吹法、氦罩法、充压法、吸枪法、检漏盒法、累积检漏法、背压法及四极质谱检漏法等等。
-
- 干热灭菌器的结构
- 干热灭菌器为一种电加热式灭菌器,为一种对热空气加以利用来将微生物杀死或者将热原消除的灭菌设备。
-
- 恒电位仪的结构
- 电化学测量系统简称为电化学工作站,为电化学研究和教学常用的测量设备。其主要包括单通道工作站和多通道工作站两大类,在生物技术、物质的定性定量分析等方面应用。
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布,观点仅代表作者本人,不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们立即通知作者,并马上删除。
②凡本网注明"来源:仪器网"的所有作品,版权均属于仪器网,转载时须经本网同意,并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
参与评论
登录后参与评论