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对于EBSD样品的制备

我们通常会选择

电解抛光

或者

机械抛光+振动抛光

为什么选择振动抛光

振动抛光优势

振动抛光机可快速去除样品表面机械化制样后残留的细微划痕和变形层，从而得到光洁且无应力的制备表面，相比电解抛光，避免了制备所使用的危险电解液，且振动抛光适用于所有类型的材料，对于EBSD或AFM效果更佳。

为什么选择VibroMet 2

VibroMet 2 优势

不同于传统的振动抛光机，VibroMet 2通过使用特殊的振动马达可以产生几乎完全水平方向的振动（X、Y方向的运动），最 大限度地提高了样品接触抛光布的时间。同时，这种近似完全水平方向的振动，可以更有效地去除材料表面的变形层。

制备小贴士参数

用户设定好程序后就可以离开，样品会在抛光盘中自动地开始振动抛光。程序设定的重要参数为振动幅度。

VibroMet 2振动抛光机的振动频率为7200转/秒，频率是一个常数，而振幅可调，通常调整振幅来创建试样的运动。建议试样应围绕抛光碗大约一分钟转6~10圈。

速度不是关键，但一致性的运动很关键。如果运动不在正确的区域内，需要调整样品重 心位置，使得样品可以在沿着抛光碗的最 大直径处进行运动。

配重

为了获得更好的水平方向的振动，一般镶嵌样品需要增加一定的配重，配重通常是由试样接触面积大小和样品的硬度决定的，接触面积越大，配重也应越大。

以直径30mm样品为例：

• 硬度较低的铸铁、铝合金以及其他有色金属的样品，除使用夹具外，可增加1个配重块（每个配重块为200g，如上图所示）；

• 中等硬度的钢材可增加两2个配重块；

• 硬度较高的硬质合金以及陶瓷材料需要增加2到3个配重块。

此外，对于一些自重比较重的样品，可以直接预处理后进行振动抛光处理，不需要夹具夹持和增加配重处理（如上图所示）。

耗材

抛光布和抛光介质的选择也是非常重要的。VibroMet 2 可以去除1~9μm不同程度的划痕，在合理使用配重的前提下，需要60min-360min不等。

为提高效率，通常建议试样经过机械式的最 终抛光（一般为氧化物抛光）之后，再使用VibroMet 2振动抛光程序。

若样品为水敏感性的材料，可以选用油基抛光液配合油基润滑剂，或者使用无水的MasterPolish 最 终抛光液（0.05μm）。ChemoMet、MicroCloth、MicroFloc 等多种最 终抛光布均可使用。

VibroMet 2 振动抛光机通过使用MicroCloth抛光布与MasterMet 2二氧化硅抛光液（0.02μm非结晶型）对样品进行化学-机械抛光，可以获得最 佳效率及最 佳效果。

抛光时间推荐：

• 低硬度（有色金属等）的样品需要振动90min~180min；

• 中等硬度（低中高碳钢等）的材料需要振动60min~120min；

• 硬度较高（硬质合金等）的材料需要振动30min~60min。

在初次制备时，建议每30min作为一个时间间隔观察样品的制备情况，在满足要求的前提下获得最 佳效率。