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PHI TOF-SIMS自推出以来，搭载三重离子束聚焦质量分析器(TRIFT)的nano TOF系列已成为全 球广受欢迎的高性能飞行时间-二次离子质谱仪。去年PHI推出了最 新的第七代TOF-SIMS：PHI Nano TOF3

PHI nano TOF3采用全新的外观设计，外观与性能双重提升！配备ULVAC-PHI最 新一代液态金属离子枪，可实现优于50nm的高空间分辨率，配合独 家专 利的TRIFT分析器，可实现宽带通能量、宽立体接受角的高灵敏度质谱分析。

2022年6月2日，全 球第 一台PHI nano TOF3到达国内，经过ULVAC-PHI工程师的安装，在今年6月13日完成安装并验收。

PART.1

更好的质量分辨率与空间分辨率

PART.2

更好的TRIFT质量分析器

PART.3

全 球首发TOF-SIMS自动化多样品测试

PART.4

独特的离子束技术

PART.5

MS/MS平行成像

飞行时间二次离子质谱仪（Time of Flight-Secondary Ion Mass Spectrometer 简称TOF-SIMS），使用一次脉冲离子轰击固体材料表面，通过表面激发出的二次离子的飞行时间测量其质量，以表征材料表面的元素成分、分子结构、分子键接等信息。

• 可以分析所有的导体，半导体，绝缘材料；

• TOF-SIMS的分析深度2nm左右，横向空间分辨率可达50nm；

• 能表征原子和分子组分，适用于有机和无机物的分析；

• 能测试所有元素（H~U）及其同位素；

• 能鉴别高质量数的有机大分子；

• 探测灵敏度很高，可以达到ppb量级；

• 2D和3D表征成分的分布：对于材料表面成分及分布，表面多层结构/镀膜成分，表面异物残留(污染物、颗粒物、腐蚀物等)，表面痕量掺杂，表面改性，表面缺陷（划痕、凸起等）等有很好的表征能力。

TOF-SIMS被广泛应用

于各种材料开发，材料剖析，多层薄膜/结构剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。

研发领域：半导体器件、纳米器件、生物医药、量子结构、能源电池材料等

高新技术：高分子材料、金属、半导体、玻璃陶瓷、纳米镀层、纸张、薄膜、纤维等

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