洁净室（区）尘埃粒子测试方法

洁净室(区)尘埃粒子测试方法

一、方法提要

本方法采用计数浓度法，即通过测试洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的尘埃粒子数，来评洁净室（区）的尘埃粒子洁净度级别。

二、人员的职责及培训

洁净室（区）的测试人员应进行本专业的培训并获得相应的资格后才能履行对洁净室（区）测试的职责，其中包含涉及的卫生知识和基本微生物知识。

洁净室（区）的测试人员应选择与生产操作的空气洁净度级别要求相适应的穿戴方式，外面的衣服不能带进1000000级以上的区域。

三、仪器

1.仪器应采用以下任意一种：

A.光散射粒子计数器（用于粒径大于或等于0.5μm的尘埃粒子计数）；

B.激光粒子计数器（用于粒径大于或等于0.1μm的尘埃粒子计数）。

2.光散射粒子计数器原理

空气中的尘埃粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与尘埃粒子的表面积成正比。

3.激光粒子计数器原理

空气中尘埃粒子在激光束的照射下产生衍射现象，衍射光的强度与尘埃粒子的体积成正比。

四、测试要点

1.必须按照测试仪器的检定周期，定期对测试仪器作检定。应使用检定合格，且在使用有效期内的仪器。

2.测试仪器在未进入被测区域时，若必需，则先清洁表面，或在相应的洁净室准备和存放（用保护罩或其它适当地外罩保护仪器）

3.在100级洁净室内用纸时，上面应蒙上一张透明不沾尘的覆盖物，在100级洁净室内不能用铅笔和橡皮。

4.使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作。

A.仪器开机，预热至稳定后，方可按测试仪器说明书的规定对仪器进行校正，同时检查采样流量和等动力采样头

B.采样管口置于采样点采样时，在计数趋于稳定后，开始连续读数。

C.采样管必须干净，严禁渗漏。

D.采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m。

E.粒子计数器采样口和仪器工作位置宜处在同一气压和温度下，以免产生测量偏差。

(本文来源/洁净室)

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