双频激光干涉仪简介及特点应用

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上开发出来的外差式干涉仪。与单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长为标准来测量测量长度的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿和防震的测量室中检查定量块，量尺，直尺和坐标测量机。它可以精确地测量数十米的大距离，也可以测量诸如手表零件之类的小机芯。它可以测量几何量，例如长度，角度，直线度，平行度，平面度，垂直度等。也可以用于特殊场合，例如半导体光刻的微定位和计算机存储器上的凹槽间距的测量等。 / span>

单频激光器的基本弱点之一是它们受到环境的严重影响。当测试环境恶劣且测量距离长时，此缺点非常突出。原因是它是一个直流测量系统，不可避免地具有直流电平和零漂移的缺点。当激光干涉仪的可移动镜移动时，光电接收器将输出信号。如果信号超过计数器的触发电平，它将被记录。如果激光束的强度发生变化，则光电信号可能会低于计数器。触发电平使计数器停止计数，而改变激光强度或干扰信号强度的主要原因是空气湍流，机械油雾和光束上的切屑的影响。结果，光束移动或波表面变形。这种不规则的变化很难通过触发电平的自动调节来补偿，这限制了单频干涉仪的应用范围。只有尝SY交流测量系统代替直流测量系统，才能克服单频激光干涉仪的基本问题。这个弱点。

双频激光干涉仪恰好克服了这一缺点。它是在单频激光干涉仪的基础上开发的外差式干涉仪。与单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长为标准来测量测量长度的仪器。不同之处在于，当可移动棱镜不移动时，前者的干涉信号就是干涉仪。后者的干扰信号是频率约为1.5MHz的AC信号。另一方面，当可移动棱镜移动时，前者的干涉信号在明暗之间。 *在黑暗之间缓慢变化的信号，而后者的干扰信号则将原始交流信号的频率增加或降低△f，结果仍然是交流信号。因此，对于双频激光干涉仪，可以使用具有较大放大倍数的AC放大器来放大干扰信号，从而即使将光强度衰减了90％，也仍然可以获得合适的电信号。

双频激光干涉仪的特点和应用：

（1）接收信号是交流信号，前置放大器是高倍数交流放大器，没有直流放大，因此没有零漂移的问题。

（2）计数器利用多普勒效应对频率差的变化进行计数，该变化不受激光强度和磁场变化的影响。当光强度衰减90％时仍然可以获得令人满意的信号，这对于长距离测量非常重要，同时，它可以简化短距离测量时的调整工作。

（3）测量精度不受空气湍流的影响，并且不需要预热时间。

使用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。最初，它仅用于高精度磨床，镗床和坐标测量机，后来用于加工ZX的定位系统。但是，由于在普通机床上使用感应同步器和光栅通常可以满足精度要求，因此激光仪器的抗振动和抗环境干扰性能较差，并且价格较高，因此目前在加工场所的使用较少。