CDG025D电容膜片式真空计377-001

INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.独特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力. CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准.

优势：

全量程范围从100毫乇 … 1000乇

加电源后快速稳定性

从大气压的快速恢复性

抗腐蚀的陶瓷传感器

长期讯号稳定性

温度补偿

传感器有防污染保护

一键调零功能

宽范围电源

两个设点 (可选)

RS232 接口 (可选)

用途：

半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD

数据贮存和显示器制造设备

工业真空设备

一般高精度压强测量

订货号：

CDG025D电容膜片式真空计 10Torr  DN 16 ISO-KF  377-001