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Inficon CDG100D电容膜片式真空计 3CD1-95E-230B
- 品牌:英福康
- 型号: 3CD1-95E-230B
- 产地:欧洲 瑞士
- 供应商报价:面议
- 成都四洋科技有限公司 更新时间:2024-10-11 10:41:28
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营业执照已审核
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产品特点
- INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的选择.CDG100D真空计是在 100°C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有的性能.可供应的真空计包括全量程范围从 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号
详细介绍
Inficon CDG100D电容膜片式真空计 3CD1-95E-230B
INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的选择. CDG100D真空计是在 100°C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有的性能.可供应的真空计包括全量程范围从 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的半导体,等离子和真空应用.
优势:
拥有成本低, 预热快 50%, 能效高,低功耗
易集成,规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点
简易的一键按钮或运距讯号调零指令,零点偏移可调整
诊断口用于快速服务和维护
两年保用期,带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命
由于讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子
应用中也无长期再校准的需要
兼容性和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途:
刻蚀, PVD, CVD 和其它半导体过程
化学和腐蚀性的高温过程
一般薄膜和真空过程要求的真空计保护
订货号:
Inficon CDG100D电容膜片式真空计 3CD1-95E-230B
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