BCG450  B-A型皮拉尼电容膜片真空计

INFICON B-A型皮拉尼电容膜片真空计, BCG450, 将三种不同的技术综合在一个简单, 小型, 经济的组装件中用于测量过程和基本压强从 5 x 10-10 至 1500 毫巴(3.75 x 10-10 至 1125 乇). BCG450 设计于取代三种传感器 (热离子, 增强对流的皮拉尼和真空开关), 从而降低成本和可贵的工具空间.

优势：

BCG450 节省成本和工具空间和减少真空测量安装和设置的复杂性

与气体类型无关的压强测量, 在 10 乇以上为任何气体混合物提供更可靠的预抽锁控制

皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁

自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预

大气压下的差分压强测量可消除与大气压强变更有关的不定性

易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性

可选图形显示器和现场总线接口, 例如 以太网

RoHS 兼容性

应用：

半导体过程,传送和自锁室的压强测量

工业镀膜

从低至超高真空范围系统的一般真空测量和控制