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高真空磁控溅射永磁靶头
- 品牌:沈阳科晶
- 型号: SKCC-YCB-X
- 产地:沈阳
- 供应商报价: 面议
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沈阳科晶自动化设备有限公司
更新时间:2024-07-01 08:06:57
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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联系方式:吴女士024-23826163
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- 详细介绍
SKCC-YCB-X高真空磁控溅射永磁靶头适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。1、采用高质量的不锈钢和永磁材料制作。
2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。
3、独特的磁性材料冷却装置结构设计,避免冷却水腐蚀磁性材料,延长其使用寿命。
4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。
5、安装采用标准真空接头,便于操作。
6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。
产品型号
SKCC-YCB-X(高真空磁控溅射永磁靶头)
产品规格
2寸,SKCC-YCB-2
3寸,SKCC-YCB-3
4寸,SKCC-YCB-4
5寸,SKCC-YCB-5
6寸,SKCC-YCB-6
7寸,SKCC-YCB-7
主要特点
1、采用高质量的不锈钢和永磁材料制作。
2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。
3、独特的磁性材料冷却装置结构设计,避免冷却水腐蚀磁性材料,延长其使用寿命。
4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。
5、安装采用标准真空接头,便于操作。
6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。
配套电源
1、直流DC;2、射频RF
备注
如需要折靶则:
2寸折靶,SKCC-YCB-2-Z
3寸折靶,SKCC-YCB-3-Z
4寸折靶,SKCC-YCB-4-Z