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晶圓/基板/光罩清洗機
- 品牌:UltraT Equipment
- 型号: UltraT - Manual/Automated/Wet
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
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香港电子器材有限公司
更新时间:2024-07-16 16:00:16
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企业性质授权代理商
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品晶圆制程及加工(3件)
联系方式:刘小姐021-63813293
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- 详细介绍
手動晶圓,基板,光罩清洗機
Model SCSe124
高效型 SCSe124 是晶圓和基板做亞微米清洗的理想解決方案。具有可靠和成本效益的系統及採用經過驗證的清洗技術。SCSe124 可以配置幾種不同的清潔選項,形成高壓去離子水,霧化噴霧噴嘴,刷子,超聲波噴嘴等等。快速有效的乾燥技術結合了可變旋轉速度,另可選配加熱去離子水,氮氣輔助或加熱燈。SCSe124 具有一個微處理器控制器,允許存儲器中zui多 10 組清洗參數。
特徵:
• 可清潔 10 英寸直徑基板。
• 主軸裝配有直流無刷馬達(可升級更多控制)。
• 可調手臂速度和行程位置。• 獨立聚丙烯腔體。
• 微處理器控制能夠中保留 10 清洗參數。
• 內置安全控鎖。• 按鈕式上蓋 打開/關閉。
• 觸控式圖形用戶界面(GUI),易於編程和螢幕顯示錯誤報告。
• zui多可配置 2 個清潔手臂。
另有:自動晶圓,基板,光罩清洗機可選。
濕式清潔台/批量晶圓,基板,光罩清洗機可選。
- 产品优势
- 手動晶圓,基板,光罩清洗機
Model SCSe124
高效型 SCSe124 是晶圓和基板做亞微米清洗的理想解決方案。具有可靠和成本效益的系統及採用經過驗證的清洗技術。SCSe124 可以配置幾種不同的清潔選項,形成高壓去離子水,霧化噴霧噴嘴,刷子,超聲波噴嘴等等。快速有效的乾燥技術結合了可變旋轉速度,另可選配加熱去離子水,氮氣輔助或加熱燈。
SCSe124 具有一個微處理器控制器,允許存儲器中最多 10 組清洗參數。