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晶圆仓储与包装自动化-Kainova Tech
- 品牌:KAINOVA TECH
- 型号: Kainova Tech
- 产地:新竹
- 供应商报价: 面议
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香港电子器材有限公司
更新时间:2024-08-12 09:49:51
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企业性质授权代理商
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品集成自动化(6件)
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- 详细介绍
产品介绍:
晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备(KAS-381)
设备特色
.市场wei一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备
.全自动拆包晶圆堆叠盒,双线拆包,换盒无需等待
.对应所有晶圆堆叠盒,并可自动开上盖
.依制程Recipe需求,按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
.对应12寸晶圆
性能规格
.zui大储量:87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆)
.处理速度:180 WPH以上
.ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备(KAS-382)
性能规格
.zui大储量:8个独立N2晶圆堆叠盒储位
.处理速度:180 WPH以上
.ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
晶圆堆叠盒包装拆包及分拣设备(KAP-541)
设备特色
.市场wei一晶圆堆叠盒包装、拆包及晶圆分拣整合设备
.全自动包装与拆包晶圆堆叠盒,双线包装及拆包,换盒无需等待
.对应所有晶圆堆叠盒,并可自动开阖上盖
.依制程Recipe需求,按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
.兼容8寸、12寸、薄化晶圆
性能规格
.处理速度:180 WPH以上
.ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
- 产品优势
- 晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备(KAS-381)
设备特色
.市场唯一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备
.全自动拆包晶圆堆叠盒,双线拆包,换盒无需等待
.对应所有晶圆堆叠盒,并可自动开上盖
.依制程Recipe需求,按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
.对应12寸晶圆
性能规格
.zui大储量:87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆)
.处理速度:180 WPH以上
.ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
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