KAINOVA TECH - 晶圆仓储与包装自动化

性能规格 zui大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆) 处理速度：180 WPH以上 ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)

设备特色

• 市场唯 一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备

• 全自动拆包晶圆堆叠盒，双线拆包，换盒无需等待

• 对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开上盖

• 依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置

• 对应12吋晶圆

性能规格

• zui大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆)

• 处理速度：180 WPH以上

• ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)

性能规格

• zui大储量：8个独立N2晶圆堆叠盒储位

• 处理速度：180 WPH以上

• ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)

 设备特色

．市场唯 一晶圆堆叠盒包装、拆包及晶圆分拣整合设备

．全自动包装与拆包晶圆堆叠盒，双线包装及拆包，换盒无需等待

．对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开阖上盖

．依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置

．兼容8吋、12吋、薄化晶圆

性能规格

．处理速度：180 WPH以上

．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)