性能规格 zui大储量:87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆) 处理速度:180 WPH以上 ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
设备特色
市场唯 一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备
全自动拆包晶圆堆叠盒,双线拆包,换盒无需等待
对应所有晶圆堆叠盒 ,并可自动开上盖
依制程Recipe需求,按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
对应12吋晶圆
性能规格
zui大储量:87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆)
处理速度:180 WPH以上
ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)