Kainova Tech -光罩自动化

产品介绍：

EUV/OPT光罩护膜贴合设备（KAM-201）

设备特色

.可同时对应EUV与OPT两种光罩护膜贴合需求

.高洁净型6轴机器手臂全自动移载Reticle及Pellicle，配置自动换爪系统

.图像对位补偿与贴合站主动式平行度调整机制，确保贴合精度

.贴合精度自动检验功能

.特殊光源AOI检查Pellicle外观瑕疵

.对应AMHS（SEMI E87，E84）自动取放并自动开盒

性能规格

.贴合后光学变形量<2nm

.贴合精度：±0.1mm

.贴合压力：0.035～0.4 kN

.超洁净环境控制能力：Particle >100nm，0 EA

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EUV/OPT光罩移载设备（KAX-311）

设备特色

.依制程指定，执行光罩旋转、翻面与换盒等作业

.可对应各种光罩盒（RSP150/200/Dual）

.光罩盒充填氮气，确保盒内保持低湿、低氧与高洁净度环境

.对应AMHS（SEMI E87，E84）自动取放

.具备Pellicle方向正确性判断

.自动识别EUV与OPT光罩方向（0/90/180/270，flip/non flip）

性能规格

.超洁净环境控制能力：Particle >100nm，0 EA

.光罩换盒移载速度：<3 min