电子背散射衍射EBSD

QUANTAX EBSD 有一系列不同的探测器和探测器选项，包括 eWARP – 更快速的直接电子探测 EBSD。

我们的产品组合包括用于直接电子探测（DED）的新型革命性eWARP探测器，带有OPTIMUS 2 同轴TKD探测器的eFlash，以及用于 FSE/BSE 成像的ARGUS ™ 探头。

与 eWARP 新型 QUANTAX EBSD 一起进入 EBSD 新时代

低电压，低束流下的超快速测量: 高生产率和高分辨率

eWARP具有更高的信号检测灵敏度，仅需要较低的加速电压和束流，例如10 kV加速电压和12 nA的束流，就可以达到每秒14,400个花样的检测速度，并且在这样的电子束条件下可以得到足够高的花样质量，使用ESPRIT软件进行分析时标定率可以超过99%。

和在20 kV下获得的传统EBSD图相比，由于加速电压的降低，可以使其空间分辨率提高两倍。换言之，eWARP能够以至少25nm的分辨率和很好的花样标定率在很快的速度下采集EBSD分布图。

eWARP令人难以置信的速度和更好的空间分辨率将对很多EBSD的主要应用场景产生重大影响，特别是大面积检测、3D EBSD和原位动态实验等方面具有突破性的进展。

10 kV 将成为新的常规测试条件: 更好的统计性和空间分辨率

eWARP具有更高的信号检测灵敏度，在低加速电压EBSD检测下具有特殊的优势，因而在空间分辨率和标定质量方面取得了前所未有的进步，这使得EBSD能够在以前很困难甚至无法涉入的材料应用领域中有突破并且得到更好的结果。

电池材料研发和生产是一个新兴领域，EBSD在该领域中也显示出了巨大的应用前景。晶粒尺寸、形状以及大角度晶界的比例等会影响电池的一些相关性能，如电池容量、充电速度、寿命和安全性。

图4展示了锂镍钴锰（NCM）电池的大面积取向分布图，图中包含了约12,000颗尺寸很小的晶粒。图4中提取的部分给出了其中一个NCM粒子的精细微观结构。

20 nm 步长: 高难度的超细晶粒材料检测

10 kV EBSD在表征钢和钛合金中的马氏体结构时优势尤为明显。更低的加速电压使电子束与样品的相互作用体积更小，提高了空间分辨率和菊池花样的对比度，可以得到更多的菊池带，使标定率更好，从而得到质量更高的检测数据，这对于EBSD的检测结果与材料的相关性能分析至关重要。

图5展示了通过常规机械抛光方法制备的马氏体不锈钢样品的EBSD检测数据。花样质量图（上）显示了典型的马氏体板条结构，步长20纳米。相应的晶体取向图（下）清楚地显示了未经降噪处理的原始数据就具有很高的标定率。

增强型 ARGUS ™  FSE/BSE 成像系统: 更快的速度、更多的细节

增强版ARGUS™成像系统的主要特点和优势:

• 高速 FSE/BSE 成像

• 新的虚拟 FSE 成像

• 取向衬度、表面形貌和相衬度

• 只需3秒即可采集1百万像素的图像

• 同时获取5帧不同信息的图像

• 彩色及灰度图

• 非常适合在原位实验期间进行连续自动化采集

eWARP的专利像素合并采集技术是新ARGUS™的核心成像系统，支持每秒高达350,000像素的超高速FSE成像，每像素提供比原始分辨率模式多80倍的信号。这使得FSE图像采集具有更快速度和更高的质量（见图7）。

此外，ESPRIT现在还具备在EBSD检测过程中同时自动创建虚拟前散射电子（VFSE）图像的能力，不会影响速度和数据的完整性。图7展示了一组来自双相不锈钢的五个同步VFSE图像。