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URE-2000A 型紫外单面光刻机
- 品牌:中科院
- 型号: URE-2000A
- 产地:四川 成都
- 供应商报价:面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-08-17 10:19:23
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销售范围售全国
入驻年限第6年
营业执照已审核
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产品特点
- URE-2000A 型紫外单面光刻机,曝光面积:150mmX150mm,分辨力:0.8-1μm(胶厚 2 μm 的正胶),对准精度:±0. 6μm
详细介绍
URE-2000A 型紫外单面光刻机
1.技术参数。曝光面积:150mmX150mm。曝光波长:365nm。分辨力:0.8-1μm(胶厚 2 μm 的正胶)。对准精度:±0. 6μm。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸。样片尺寸:直径Ф15mm-- Ф150mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)。曝光方式:定时(倒计方式),0.1s-9999s。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能。照明不均匀性: 2.5%(Ф100mm 范围)5%(Ф150mm 范围)。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍12。调平接触压力通过传感器保证重复。数字设定对准间隙和曝光间隙。具备压印模块接口,也具备接近模块接口。掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度。胶厚:500μm(SU8 胶)。光源平行性:1.2°。曝光能量密度:>18mW/cm2。冷却方式:循环水+风冷。曝光面温度:<30°C。汞灯功率:1000W(直流,进口2.外形尺寸:1400mm(长)x1200mm(宽)x1950mm(高)3.配置(1)曝光头。冷光椭球镜。1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)。XYZ 汞灯调节台。冷却风扇。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2。循环水冷系统(2)对准工件台。掩模样片整体运动台。掩模样片相对运动台。转动台。样片调平机构,自动完成。样片调焦机构,自动调。承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)。掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)。基片抽拉式上下片机构(3)对准显微镜。光源(配备品 2 只)、电源。双目双视场对准显微镜主体13。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)(4)CCD 对准系统(选配)。光源(配备品 3 只)、电源。成像光学系统(两套)。数据采集卡。三维工件台(两套)。CCD(2 只)(5)电控系统。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)。单片机控制系统。控制柜桌。计算机系统及液晶显示器(6)气动系统。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等。电磁阀驱动。气动仪表(7)其他附件。真空泵一台(无油泵)。空压机一台(静音泵)。管道