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动态反应池-ICP-MS分析半导体级盐酸中杂质
美国perkinelmer有限公司更新于：2013-08-06

应用行业：电子/电气/通讯/半导体半导体

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本文介绍了ICPMS在分析20%盐酸中ng/l级杂质的应用这篇应用文章证明了通过一次分析，在热等离子体条件下，动态反应池可以轻松地消除各类干扰，从而实现对HCl中的超痕量的杂质分析 PerkinElmer 等离子质谱仪

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