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使用动态反应池型的ICPMS分析半导体级TMAH的应用报告
美国perkinelmer有限公司更新于：2013-08-06

应用行业：电子/电气/通讯/半导体半导体

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据SEMI 标准 C46-0306,对于25%的TMAH，通常要求其每种污染元素的浓度低于10ppb,甚至有些客户要求更低实验表明，DRC ICP-MS非常适合于UPW领域的超低含量（ng/L级)的样品的常规定量分析通过计算机对标准模式及反应模式的切换，使得每次样品测量干扰降低至Z少 PerkinElmer 等离子质谱仪

内容节点: 概述; 实验/设备条件; 样品提取; 实验/操作方法; 实验结果/结论; 仪器/耗材清单

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