Sensofar共聚焦白光干涉仪|维尔戈干涉仪仪器挡板的粗糙度表征
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维尔戈干涉仪仪器挡板的粗糙度表征
图1. 先进维尔戈探测器的图片。由EGO Virgo提供。
图 2. Advanced Virgo 仪表挡板的安装图片。图片来源：IFAE。
图3. 进行表征的样本。
平板挡板
试验样品
图4. 样本的地形图像和轮廓（右侧）。在应用ISO 4287标准（截止值为80微米）后的粗糙度数值（左侧）。
图5. 对三个分析数据集计算得出的参数的区分度评估。绿色表示良好的区分度，黄色表示中等，红色表示低
西班牙Sensofar品牌简介
Sensofar是西班牙的一家高新技术公司，成立于2001年，总部位于西班牙科技中心巴塞罗那附近的塔拉萨(Terrassa)。公司通过战略合作伙伴构成全球网络，在超过20 个国家设有代表处，始终遵循先进的技术、卓越的质量和优质客户服务的宗旨。
Sensofar公司专注于研发非接触式3D光学表面测量技术，致力于开发、制造和供应高端3D测量工具，并提供3D测量技术领域内的咨询服务。Sensofar持续不断地研发和申请表面测量专利技术，在全球范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品。在高精度3D光学测量技术方面，拥有深厚的技术实力。
往期回顾
Sensofar共聚焦白光干涉仪|端铣刀的多角度特性描述
案例分析｜Sensofar共聚焦白光干涉仪用于手持设备瞬态振动传播的有限元分析
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，专注显微形貌分析！
专业提供各类型光学显微镜、三维表面轮廓仪、扫描电镜、激光干涉仪、金相制样、电镜制样、科研相机、冷热台等材料分析仪器及应用解决方案！
我司是西班牙Sensofar、德国徕卡、日本奥林巴斯、美国Zygo、丹麦司特尔、德国蔡司、捷克泰斯肯（TESCAN）、美国RMC、英国Linkam等著名仪器公司特许代理商。致力于为材料用户提供全面且专业的显微形貌分析产品和技术服务！
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