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TMC提供三种阻尼水平的隔振器：

GimbalPiston?、MaxDamp?和UltraDamp?，它们有不同的承重能力、阻尼水平和调平版本可供选择。

图1 不同规格的MaxDamp标准阻尼隔振支腿

MaxDamp?将Gimbal Piston空气隔振器与内部防篡改粘性阻尼相结合，为桌面上有动态载荷或者高速移动的有效载荷的应用提供了额外的阻尼。MaxDamp虽然不能提供我们UltraDamp系列的Z高阻尼，但当需要较高阻尼时，它却是一个极好的选择，其隔振性能只略有减弱，却获得了更快的有效负载稳定时间和更高的阻尼水平。

MaxDamp适用于需要快速稳定有效载荷的高负载偏移、高速的XY电动载物台。是半导体检测和光刻工具以及其他具有相对高动力电动载物台的仪器的绝佳选择。

特点：

• 更快的有效负载稳定时间。

• LCD和半导体制造和检测工具的生产率更快、产量更高。

• 在保持高隔振性能的同时，隔振表面有“更硬”的手感。

• 由气流、噪音以及“机载”所产生的力引起的振动较小。

优势：

• 结合了自调平Gimbal Piston?空气隔振器的优势，并具有高阻尼作用

• 非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷，可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

• 更快的工具吞吐量和更高的产量

• 从3 Hz开始的水平和垂直隔振

• 共振的Z小放大（8-12 dB）

• 模块化设计。可升级到Electro-Damp?主动隔振

规格参数

性能参数

TMC的GimbalPiston?、MaxDamp?和UltraDamp?之间的阻尼水平对比图表：

应用实例

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