仪器网（yiqi.com）欢迎您！

聚焦离子束FIB测试交流群

FIB含义：

聚焦离子束（Focused Ion beam简写FIB)是将离子源(大多数FIB都用Ga，也有设备具有He和Ne离子源)产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面。作用：

1.产生二次电子信号取得电子像.此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似

2.用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。

3.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层。

FIB应用：

FIB技术的在芯片设计及加工过程中的应用介绍：

1.芯片IC电路修改，切线连线。

用FIB对芯片电路进行物理修改可使芯片设计者对芯片问题处作针对性的测试,以便更快更准确的验证设计方案。 若芯片部份区域有问题,可通过FIB对此区域隔离或改正此区域功能,以便找到问题的症结。

FIB还能在Z终产品量产之前提供部分样片和工程片,利用这些样片能加速终端产品的上市时间。利用FIB修改芯片可以减少不成功的设计方案修改次数，缩短研发时间和周期。

2.Cross-Section 截面分析

用FIB在IC芯片特定位置作截面断层,以便观测材料的截面结构与材质,定点分析芯片结构缺陷。

3.Probing Pad

在复杂IC线路中任意位置引出测试点, 以便进一步使用探针台(Probe- station) 或 E-beam 直接观测IC内部信号。

4.FIB透射电镜样品制备

这一技术的特点是从纳米或微米尺度的试样中直接切取可供透射电镜或高分辨电镜研究的薄膜。试样可以为IC芯片、纳米材料、颗粒或表面改性后的包覆颗粒，对于纤维状试样，既可以切取横切面薄膜也可以切取纵切面薄膜。对含有界面的试样或纳米多层膜，该技术可以制备研究界面结构的透射电镜试样。技术的另一重要特点是对原始组织损伤很小。

5.材料鉴定

材料中每一个晶向的排列方向不同，可以利用遂穿对比图像进行晶界或晶粒大小分布的分析。另外，也可加装EDS或SIMS进行元素组成分析。

FIB第三方服务：

由于FIB价格昂贵，中小企业很难拥有自己的设备，不过现在市面上有很多设备可以提供对外服务，北京西二旗国软检测有带电镜和能谱功能的FIB，可以做切点观察，切线连线，表面观察，成分分析等。

延伸阅读：实验室介绍

北京软件产品质量检测检验ZX（简称：北软检测）成立于2002 年7月，是经北京市编办批准，由北京市科学技术委员会和北京市质量技术监督局联合成立的事业单位。2004年1月，国家质量监督检验检疫总局批准在北软检测基础上筹建国家应用软件产品质量监督检验ZX（简称：国软检测），2004年10月国软检测通过验收并正式获得授权，成为我国第，一个国     ，  家     ，级的软件产品质量监督检验机构。

     ZX依据国际标准 ISO/IEC 17025：2005《检测和校准实验室能力认可准则》和ISO 9001：2015《质量管理体系要求》建立了严谨的质量体系，拥有一  ，     流的软件测试平台，2600平方米的测试场地，1000多台套的测试设备和上百人的专业测试工程师队伍。目前具有资质认定计量认证（CMA）、资质认定授权证书（CAL）、实验室认可证书（CNAS）、检验机构认可证书（CNAS）、信息安全风险评估服务资质认证证书（CCRC），信息安全等级保护测评机构（DJCP）、ISO 9001：2015质量管理体系认证、ISO/IEC 27001：2013信息安全管理体系认证等各种资质。

      智能产品检测实验室于2015年底实施运营，能够依据国际、国内和行业标准实施检测工作，开展从底层芯片到实际产品，从物理到逻辑全面的检测工作，提供芯片预处理、侧信道攻击、光攻击、侵入式攻击、环境、电压毛刺攻击、电磁注入、放射线注入、物理安全、逻辑安全、功能、兼容性和多点激光注入等安全检测服务，同时可开展模拟重现智能产品失效的现象，找出失效原因的失效分析检测服务，主要包括点针工作站（Probe Station）、反应离子刻蚀（RIE）、微漏电侦测系统（EMMI）、X-Ray检测，缺陷切割观察系统（FIB系统）等检测试验。实现对智能产品质量的评估及分析，为智能装备产品的芯片、嵌入式软件以及应用提供质量保证。

文末福利：聚焦离子束测试交流群 客服微信a360843328

JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统升级为JIB-4000PLUS


JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统升级了，新型号：JIB-4000PLUS。该设备为单束FIB装置，不仅可以对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积，还可以为TEM制备薄膜样品和截面样品；可选3D观察功能、自动TEM样品制备功能，能对应多种制样需求。

　   显微镜自动聚焦采用独特的成像和照明光学系统设计，使它有更好的对比度和景深，可选附件丰富，质量和可靠性好，可与国际产品媲美。显微镜自动聚焦使用范围相当广泛，它观察物体时能产生正立的二维空间像，成像清晰和宽阔，具有较长的工作距离，本仪器性能可靠，操作简单，使用方便，且外形美观，使用范围广泛，显微镜自动聚焦满足现代生物、医药、环境、农林、化工、微电子、半导体等领域的检验、测量分析要求，广泛用于生物工程和科学研究、工业装配、测试测量以及品质控制。
　　显微镜自动聚焦是用于放大微小生物，使其能够为人眼看到的仪器。目前的显微镜大都是手动对焦，使用非常麻烦，市场上虽然有少量自动对焦的显微镜，但都是根据图像识别原理设计的，这是非常繁琐和不实用的，因为图像识别反应速度慢，而且国产的步进电机和传动丝杠重复定位精度差，经常发生显微镜的Z轴反复升降而无法停止在清晰的位置。
　　显微镜自动聚焦系统包括反射平板、对焦成像透镜组、自动对焦探测器、液晶显示系统、数据处理驱动模块和驱动装置；所述反射平板位置可调，反射平板设置在物镜与狭缝之间的光路下方，对焦成像透镜组设置在成像光线经反射平板反射后的光路上，对焦成像透镜组的像面上安装自动对焦探测器，自动对焦探测器分别与液晶显示系统、数据处理驱动模块连接，数据处理驱动模块控制驱动装置，驱动装置带动物镜前后调焦移动。物镜收集的成像光线经反射平板反射后，进入对焦成像透镜组，由自动对焦探测器接收；自动对焦探测器将接收到的图像数据传输至液晶显示系统，同时将图像数据传输至数据处理驱动模块，对图像清晰度进行判别;数据处理驱动模块控制驱动装置，驱动装置带动物镜前后调焦移动；显微镜自动聚焦对焦完成后，反射平板返回原始位置。
　　进一步地，显微镜自动聚焦系统还包括调整装置，所述调整装置包括调整电机和蜗轮蜗杆，调整电机由数据处理驱动模块控制，调整电机与蜗杆连接，蜗轮与反射平板的一端连接，调整电机通过蜗轮蜗杆带动反射平板旋转。本发明通过调整装置自动带动反射平板旋转，使显微镜自动聚焦过程更为简单化，此外，采用蜗轮蜗杆，使得调整装置传动平稳、具有结构紧凑、体积小、重量轻。
　　显微镜自动聚焦的对焦效果可以通过液晶显示系统观察，完成高光谱成像仪物镜对焦效果的可视化。显微镜自动聚焦调整装置自动带动反射平板旋转，使对焦过程更为简单化，此外，采用蜗轮蜗杆，使得调整装置传动平稳、具有结构紧凑、体积小、重量轻。显微镜自动聚焦使用人员可通过液晶显示系统观察对焦情况和调焦效果。显微镜自动聚焦通过自动对焦系统，使高光谱成像系统在工作前可以完成物镜的自动对焦，解决了高光谱成像仪野外、实验室繁琐的对焦过程以及对焦的不准确性的问题，简化了高光谱成像仪物镜的对焦过程，提高了对焦的准确性。

（来源:上海西努光学科技有限公司）

主要原理

磁翻柱液位计也称为磁翻板液位计，它的结构主要基于浮力和磁力原理设计生产的。带有磁体的浮子（简称磁性浮子）在被测介质中的位置受浮力作用影响。液位的变化导致磁性浮子位置的变化、磁性浮子和磁翻柱（也成为磁翻板）的静磁力耦合作用导致磁翻柱翻转一定角度（磁翻柱表面涂敷不同的颜色），进而反映容器内液位的情况。

配合传感器（磁簧开关）和精密电子元器件等构成的电子模块和变送器模块，可以变送输出电阻值信号、电流值（4～20mA）信号、开关信号以及其他电学信号。从而实现现场观测和远程控制的结合。

适用范围及特点

具有：结构简单、使用方便、性能稳定、使用寿命长、便于安装维护等优点。

磁翻柱液位计几乎可以适用于各种工业自动化过程控制中的液位测量与控制。可以广泛运用于石油加工、食品加工、化工、水处理、制药、电力、造纸、冶金、船舶和锅炉等领域中的液位测量、控制与监测。

二、磁浮球液位计（液位开关）

主要原理

磁浮球液位计（液位开关）结构主要基于浮力和静磁场原理设计生产的。带有磁体的浮球（简称浮球）在被测介质中的位置受浮力作用影响：液位的变化导致磁性浮子位置的变化。浮球中的磁体和传感器（磁簧开关）作用，使串联入电路的元件（如定值电阻）的数量发生变化，进而使仪表电路系统的电学量发生改变。也就是使磁性浮子位置的变化引起电学量的变化。通过检测电学量的变化来反映容器内液位的情况。

FOAMSCAN泡沫分析仪采用鼓气法生成泡沫，是法国泰克利斯(Teclis)公司专门为研究泡沫特性而设计的，旨在表征通过多孔介质向液体内注入一些气体(空气、氮气、氧气、二氧化碳等)而产生的泡沫的特性，如起泡性和稳定性，泡沫尺寸和分布等。

工作原理：

软件控制气体流量，将气体注入到液体中，产生泡沫，通过CCD照相机实时跟踪分析泡沫图像得到真实的泡沫体积，液体体积等，结果可以保存为照片或录像。TECLIS泡沫分析仪可对液体泡沫进行多尺度表征。

宏观尺度表征： 

• 泡沫体积/高度是通过使用Camera 1的图像分析实时测定。

• 不同位置的泡沫中液体含量是通过电导电极实时测定的。

微观尺度表征： 

• 泡沫结构: 气泡的大小和分布是通过图像分析来确定的，使用Camera2聚焦于沿测量玻璃管放置的四个棱镜之一 (P1 - P4)。

• CSA软件分析气泡尺寸和分布随时间的变化。