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离子源的离子源的应用-离子束

颓废19a 2018-11-15 20:08:51 362  浏览
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离子源的离子源的应用-离子束
 
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KRI离子源 RFICP 380 辅助离子束溅射镀SiO_2

二氧化硅 (SiO_2) 薄膜具有硬度高、耐磨性好、绝缘性好等优点常作为绝缘层材料在薄膜传感器生产中得到广泛应用. 某光学薄膜制造商为了获得高品质的 SiO_2薄膜引进伯东 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380辅助离子束溅射镀制SiO_2薄膜.

 

该制造商的离子束溅射镀膜组成系统主要由溅射室、双离子源、溅射靶、基片台、真空气路系统以及控制系统等部分组成.

 

离子源溅射离子源采用进口的 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380, 其参数如下:

伯东 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380 技术参数:

射频离子源型号

RFICP 380

Discharge 阳极

射频 RFICP

离子束流

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

30 cm Φ

离子束

聚焦

流量

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

39 cm

直径

59 cm

中和器

LFN 2000

 

推荐理由:

1. 聚焦型溅射离子源一方面可以增加束流密度, 提高溅射率

2. 另一方面减小离子束的散射面积, 减少散射的离子溅射在靶材以外的地方引起污染

 

其真空气路系统真空系统需要沉积前本底真空抽到 8×10-4 Pa, 经推荐采用伯东泵组  Hicube 80 Pro, 其技术参数如下:

 

分子泵组 Hicube 80 Pro 技术参数:

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

DN 40 ISO-KF

35

< 1X10-7

Pascal 2021

18

AVC 025 MA

 

运行结果:

  1. SiO_2薄膜沉积速率比以前更加快速

  2. 薄膜均匀性明显提高

  3. 成膜质量高、膜层致密、缺陷少

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

 


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伯东 KRI 双离子源辅助离子束溅射技术获取高反射吸收Ta2

伯东 KRI 双离子源辅助离子束溅射技术获取高反射吸收Ta2O5薄膜


为了获取高性能紫外激光薄膜元件, 急需研制紫外高吸收薄膜, 某研究所采用伯东 KRI 双离子源辅助离子束溅射沉积技术镀制 Ta2O5 薄膜进行研究.

 

其系统工作示意图如下:

 

 

该研究所的离子束溅射镀膜组成系统主要由溅射室、双离子源、溅射靶、基片台等部分组成.

 

其中双离子源中的一个离子源适用于溅射靶材, 另个离子源是用于基材的预清洗.

 

用于溅射的离子源采用伯东的 KRI 聚焦型射频离子源 380, 其参数如下:

 

伯东 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380 技术参数:

射频离子源型号

RFICP 380

Discharge 阳极

射频 RFICP

离子束流

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

30 cm Φ

离子束

聚焦

流量

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

39 cm

直径

59 cm

中和器

LFN 2000

 

理由:

聚焦型溅射离子源一方面可以增加束流密度, 提高溅射率; 另一方面减小离子束的散射面积, 减少散射的离子溅射在靶材以外的地方引起污染

 

用于预清洗的离子源是采用伯东 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 3000

 

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 3000 技术参数:

离子源型号

 

霍尔离子源

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

Cathode/Neutralizer

HC

电压

50-250V
50-300V
50-250V

电流

20A
10A
15A

散射角度

>45

可充其他

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

气体流量

5-100sccm

高度

6.0“

直径

9.7“

水冷

可选

 

其溅射室需要沉积前本底真空抽到 1×10-5Pa, 采用伯东分子泵组  Hicube 80 Pro, 其技术参数如下:

进气法兰

氮气抽速
 N2,l/s

极限真空 hpa

前级泵

型号

前级泵抽速
 m³/h

前级真空
安全阀

DN 40 ISO-KF

35

< 1X10-7

Pascal 2021

18

AVC 025 MA

 

运行结果:

伯东 KRI 双离子源辅助离子束溅射技术可以制备不同吸收率的355nm高反射吸收 Ta2O5 薄膜.

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

 


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