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滨松中国半导体实验室预计于今年6月28日正式投入使用，滨松中国半导体实验室，欢迎大家前来参观交流。

滨松中国半导体实验室建筑面积为340平方米，针对不同客户的使用场景专门设立了五个不同功能的使用区域。根据市场大环境与客户的实际要求出发，滨松中国参考了半导体产业的发展态势和行业特点，于2023年上半年从日本滨松总部进口了两款行业内具有代表性的Demo样机：FA半导体失效分析设备和Micro LED PL Inspection System。这两款设备主要用于中国半导体材料缺陷分析领域以及Micro/Mini LED产品存在缺陷问题时能够帮助客户进行精 准、快速定位。

图1 两款样机展示左：PHEMOS-X 右：MiNY PL

本次滨松中国半导体样机的引进，不仅能够帮助客户论述与验证工作场景遇到的诸多问题，还可以快速地帮助客户寻找到这些问题背后的原因并制定精 准的对策。全方位为客户提供便捷的服务、快速的应答机制同时还可以为特殊客户进行远程在线故障诊断和问题查找等服务。除此之外，还可以为客户提供相应的技术咨询和样品Demo测试。关于产品新功能以及新应用等相关内容也会定期地同客户进行线上或者是线下的技术交流。

为了让大家更好地了解半导体实验室相关产品的功能与特点，接下来将为大家详细介绍滨松中国自主研发的FA半导体失效分析设备，2023年全 球同步上市的最 新款机型PHEMOS-X微光显微镜。

PHEMOS-X 实测案例

众所周知，半导体芯片出现功能失效时，针对电性测试（EFA检测）而言，业内以往传统的分析方法主要是：红外热成像探测、液晶涂抹显影探测、电路回路探测等等。这些方法不仅会造成消耗的时间太长，而且还会遇到一些共同的缺点，比如：需要使用特殊试剂才能达到测试条件，需要借助化工原料作为激发媒介、芯片在物理破坏下才能进行探测等等。这些传统测试方法带来的测试结果会导致无法第 一时间找到失效坐标，大大增加了不良品流向市场的概率。

日本滨松公司从上世纪80年代开始致力于半导体材料的分析与深入研究，多年以来经过技术的不断积累和创新，研发出了高稳定性、高品质的PHEMOS-1000系列产品。在2023年年初正式向全 球同步发售了新一代FA产品PHEMOS-X 以及iPHEMOS-MPX。随着这两款新产品的正式推出和发布，我们希望将来针对高制程产品的失效定位和特殊产品的精 准探测等能够更好地提供新的解决方案和全新的思路参考。

图2 微光显微镜C15765-01

首先我们通过3组实测案例为大家说明该产品的实际使用效果，基于此再为大家进一步说明获得此种检测效果所需的技术原理和特点。

案例一 PCB板级布线工艺缺陷

背景说明：客户的一批PCB电路板（部分产品）存在短路现象。但是客户工厂不具备高精度的测试仪器和分析设备。为了尽快找到发生短路的具体位置，客户借助了滨松公司自主研发的Thermal热红外相机对这批部分短路的PCB电路板进行了全面的热成像检测。最 终滨松帮助客户精确地找出了PCB板中存在短路的坐标位置，同时也给后道工程提供进一步分析的方向和参考意见。

图3 PCB板级布线工艺缺陷案例

案例二 手机屏坏点失效

背景说明：客户在给手机屏幕通电测试时，发现屏幕上面有多处明显的黑点（属于上电后不亮故障）。客户在利用传统的分析方法下，始终未能找出真正的失效坐标。为了防止这类有缺陷的产品流入终端市场，影响品牌形象。客户联系了滨松FA样品测试工程师，表示希望可以在测试现场一起进行样品的测试与技术交流。本次测试使用的是滨松公司自主研发的InGaAs红外相机，成功地为客户找到失效位置。

图4 手机屏坏点失效案例

案例三 手机摄像头失效

背景说明：客户在启动相机软件进行拍照时，手机会瞬间出现黑屏现象并会直接退出相机的应用程序（类似闪退的问题）。而且在手机摄像头（小范围内）手指触摸时会有较为明显的发热现象。客户取出手机内部的相机主芯片之后，使用了伏安特性仪器对这颗有问题的芯片进行了IV曲线的测量，发现在芯片中的某一路的电路回路中有明显漏电的现象。借助滨松公司自主研发的Thermal热红外相机进行全方位分析，最 后成功地找出了芯片失效的热点坐标，并为客户提供了后续工程的进一步分析思路与参考建议。

图5 手机摄像头失效案例

PHEMOS-X 产品特点

PHEMOS-X 微光显微镜C15765-01采用的是国际上最 先进的相机传感器制造封装技术。

特点一：国际领先相机传感器制造封装技术

日本滨松自主研发的InGaAs红外相机（950 nm-1550 nm）采用的是水冷型方式（-70℃）对相机工作时候的温度进行有效温控和降温。此外，Emmi-X系列产品更具有较高分辨率（1024*1024）以及较高的量子效率QE值可达到90%。

PHEMOS-X微光显微镜搭配的是1.35倍高灵敏度大视野FOV红外镜头，它可以同时满足Emmi分析和OBIRCH分析两种功能使用，上一代机型只能用于Emmi单一功能的使用，对于体积较大的元器件而言具有较高的尺寸覆盖面和较高的灵敏度提升。日本滨松公司自主研发的第7代IR-OBIRCH高灵敏度放大器（Amplifier System V7.0）也同时进行了发布和推广。V7.0版本的OBIRCH放大器不仅继承了V6.0旧款放大器较高精度的探测优点，在该基础上日本滨松公司研发出了独有的四象限通道测试专利技术和有效的扩展功能，在某些特定的测试环境下，漏电测试可以达到1 PA的极高理论值。四象限通道均可在软件中自由切换和使用，这些模式有：V1模式、I1模式、V2模式、V3模式。客户们可以根据被测物的属性和测试要求等来选择正确的模式通道。

图6 不用的模式通道

此次，日本滨松软件开发团队专门为PHEMOS-X系列产品量身定制了全新的测试软件Semishop4.0版本。从原来的四个分析窗口扩展到了6个窗口，而且在新版本4.0软件登录程序菜单中，客户们还可以建立属于自己的用户ID和登录密码。同时，还可以根据平时自己的使用习惯和喜好等来对这些按钮和功能进行重新排列和保存。新版本登录时客户最 多可以创建50个不同的账号ID，进一步满足了不同客户的使用需求和应用场景。

图7 全新的测试软件

特点二：可同时搭配5种激光光源

PHEMOS-X微光显微镜C15765-01根据不同的客户需求，最 多可以在一台机器内同时搭配5种不同波长范围的激光光源，可以同时满足静态测试和动态测试的需要。为了应对不同的测试环境和复杂的测试条件，针对第三方检测机构的客户群滨松一般会优先推荐搭配使用三种不同波长的激光光源（1.3 μm，1.1 μm，532 nm），这种搭配模式最 大的优势是可以针对SI/SIC/SIN/GaAS等不同的半导体材料进行不同的探测和分析，以到达多材料的分析和技术覆盖。

全新设计的MACRO LENS的特点：

• 倍率为1.35X的微距红外镜头具有较高的数值孔径(N/ A=0.4)。它对弱光发光和IR_OBIRCH微弱信号处理起到更好的侦测作用；

• 全新的1.35X镜头可以同时兼容Emmi亮点分析和IR_OBIRCH信号探测两种功能（可共同使用）；

•功能应用包含以下：DALS/Digital Lock-in / EO Probing analysis / EOFM Function/ Laser Marker High Power Device Analysis。

半导体两种发光机制科普介绍

半导体主要有两种发光机制：

1、热载流子能量释放(Relaxation accompanied with light emission) 

当载流子经过电场时加速获取到足够的动能(kinetic,热载流子)以光的形式进行释放的一种持续的过程。此过程程发生在同一能带(intra band process).即未跨跃能阶带。

2、电子空洞结合(Radiative Band-Band Recombination) 

导带与价带(valence band)的电子空洞相结合，不在能带间进行转换的一种过程。

图8：Si硅材料Bandgap是1.1eV(常温下)；SiO2的Bandgap为5.2eV；EC为导带的底部能级；EV为价带的顶部能级；EG为禁带宽度（为EC和EV之间的能量间隔）；导带（Conduction Band）指自由电子存在的能带。有自由电子的存在，固体材料才能够导电。价带（Valence Band）是价电子能级对应的能带；禁带（Forbidden Band）指价电子要成为自由电子，就必须获得足够的能量进行跃迁到达导带，这时候能量的最 小值就是它的禁带宽度。

关于滨松中国半导体实验室以及半导体失效分析系统的内容已经全部讲解完毕，如果有任何问题都可以在评论区提问，以下滨松中国产品技术工程师会第 一时间为您解答。

您的液相分析实验室是否面临以下挑战：

· 仪器性能无法满足方法升级后的系统适应性要求?

· 仪器效率无法进一步优化，无法满足日增的检测需求?

· 实验室数据采集和管理还基于已停止支持的 WINDOWS 7系统上?

· 实验室整体 ROI无法进一步优化?

沃特世非常理解您的需求和困境，现推出 2023 以旧“焕”新活动，助力您的实验室保持分析技术的先进性，实现性能和效率的全面提升，轻松应对以上挑战。

*活动截止日期：2023年12月31日。本活动名额有限，先到先得！

哪些仪器可以参与以旧“焕“新活动？

您实验室拥有已经使用 7 年及 7 年以上的旧机，且仪器序列号存于沃特世系统，适用型号如下：

参与沃特世2023以旧“焕”新活动，可以获得哪些益处：

- “先”进的LC技术，“焕”新LC 型号包括：

a. Arc HPLC 
推荐用途：Arc HPLC系统能在性能和成本之间达到理想的平衡，仅需一次分析即可获得准确结果。（点击进入官网了解详情）

b. ACQUITY Premier UPLC
推荐用途：提高结果可信度，在非常棘手的金属敏感化合物分析中改善峰形和重现性。（点击进入官网了解详情）

c. ACQUITY UPLC H-Class PLUS
推荐用途：出色性能助推实验室升级，将方法转换至UPLC技术，提升实验室工作效率。（点击进入官网了解详情）

- 您在购买以上“焕”新型号的新机时，可获得“ 心“动的额外服务：

目标新机的 1 年维保服务（含PM）或Empower网络版 2 个用户名

“焕”新行动如何参与？

1. 确认需求并提供旧机信息(型号及序列号)

2. 扫码提供信息，沃特世将及时与您联系；或直接联系本地销售沟通详情

3. 沃特世确认信息，参与2023沃特世以旧“焕“新行动

扫描二维码或点击此处立即参与以旧“焕”新活动

2020年11月5日-7日，ZG光学学会激光加工专业委员会、广东省科学院、华南师范大学、广东工业大学、暨南大学等单位将在广州共同主办 “ 第十四届全国激光加工学术会议（NCLP 2020）”。本次会议以“引领先进光源，推进激光制造”为主题，ZD围绕新型激光器、激光智能制造、激光精密制造、激光多学科融合等方向，以更好地推动我国激光技术领域的前沿研究和产业化发展为宗旨，着重探讨激光加工与激光智能制造技术在高端装备、航天航空、汽车、海洋装备、轨道交通、石油化工、光电显示、微电子制造等行业的新挑战、新应用和新发展。

在此次会议中，滨松ZG工程师将发表《滨松光子在激光加工应用中的新进展》报告，届时将全面介绍滨松两项新的激光应用技术，一个是激光隐形切割技术，一个是激光的非金属材料焊接、粘接和烧结技术。

滨松光子学商贸（中国）有限公司（以下简称滨松中国）兹定于2023年1月21日至27日春节放假，2023年1月28日起恢复正常工作。

春节期间，公司的服务热线、网站咨询等暂停回复，如有紧急事项请致电各业务相关人员，其他事项敬请留言。留言可在滨松中国官网、微信公众号、技术文章及资料网站中进行，或发送邮件至hpc@hamamatsu.com.cn，也可发送传真至010-65862866。我们将于恢复工作后第 一时间与您取得联系。给您带来不便，敬请谅解。

感谢各位对滨松中国一直以来的支持，我司全体员工将以更饱满的热情和更优异的工作为您提供服务！最近疫情反扑，也请大家注意防护，多运动、多吃蔬菜、多休息好，以提高自身的免疫能力。最 后，祝愿大家拥有平安喜乐的假期时光。

学习如何正确使用滨松H10722光电倍增管

2021年3月17-19日，滨松ZG即将参加Semicon China 2021，展位号为N2-2189，滨松ZG期待与您相见。本次展台设计一共有5大亮点。

一、全新展示理念

针对国内半导体行业差异化需求，展示从元器件、模块、子系统到大型设备的产品。以汽车行业为代表的传统工业，往往是下游市场需求的爆发推动上游零部件、装备、材料、机械装置等行业的发展，依照供需层级关系，产业链往往划分为从上而下的金字塔结构。但是滨松认为光产业具备完全不同的性质，上游的光子使能技术是能够推动行业产生革命性突破、造福人类生产与生活的JD科技，因此滨松一直以来以“倒金字塔”理念布局光电行业。本届Semicon China 2021，滨松首次以倒金字塔产业链概念，立体地展示滨松集团在半导体行业，从元器件、模块、子系统到大型设备的典型产品。

光产业“倒金字塔”

二、 解决卡脖子问题

为半导体设备客户供应高稳定性、高性能的光源-探测器产品。过去几年，国际局势动荡频繁，半导体设备关键部件出现供应问题，给国产设备企业正常发展造成了一定影响。目前ZG半导体设备行业国产率约19%，其中检测设备国产率不足5%，ZG半导体设备行业发展仍重而道远。本届Semicon China，滨松ZG以半导体检测应用为主题之一，展示了光学检测、量测、电子束检测技术相关设备中的核心光源和探测器产品。滨松ZG致力于成为ZG半导体设备行业优秀的合作伙伴之一。

TDI相机 C15333-10E

MCP

三、瞄准前沿领域

展示Micro/Mini LED检测方案。MicroLED显示被誉为新一代的显示技术，而且当前Micro/Mini LED技术尚不成熟，芯片价格居高不下，传统电性测试又无法满足巨量检测的需求，AOI检测只能检出外观缺陷。本届Semicon滨松将展示光致发光检测设备、电致发光检测设备和微光显微镜产品线，覆盖从MicroLED/MiniLED芯片端巨量检测和显示产品失效分析，到显示驱动电路失效分析等环节。

滨松Micro LED巨量检测设备 PHEMOS-1000

四、引领行业发展

发布面向5 nm芯片失效分析工作的全新EMMI显微镜。近年来，数据ZX市场发展迅猛，预计在5G的推动下，数据ZX对存储芯片的带宽、安全性和稳定性等性能有更加苛刻的要求，HBM作为次世代高性能高带宽内存，随着技术逐渐成熟，成本逐渐降低，将有越来越广阔的市场前景。本届Semicon China，滨松将发布面向5 nm HBM失效分析应用的全新EMMI产品，PHEMOS-X和iPHEMOS-MPX。

半导体故障分析设备PHEMOS-X　C15765-01

五、显示行业研发利器展示

展示面向ZGLCD、OLED等显示行业的失效分析系统、材料分析研究系统产品。随着ZG大陆面板显示行业的发展，ZG已成为LCD，OLEDDY大市场，LCD、OLED产品出货节节攀升。然而，随着LCD、OLED产品出货量的增加，产品失效现象越来越多，能否快速定位缺陷位置、查明故障原因将极大地影响到面板企业的盈利能力。本届Semicon China，滨松将发布面向ZGLCD、OLED等显示行业的失效分析系统、材料分析研究系统产品，适合从手机、手表到TV panel大小的多种尺寸产品。此外，滨松针对OLED、量子点材料研究应用推出了Q-Y，Q-Tau产品，帮助企业提升产品质量，增加产品附加值。

MPEM产品

Quantaurus-QY

第四届ZG（国际）Micro-LED显示高峰论坛暨第二届成都新型显示合作洽谈会将于2020年11月5日-7日在成都高新皇冠假日酒店举办。此次会议以“巨量转移，创新与突破”为主题，继续聚集显示、LED和半导体三大领域的权威学者、专家和产业链上下游的企业LX及工程技术人员共同探讨Micro-LED的技术路线及其应用前景，尤其将集中讨论Micro-LED巨量转移技术，以促进和推动我国Micro-LED显示产业政产学研用的协同发展，从而在国际新型显示产业的未来竞争中取得优势。

在此次会议中，滨松ZG工程师将发表《面向量产应用的Micro-LED在线检测设备》报告，届时将全面介绍滨松在该领域的相关产品、技术。

报告人：向成豪，毕业于ZG科学院上海微系统与信息技术研究所，微电子学与固体电子学专业，在校期间从事柔性自发电传感器、MEMS传感器的设计、制造工作；曾在Nano Energy、JoMM等期刊发表多篇论文。于2017年加入滨松ZG，担任技术型市场工程师，日本滨松集团在ZG大陆半导体业务市场负责人，主要负责泛半导体行业业务开发与拓展、产品引进与推广、技术支持、市场分析与策略制定等工作。

       今天，2020年4月1日，对于Tinius Olsen来说，是成立140周年的大！喜！日！子！

       人生都没有140年，而Tinius Olsen公司做到了。在今天这个欢乐喜庆的日子里，我们为大家准备了有奖问答，答对者有奖哦！提醒一下，所有的答案，都在前几天的推送里，小伙伴们不妨去回顾下前7天的推送，答案都有下划线敲小黑板哦！

活动奖品

       蓝牙耳机、运动手环、无线充电站、PM2.5监测器，Tinius Olsen精美笔记本，数量丰厚，中奖。大家不要着急，人人有奖，只要你有认真看我们的推送。

温馨提醒

       问答及抽奖时间截止至2020年4月2日0点。

       礼品发放时间为2020年4月15日之前。

       请准确填写您的联系方式，礼品发放需电话核实，请注意来电接听。我们的联系方式是86-21-60790300。

       天氏欧森测试设备（上海）有限公司（Tinius OlsenZG分公司）保留对此次活动的解释权。

有奖问答通道

扫描或识别下方二维码，开启您的欢快问答之旅吧。

2020华南先进激光及加工应用技术展览会将于11月3-5日在深圳国际会展ZX（宝安新馆）举行，展会在覆盖电子智能制造全产业链核心资源的前提下，立足于聚焦5G与新基建、驱动新需求、引发新场景的主旨，将发掘激光在PCB、锂电、消费电子、微电子、YL等领域的应用，旨在带给观众更新、更精致的激光应用交流平台。

滨松ZG在此次展会中将ZD展示激光加工相关的系列产品以及现阶段我们可以为各位客户提供的激光超快多焦点并行加工以及非金属材料的焊接、粘贴、固化等技术支持能力。同时，滨松ZG与湖北工业大学已经建立了激光加工联合实验室，可以为各位客户提供免费的打样服务。欢迎各位来到展位（12H58-10)与我们的技术工程师进行进一步交流。

滨松光谱仪软件全新升级，现已进入火热测试阶段。诚邀各位下载最 新款Jian Spectra尖雀光谱仪TM软件，前20名在评论区反馈的客户还可以获得精美礼物一份哟。

图1 Jian Spectra软件界面 

最 新款Jian Spectra尖雀光谱仪TM软件，从视觉上来说，更加扁平化，功能区域划分更加清楚，提高了用户的使用体验；从功能上来说，Jian Spectra这一款软件就可以适配滨松所有型号光谱仪需求，对于有多个型号的光谱仪用户来说，可以大大减少工作负担；从使用的便捷性来说，只需要通过简单的鼠标点击即可完成诸如曝光时间、平均次数、触发参数等设置，无需单独打开设置按钮，使得用户可以更快速地获取数据。无需专业的光谱仪使用经验即可轻松上手。

表1 新旧版光谱仪软件对比

表2 新款光谱仪软件适用型号一览

接下来，我们通过两个案例来详细介绍一下Jian Spectra尖雀光谱仪TM的具体操作流程。

序列采集

1、首先点击“预览”按钮，根据光谱完成参数设置。

2、点击“保存设置”按钮，完成序列采集相关参数设置。

3、采集完毕后，可以查看所有采集的光谱曲线，或者保存单张。

透过率采集

1、点击“预览“按钮，完成光谱参数设置。

2、采集暗背景，扣除暗背景。

3、点击“空白参考采集”按钮，采集参考信号。

4、放置样品，采集信号。

5、点击“T”按钮，就可以查看透过率光谱，或点击“A”按钮，也可以查看吸光度。

除了上述图片文字演示之外，我们还为大家准备了工程师实操视频演示版本，点击下图查看软件操作，希望可以帮助大家更好地使用最 新款光谱仪软件。

关于最 新款光谱仪软件的信息介绍到此结束啦，大家要记得下载测试给我们反馈哦。前20位还有礼品等着你哟。

从2022年7月起，滨松中国计划以“光，即可能性本身”为主题，开展一系列介绍光电元器件产品技术及相关应用的线上直播活动。滨松希望通过一系列的分享，与大家一起交流讨论光学领域时下热门的产品技术、应用方向、技术热点、行业报告等内容。2022年9月2日 15:00，滨松中国产品技术工程师蔡红志将为大家带来《从400G到800G，滨松的探测器方案》直播报告，将围绕：1、滨松固体事业部介绍；2、数通和电信市场需求热点；2、针对市场需求滨松的方向展开介绍，扫描二维码报名。

工程师介绍：蔡红志，滨松中国产品技术工程师。毕业于天津工业大学光学信息与技术专业，后取得华南师范大学光学工程硕士学位。具有多年的研发和技术经验。主要负责滨松中国 LIDAR、光通信、民用消费电子等应用的技术服务。

LCOS-SLM全称是液晶硅基空间光调制器，因其在涡旋光的产生、并行加工、贝塞尔光束优化等应用中的优异表现，近年来，越来越多的受到国内外研究人员的青睐。

SLM

大师姐与客户的日常~

对比国际市场研发周期长、产品审核制度冗余等特点，ZG市场对于SLM的需求可以用“求快”两个字来概括，器件数量增长越快越好，产品技术革新越快越好，软件升级越好越好，售后服务维修越快越好。

但是众多国际品牌产品主要是面对欧美主流应用，但是这些应用在ZG并不热门；或者说ZG领先的行业、发展速度超越欧美的产业，所需要的产品性能，并不被产品设计者所熟知和理解。

所以近五年来，滨松ZGZD收集ZG市场信息和DY手客户需求，推出了专门为ZG市场设计的1550nm介质镜型号产品，充分满足国内SLM市场快速发展的需求。并且我们在细节服务上也下足了功夫，对于客户关于算法、软件、说明书、产品体积等问题上的反馈，我们均快速做出了升级与改进。我们始终重视客户的意见，希望每一位客户都可以在产品与服务上得到双重满足。

客户说英文说明难懂，我们就做全中文的

客户A反馈：

“英文说明书冗长、逻辑顺序难理解、不知道先看哪里后看哪里、有的问题也找不到答案。

滨松ZG产品技术工程师综合了五年多的实际客户技术支持经验，并结合客户多年来反馈的意见与需求，更新了全中文的SLM使用手册，从参数解析到安装使用说明，事无巨细，手把手地教您使用SLM。

扫描下方二维码获取

X15213参数解析及选型指南

X15213装机手册

如何用USB控制X15213

如何用USB控制X15223

客户说产品笨重，我们就缩小体积

客户B反馈：

“滨松SLM测试的光强拟合非常WM，拟合的越接近正弦说明这个相位调制的线性度越好，并且滨松对不同波长都做了校准，用的时候只要改一下软件设置就好了，而其他公司的SLM只对一到两个波长做了校对，每次用在其他波长都要自己校对，非常繁琐。

但是有一点需要改进的是，这个液晶屏相对来说比较笨重，其他的品牌液晶屏都直接安装在二维调整架上，相对来说比较方便调节角度和俯仰，准直光路。”

根据客户对产品笨重的反馈，滨松推出了小体积，加了强机械底座的新款X15213系列产品，方便客户在光学平台上以及集成化设备里操作。

客户说激光功率要更高，我们就做更高

客户C反馈：

“滨松的激光功率阈值虽然已经是LCOS中ZG的了，但是我们做激光加工的超快激光器的功率还在不断提高，所以希望滨松能有更抗强光LCOS。”

根据客户对激光器功率需求的反馈，滨松推出了X15223系列板级产品，功率阈值增加一倍，专为产业客户提供。

在此之后，滨松研究所还研制出了400 GW/cm²空间光调制器芯片，拥有世界z高耐光性能，用于高功率工业级脉冲激光加工的SLM，目前产品正在测试阶段，敬请期待。

客户说DVI不行，我们就换USB控制

客户D反馈：

“DVI控制有的时候不方便，有没有其他更高速、更便捷的控制方式？”

根据客户对使用便捷性的反馈，滨松X15213系列搭载了USB控制方式，每一帧提速了16.7ms，操作方便快捷，有现成的免费软件和中文使用说明书。

客户说编程麻烦，我们就设计新软件

客户E反馈：

“日本的产品软件不好用，还得自己编程，国外攻城狮响应速度太慢，问个问题要一周才有回复，还不一定可以接受客户的需求。”

根据客户对编程的反馈，滨松专门设计了用户友好的新软件，无需编程，老型号用户也可以免费升级。并且对于需要编程控制的高端玩家，C语言和python的SDK我们双手奉上，另外还有大牛算法工程师为您提供定制化方案。

X15213ZX软件，新老型号均可使用

工程师算法讲解视频回顾

从新软件面世以来，针对各位热心客户提出的意见和建议，滨松产品技术工程师不断更新软件版本，修缮了旧bug，增加了新功能，软件维护基本上可以达到十几天一个版本，包您在速度和质量上得到双重满意。

SLM

客户反馈

21世纪被称为光之世纪。如今，光子技术的应用已经十分广泛，在YL、环保、汽车、安全、能源、宇宙探索等各方各面，作为基础的使能力量，支撑着科技和社会的发展，并持续地被寄予了更高的期待。

滨松对「光」的追求，始于1953年，至今已有67年的历史。我们始终相信，光子技术是人类探索未知未涉世界的钥匙，是更美好未来的坚实基础。这一份信念，让我们坚定地前行在光之大道上，并希望通过不断挑战和攻克更高的技术难题，来创造出更多光子技术的应用可能。

人的指纹是各自不同的，通过指纹识别，便可以找到特定的那一个人。而在微观世界中，分子也是拥有自己独特的“指纹”的。红外光具有在特定波长被吸收的特性，该特定波长由分子固有的振动能决定。利用此特性可以识别每个分子，因此红外光的光谱范围通常被称为分子的“指纹区”，并被广泛用于分析光谱学中。

其中，傅里叶红外光谱仪（FTIR）是红外光谱分析中一种重要的光谱仪类型，发展自20世纪70年代，属于第三代红外光谱仪技术。由于可以快速、准确的进行多组分的定量和定性分析，FTIR被看看作是医药、食品、农业和化工等领域中实现质量控制的理想工具。

典型的FTIR工作示意

进入FTIR光谱仪的红外光由光学干涉仪中的分束器分成两束。这两个光束分别被固定镜和可移动镜反射，并被分束器重新组合。然后，光被红外检测器检测为光学干涉信号。根据可移动反射镜的位置信息和根据光学干涉信号强度按可移动反射镜位置分布的信息，来执行傅立叶变换以计算每个波长的红外光强度，从而分析样品的成分。

不过，虽然性能棒棒，本领超凡，但FTIR却有一个关于自己“体型”的“烦恼”，那就是：真！的！太！笨！重！了！作为一个“精贵的月半子”，FTIR几乎只能止步于实验室中。面对应用场景中出现的在线检测、快速移动等需求，只能无奈说一句“臣妾做不到”了。

之所以传统的FTIR光谱仪体积非常大，主要是其中的核心部分——光学干涉仪占据了非常大的空间。虽然业界中也一直在推进小型化的工作，也推出了一些有助于缩小整机体积的内部FITR光谱组件产品。但体积的缩小，往往会带来入射光量和光能量损失的问题，许多产品也是在牺牲了灵敏度、信噪比等性能下实现的小型化。若想解决这个问题，内部元件、光路的创新性设计，以及提高工艺水平都是关键。

经过精心重构光学干涉仪的设计思路，并采用always独特的MOEMS技术，滨松成功开发出了一款高性能的微型化FTIR引擎。迈克尔逊光谱干涉仪和控制电路统统内置其中，仅手掌大小，却实现了在1.1-2.5 μm区域超高的灵敏度，具有远超同类产品的高信噪比表现（10000:1），以及高光谱重现性。可内置于便携式FTIR仪器中，实现整机小型化的同时，也可保证高性能的实现。

滨松新型FTIR引擎C15511-01

左：FTIR引擎结构图

右：内置在FTIR中的光学干涉仪结构图

这个FTIR引擎内部到底是有什么样的乾，什么样的坤，才实现了这样的性能的呢？下面我们来看看吧！

1、高灵敏度&高信噪比

上文我们也提到，入射光量和光能量的损失是小型化FTIR灵敏度和信噪比下降的一个重要因素。采用MOEMS技术，滨松开发出了一个直径3 mm的微型可移动反射镜，克服了缩小干涉仪尺寸而又不减少入射光量的挑战。这是信噪比得以提升的关键。

我们还通过先进的封装技术，将可移动反射镜和固定镜直接键合在一起，从而成功地将镜与镜之间的相对角度误差减小了约0.01度。光程差控制更加精确，灵敏度则得到提高。此外，还优化了移动反射镜的驱动器结构和驱动方法，以消除驱动反射镜时出现的模糊，YZ了红外光在光学干涉仪中的扩散，进一步减少了光损失。

当然，体积也进一步得到了缩小，57×49×76 mm，这样的体型仅仅是一般台式仪器的1/100。

2、高光谱重现性

一般的FTIR光谱仪基于干涉光（光学干涉信号）和可移动镜的位置信息执行傅立叶变换，以计算每个波长的红外光强度。而新FTIR引擎利用半导体激光器，可以精确地检测可移动反射镜的位置，增强了测量结果的可重复性。

除了硬件设施外，为了更加方便使用。滨松还开发了与该产品相匹配的软件，用于设置测量条件，获取数据和显示数据图。

评估软件

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2019年11月29日，由长沙市司法局、长沙市教育局联合主办的长沙市2019年度“宪法宣传周”暨长沙市青少年法治教育ZX启动仪式在长沙市新城学校举行。

湖南省教育厅党组成员、副厅长王玉清，长沙市人民政府副市长唐向阳，省教育厅基础教育处处长曾四清，省司法厅普法与依法治理处副处长邹达成，市人民政府副秘书长杨小林、厉江华，市司法局局长尹小英，市教育局党委书记、局长卢鸿鸣等出席启动仪式，全市青少年学生代表等240余人参加了本次活动。

       长沙市青少年法治教育ZX是由省司法局厅和省教育厅指导，市司法局和市教育局共建，服务全市青少年普法教育的综合性、社会化法治教育活动ZX。作为湖南SJ青少年法治教育ZX，该教育ZX对于开展全市青少年法治教育，引导青少年树立法治观念，养成自觉守法、遇事找法、解决问题靠法的思维习惯和行为方式具有重要意义。

      启动仪式开始前，市司法局和市教育局组织了“长沙市新城学校（长沙市青少年法治教育ZX）”整体移交仪式。杨小林副秘书长、厉江华副秘书长、尹小英局长、卢鸿鸣局长以及市政府办、市机关事务局、市发改委、市委编办、市财政局、市人社局、市新城学校的相关负责人出席移交仪式。

长沙市新城学校（长沙市青少年法治教育ZX）整体移交仪式

      活动现场，与会领导触摸启动球，共同启动长沙市青少年法治教育ZX，并开启长沙市2019年“宪法宣传周”活动序幕。

      据了解，长沙市2019年度“宪法宣传周”系列活动以“弘扬宪法精神、推进国家治理体系和治理能力现代化”为主题，以“四个聚焦”为主线——聚焦领导干部、聚焦青少年、聚焦群众、聚焦典型人物，组织开展领导干部第二届党内法规竞赛、“向国家宪法日致敬”活动、宪法主题绘画作品地铁巡展等一系列宪法宣传主题教育活动，让文本上的宪法“活起来”。

      作为今年“宪法宣传周”系列活动之一，启动仪式现场以宪法主题宣传片展播、青少年“守法礼”宣誓、《青春的代价》法治舞台剧展演、青少年法治教育ZX现场观摩等生动鲜活的形式，开展青少年法治宣传教育活动，通过“大手牵小手”共同讲述“我和我的宪法故事”。

启动仪式现场

       启动仪式上，尹小英局长表示，本次活动是弘扬宪法精神、筑牢法治信仰、推动法治建设的一次生动实践。她强调，要始终将宪法教育作为普法宣传教育的重要内容，让青少年学生和广大市民在学法用法过程中增强宪法观念，领会宪法精神，自觉维护宪法权威，在全市上下营造尊崇宪法、学习宪法、遵守宪法、维护宪法、运用宪法的良好氛围。

市司法局党委书记、局长尹小英

       卢鸿鸣局长在启动仪式现场发表了青少年宪法法律学习倡议讲话，他呼吁全市中小学校要充分发挥学校主阵地作用，丰富各类普法活动形式，打造一批宪法宣传教育的靓丽品牌。他强调，我们要坚定制度自信，升华尊崇宪法的意识，坚决捍卫宪法权威，掀起学习宪法的热潮，显现运用宪法的效果，养成遵宪守法的习惯，共同成为宪法的忠实崇尚者、自觉遵守者、坚定捍卫者，全面推进依法治国，构建更美好的明天。

来源|湖南省智慧教育装备展示体验ZX

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