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21世纪被称为光之世纪。如今，光子技术的应用已经十分广泛，在YL、环保、汽车、安全、能源、宇宙探索等各方各面，作为基础的使能力量，支撑着科技和社会的发展，并持续地被寄予了更高的期待。

滨松对「光」的追求，始于1953年，至今已有67年的历史。我们始终相信，光子技术是人类探索未知未涉世界的钥匙，是更美好未来的坚实基础。这一份信念，让我们坚定地前行在光之大道上，并希望通过不断挑战和攻克更高的技术难题，来创造出更多光子技术的应用可能。

7月3日-5日，慕尼黑上海光博会盛大开展，滨松ZG以“光，即可能性本身”为主题，主要以5大展区、7种主要应用，ZD展示了相关的产品技术：激光加工、激光雷达、X射线成像检查、光谱分析、智能生活（民用消费电子、光通信、编码器）。而和往届不同的是，滨松此次展出，还进一步将我们对应用中探测器技术及服务的理解呈现了出来，强调了“价值服务”的概念。一方面展示了滨松产品所背靠的是怎样的技术、生产制造实力；一方面，从定制化、打样测试、本地化服务能力出发，进行了相应的诠释。工程师们也在现场带来了5场精彩的技术报告，以及展台导览，同时进行了线上直播。（关注滨松微信公众号，可观看直播回放）

激光加工展区

展区中，最受关注的三个产品为可用于隐形切割的超快激光加工头JIZAI、可选配温控模块的新激光加热光源τ-SMILS、联合实验室成果：多点并行加工系统。

对于对半导体晶圆切割市场有了解的朋友来说，滨松SDE的地位不言而喻。JIZAI是其第四代产品，属纯定制化产品。相对于前代，其体积大大缩小，仅有两个13寸笔记本摞在一起的大小。但对于晶圆加工的效率来说，却提升了一倍。目前被期待用于CMOS、逻辑器件、第三代半导体、low-k材料、存储器件、MEMS器件等半导体的隐形切割。 而在激光焊接应用中，滨松的LD-Heater激光加热光源以稳定的平顶光输出，以及独特的温控功能著称。可以实现加工效果的实时监控，并寻找出ZJ的加工效果。新系列τ-SMILS将原有的加工单元、温控单元进行了拆分，形成了可“组装”的模式，更加便于客户根据自身的需求，进行选配。

激光加热光源τ-SMILS

一套“多点并行加工系统”在现场也吸引了不少注意，它来自于湖北工业大学-滨松ZG-金顿激光激光加工联合实验室。其内置了滨松LCOS-SLM，并采用了特有的内部结构及软件算法，可以配合客户的激光器使用，可将一束光分为多束，进行并行加工，大大提高加工的效率，如可实现二维码一次性成形的打标等。而滨松SLM，具有极高的光强阈值，是市场上难得的能够承受高功率激光器的选择。（如今的材料被证实可完全承受255W/cm2的平均功率、几百兆瓦/cm2的皮秒激光器峰值功率、以及几十G瓦/cm2的飞秒激光器峰值功率）此次展出中，除了配合并行激光加工模块出展，也展出了板级产品和模块型产品。

多点并行加工系统

激光雷达展区

激光雷达作为自动驾驶感知层满足功能性安全的必备传感器，近几年一直在加速发展。而作为其中核心器件供应商，滨松的器件更迭也达到了前所未有的速度。光博会中，滨松器件在此应用中的发展方向，以及生产和制造车规级产品能力，是ZD呈现的内容。 滨松产品包括探测器和激光器两大类。探测器的材料包括InGaAs与Si两种，可响应与之匹配的905nm及1550nm的激光。其中两类比较重要的器件APD和MPPC，滨松均突破了过去传统应用中的性能瓶颈，向着量产、集成化、可靠性的方面快速迈进。总结激光雷达的发展趋势，我们也将继续向着综合性能提升、面阵集成化方向发展。

本次展会呈现了多款阵列型探测器和多通道PLD，以及集成化的APD/MPPC+ASIC芯片和激光器芯片，例如32×32通道MPPC集成芯片，ASIC中包含多路放大器、比较整形电路、TDC，可直接输出计时信号。同期展出的一套DEMO也获得不少观展小伙伴的驻足。

相应发展路径上，滨松较具代表性的ZX标准品

32×32ch MPPC+ASIC DEMO

滨松是少数从芯片设计到芯片制造再到芯片封测都融于一体的公司，具备全流程的生产能力，在各步骤间要经过多次检测后才完成出厂。全流程的生产模式能够把控每一步关键环节的质量并完成快速的问题追溯。这也使得滨松具备生产和验证车规级器件的能力，完成如静电、温湿度工作、振动等方面的测试要求验证。展会中，我们也将这样的一个模式，首次向大众进行了诠释

X射线成像检查展区

食品检查、安检、小动物CT、汽车及电子零件的无损检测。X射线成像检查展区的主题分为了这4大版块。

食品检测方面，我们奉上了一款线阵传感器新产品S13885系列。该系列较上代产品提高了4倍的响应灵敏度，而读出噪声仅前代的八分之一。可以满足客户更高端的检查需求；安检方面，展示包括X射线转换的闪烁体、传感器、传感器模块、采集卡以及相应的系统软件的整套解决方案。丰富的产品系列，让客户可以根据需求如响应灵敏度、像素尺寸，选择不同探测方案或产品；小动物CT方面，微焦点射线源（MFX）及探测器是滨松主要可提供的产品。展会中出展的X射线CMOS相机，空间分辨率可以达到33lp/mm，十分适用于小体积的高分辨率成像。同时基于这款相机的小型化设计，也便于装备在NANO CT 系统中。

而此次X射线成像检查展区，ZD的一个版块，则是汽车及电子零件无损检测。主要涉及的产品为MFX以及TDI相机。早些年，电子零部件的X射线检查设备在国内还尚未发展时，滨松将丰富海外经验结合国内市场需求，在最开始的MFX应用中，滨松帮助国内X射线检测设备的厂家，实现了在该领域的突破。此次展会，我们也带来了新款的MFX产品L14351-02。此外，滨松TDI相机也在锂电池检测标准不断提高的背景下，为检测设备厂商，提供了新的解决方案。帮助客户解决电池厚度带来的图像畸变问题。并在在线检测中利用TDI 的技术优势可以在给客户提供高检测速度的同时保证信噪比。新推出的C15400-30-50A也在展会中首次曝光。

光谱分析展区

光谱分析的应用领域极其广泛。从材料、设计到ZZ的生产，滨松可以把握全线的关键产品及制造工艺技术，可灵活应对多样的光谱分析应用及定制化需求，为客户提供性能、质量都值得信赖的探测器产品。结合近年的热点，此次展会从探测器、光源两方面，展出了覆盖气体、食品、纺织物、水质检测，色选、POCT、拉曼光谱、发射/吸收光谱应用的多类产品。其中，三款DEMO及相关产品，获得了最多的目光。

首先是MEMS-FPI近红光谱探测模块。集成了卤钨灯、MEMS-FPI近红外光谱探头、控制电路，具备低电量消耗、小巧紧凑、快速检测、低成本化的特性，为光谱分析应用于便携式设备带来了新的可能。其拥有三个光谱波段可选：1.35 to 1.55 μm、1.55 to 1.85 μm、1.75 to 2.15 μm。

现场展示了模块对塑料、纺织物类型的识别

同样是近红外光谱分析的FT-NIR引擎DEMO，则展现了这款新品实现小型化FT-NIR设备实时现场高精度测量的能力。利用独特的MOEMS技术，将迈克尔逊光谱干涉仪和控制电路统统内置其中，滨松FT-NIR引擎仅手掌大小，却实现了在1.1-2.5μm区域超高的灵敏度，具有远超同类产品的高信噪比表现（10000:1），以及高光谱重现性。可内置于便携式FT-NIR仪器中，实现整机小型化的同时，也可保证高性能的实现。

现场展示了其对各类食物、砂石等物质的检测

ZH一个DEMO，是以InGaAs线阵扫描相机C15333-10E为ZX的SWIR成像演示。此为滨松推出的DY款线阵相机，1100 to 1600 nm内QE超过了60%，内置像素校正功能可校正热像素以及传感器的非均匀性响应，保证高质量图像，行频达40kHz，且支持GigE Vision。在密封容器中的内容检测、硅晶片检测、太阳能电池缺陷等检测中有很大应用潜力。

SWIR成像

智能生活展区

此展区，我们主要展示了3个应用：光通信、编码器、民用消费。

5G、数据ZX通信，无疑是光通信领域的热点。而在5G承载网和数据ZX互联网络中，光模块是其中的最重要一环。针对5G和数通中长距25G~400G光模块，滨松可以提供全系列的正照式/背照式，单点/阵列，裸片/COC InGaAs PIN PD产品。在此次展会中得以了充分展示。

在工业4.0的进程中，伺服电机、数控机床、机器人等必备设备中，编码器是无处不在的。滨松依托完备的产品序列，能在编码器产品中提供最全面的服务，而且对于越来越细分的产品应用趋势，还可以为客户提供定制化的产品。

针对民用消费应用也是如此，丰富的产品线可以带来广泛的应用可能，而面对民用市场时，滨松也将注重性能和成本之前的平衡，利用In house的生产特点，进一步提高产品性价比。更多介绍，可通过关注滨松微信公众号，观看展会展台导览视频回放了解。

此次慕尼黑上海光博会，遭遇疫情，几经波折，姗姗来迟。十分开心ZZ能和众多朋友在展台上、展会直播间中相见。我们精心准备的内容，希望能够为你带来实用的信息以及价值。滨松相信，“光，即可能性本身”，我们将继续不断探索此基础、核心的力量，以助力千万科技的发展。

第四届ZG（国际）Micro-LED显示高峰论坛暨第二届成都新型显示合作洽谈会将于2020年11月5日-7日在成都高新皇冠假日酒店举办。此次会议以“巨量转移，创新与突破”为主题，继续聚集显示、LED和半导体三大领域的权威学者、专家和产业链上下游的企业LX及工程技术人员共同探讨Micro-LED的技术路线及其应用前景，尤其将集中讨论Micro-LED巨量转移技术，以促进和推动我国Micro-LED显示产业政产学研用的协同发展，从而在国际新型显示产业的未来竞争中取得优势。

在此次会议中，滨松ZG工程师将发表《面向量产应用的Micro-LED在线检测设备》报告，届时将全面介绍滨松在该领域的相关产品、技术。

报告人：向成豪，毕业于ZG科学院上海微系统与信息技术研究所，微电子学与固体电子学专业，在校期间从事柔性自发电传感器、MEMS传感器的设计、制造工作；曾在Nano Energy、JoMM等期刊发表多篇论文。于2017年加入滨松ZG，担任技术型市场工程师，日本滨松集团在ZG大陆半导体业务市场负责人，主要负责泛半导体行业业务开发与拓展、产品引进与推广、技术支持、市场分析与策略制定等工作。

2020年12月14日-16日，ZG稀土行业协会光功能材料分会2020年会暨技术产业发展研讨会在厦门圆满落幕，滨松ZG受邀参加。本次研讨会以“协同互动，求质创新”为主题，旨在更好地将稀土光功能材料研发、生产与下游应用有机结合，ZD限度的发挥稀土光功能材料的优势，与此同时此次研讨会也为众多的专家学者提供了交流与沟通的平台。

在此次展会中，滨松ZG与合作代理商尤谱光电共同参展。滨松近红外JD量子产率测量仪Quantaurus-QY PLUS C13534亮相了本次会议。JD法是一种快速而准确测定量子效率的方法，该方法具有低能源消费与高环境保护的特点，所以被广泛应用于稀土光功能材料研究。滨松近红外JD量子产率测量仪Quantaurus-QY PLUS是采用JD法测量光致发光材料量子产率（PLQY）的集成化全新产品，通过集成光源、分光系统、积分球以及探测器于一体，大大提高了空间利用率，产品的软件操作自动化，让用户可以简单、便捷地使用产品。

其可以测量薄膜、粉末以及液体样品，包含样品的激发光谱、发射光谱、量子产率、色度参数、EEM谱。在前代产品的基础上，Quantaurus-QY PLUS C13534增加了可扩展近红外探测器通道以及可扩展外接光源的接口。可扩展的近红外通道可以将量子产率的测量范围扩展至300-1650nm，覆盖市面上发光材料量子效率测量需求波段。与普通双通道探测器不同，滨松的双通道探测器测量结果通过算法拟合，结合JCSS级别的校准技术，可以让双通道结果无缝接合，得到稳定结果。产品的外接光源扩展接口可外接激光器以及高能氙灯等光源，可以轻松测量低量子产率以及稀土光功能材料，满足客户的测量需求。产品涉及领域广泛，包括荧光粉、量子点、有机电致发光材料、金属有机框架材料、PV敏化染料电池片、荧光探针、钙钛矿材料、上转换材料、AIE材料等。

除了近红外JD量子产率测量仪Quantaurus-QY PLUS C13534外，滨松ZG在此次研讨会上还ZD介绍了C11200系列皮秒荧光寿命测量系统和深制冷型InGaAs近红外相机。以上两款产品也受到了与会专家学者的高度关注。

滨松光子学商贸（中国）有限公司（以下简称滨松中国）兹定于2023年1月21日至27日春节放假，2023年1月28日起恢复正常工作。

春节期间，公司的服务热线、网站咨询等暂停回复，如有紧急事项请致电各业务相关人员，其他事项敬请留言。留言可在滨松中国官网、微信公众号、技术文章及资料网站中进行，或发送邮件至hpc@hamamatsu.com.cn，也可发送传真至010-65862866。我们将于恢复工作后第 一时间与您取得联系。给您带来不便，敬请谅解。

感谢各位对滨松中国一直以来的支持，我司全体员工将以更饱满的热情和更优异的工作为您提供服务！最近疫情反扑，也请大家注意防护，多运动、多吃蔬菜、多休息好，以提高自身的免疫能力。最 后，祝愿大家拥有平安喜乐的假期时光。

学习如何正确使用滨松H10722光电倍增管

2021年3月17-19日，滨松ZG即将参加Semicon China 2021，展位号为N2-2189，滨松ZG期待与您相见。本次展台设计一共有5大亮点。

一、全新展示理念

针对国内半导体行业差异化需求，展示从元器件、模块、子系统到大型设备的产品。以汽车行业为代表的传统工业，往往是下游市场需求的爆发推动上游零部件、装备、材料、机械装置等行业的发展，依照供需层级关系，产业链往往划分为从上而下的金字塔结构。但是滨松认为光产业具备完全不同的性质，上游的光子使能技术是能够推动行业产生革命性突破、造福人类生产与生活的JD科技，因此滨松一直以来以“倒金字塔”理念布局光电行业。本届Semicon China 2021，滨松首次以倒金字塔产业链概念，立体地展示滨松集团在半导体行业，从元器件、模块、子系统到大型设备的典型产品。

光产业“倒金字塔”

二、 解决卡脖子问题

为半导体设备客户供应高稳定性、高性能的光源-探测器产品。过去几年，国际局势动荡频繁，半导体设备关键部件出现供应问题，给国产设备企业正常发展造成了一定影响。目前ZG半导体设备行业国产率约19%，其中检测设备国产率不足5%，ZG半导体设备行业发展仍重而道远。本届Semicon China，滨松ZG以半导体检测应用为主题之一，展示了光学检测、量测、电子束检测技术相关设备中的核心光源和探测器产品。滨松ZG致力于成为ZG半导体设备行业优秀的合作伙伴之一。

TDI相机 C15333-10E

MCP

三、瞄准前沿领域

展示Micro/Mini LED检测方案。MicroLED显示被誉为新一代的显示技术，而且当前Micro/Mini LED技术尚不成熟，芯片价格居高不下，传统电性测试又无法满足巨量检测的需求，AOI检测只能检出外观缺陷。本届Semicon滨松将展示光致发光检测设备、电致发光检测设备和微光显微镜产品线，覆盖从MicroLED/MiniLED芯片端巨量检测和显示产品失效分析，到显示驱动电路失效分析等环节。

滨松Micro LED巨量检测设备 PHEMOS-1000

四、引领行业发展

发布面向5 nm芯片失效分析工作的全新EMMI显微镜。近年来，数据ZX市场发展迅猛，预计在5G的推动下，数据ZX对存储芯片的带宽、安全性和稳定性等性能有更加苛刻的要求，HBM作为次世代高性能高带宽内存，随着技术逐渐成熟，成本逐渐降低，将有越来越广阔的市场前景。本届Semicon China，滨松将发布面向5 nm HBM失效分析应用的全新EMMI产品，PHEMOS-X和iPHEMOS-MPX。

半导体故障分析设备PHEMOS-X　C15765-01

五、显示行业研发利器展示

展示面向ZGLCD、OLED等显示行业的失效分析系统、材料分析研究系统产品。随着ZG大陆面板显示行业的发展，ZG已成为LCD，OLEDDY大市场，LCD、OLED产品出货节节攀升。然而，随着LCD、OLED产品出货量的增加，产品失效现象越来越多，能否快速定位缺陷位置、查明故障原因将极大地影响到面板企业的盈利能力。本届Semicon China，滨松将发布面向ZGLCD、OLED等显示行业的失效分析系统、材料分析研究系统产品，适合从手机、手表到TV panel大小的多种尺寸产品。此外，滨松针对OLED、量子点材料研究应用推出了Q-Y，Q-Tau产品，帮助企业提升产品质量，增加产品附加值。

MPEM产品

Quantaurus-QY

滨松光谱仪软件全新升级，现已进入火热测试阶段。诚邀各位下载最 新款Jian Spectra尖雀光谱仪TM软件，前20名在评论区反馈的客户还可以获得精美礼物一份哟。

图1 Jian Spectra软件界面 

最 新款Jian Spectra尖雀光谱仪TM软件，从视觉上来说，更加扁平化，功能区域划分更加清楚，提高了用户的使用体验；从功能上来说，Jian Spectra这一款软件就可以适配滨松所有型号光谱仪需求，对于有多个型号的光谱仪用户来说，可以大大减少工作负担；从使用的便捷性来说，只需要通过简单的鼠标点击即可完成诸如曝光时间、平均次数、触发参数等设置，无需单独打开设置按钮，使得用户可以更快速地获取数据。无需专业的光谱仪使用经验即可轻松上手。

表1 新旧版光谱仪软件对比

表2 新款光谱仪软件适用型号一览

接下来，我们通过两个案例来详细介绍一下Jian Spectra尖雀光谱仪TM的具体操作流程。

序列采集

1、首先点击“预览”按钮，根据光谱完成参数设置。

2、点击“保存设置”按钮，完成序列采集相关参数设置。

3、采集完毕后，可以查看所有采集的光谱曲线，或者保存单张。

透过率采集

1、点击“预览“按钮，完成光谱参数设置。

2、采集暗背景，扣除暗背景。

3、点击“空白参考采集”按钮，采集参考信号。

4、放置样品，采集信号。

5、点击“T”按钮，就可以查看透过率光谱，或点击“A”按钮，也可以查看吸光度。

除了上述图片文字演示之外，我们还为大家准备了工程师实操视频演示版本，点击下图查看软件操作，希望可以帮助大家更好地使用最 新款光谱仪软件。

关于最 新款光谱仪软件的信息介绍到此结束啦，大家要记得下载测试给我们反馈哦。前20位还有礼品等着你哟。

从2022年7月起，滨松中国计划以“光，即可能性本身”为主题，开展一系列介绍光电元器件产品技术及相关应用的线上直播活动。滨松希望通过一系列的分享，与大家一起交流讨论光学领域时下热门的产品技术、应用方向、技术热点、行业报告等内容。2022年9月2日 15:00，滨松中国产品技术工程师蔡红志将为大家带来《从400G到800G，滨松的探测器方案》直播报告，将围绕：1、滨松固体事业部介绍；2、数通和电信市场需求热点；2、针对市场需求滨松的方向展开介绍，扫描二维码报名。

工程师介绍：蔡红志，滨松中国产品技术工程师。毕业于天津工业大学光学信息与技术专业，后取得华南师范大学光学工程硕士学位。具有多年的研发和技术经验。主要负责滨松中国 LIDAR、光通信、民用消费电子等应用的技术服务。

LCOS-SLM全称是液晶硅基空间光调制器，因其在涡旋光的产生、并行加工、贝塞尔光束优化等应用中的优异表现，近年来，越来越多的受到国内外研究人员的青睐。

SLM

大师姐与客户的日常~

对比国际市场研发周期长、产品审核制度冗余等特点，ZG市场对于SLM的需求可以用“求快”两个字来概括，器件数量增长越快越好，产品技术革新越快越好，软件升级越好越好，售后服务维修越快越好。

但是众多国际品牌产品主要是面对欧美主流应用，但是这些应用在ZG并不热门；或者说ZG领先的行业、发展速度超越欧美的产业，所需要的产品性能，并不被产品设计者所熟知和理解。

所以近五年来，滨松ZGZD收集ZG市场信息和DY手客户需求，推出了专门为ZG市场设计的1550nm介质镜型号产品，充分满足国内SLM市场快速发展的需求。并且我们在细节服务上也下足了功夫，对于客户关于算法、软件、说明书、产品体积等问题上的反馈，我们均快速做出了升级与改进。我们始终重视客户的意见，希望每一位客户都可以在产品与服务上得到双重满足。

客户说英文说明难懂，我们就做全中文的

客户A反馈：

“英文说明书冗长、逻辑顺序难理解、不知道先看哪里后看哪里、有的问题也找不到答案。

滨松ZG产品技术工程师综合了五年多的实际客户技术支持经验，并结合客户多年来反馈的意见与需求，更新了全中文的SLM使用手册，从参数解析到安装使用说明，事无巨细，手把手地教您使用SLM。

扫描下方二维码获取

X15213参数解析及选型指南

X15213装机手册

如何用USB控制X15213

如何用USB控制X15223

客户说产品笨重，我们就缩小体积

客户B反馈：

“滨松SLM测试的光强拟合非常WM，拟合的越接近正弦说明这个相位调制的线性度越好，并且滨松对不同波长都做了校准，用的时候只要改一下软件设置就好了，而其他公司的SLM只对一到两个波长做了校对，每次用在其他波长都要自己校对，非常繁琐。

但是有一点需要改进的是，这个液晶屏相对来说比较笨重，其他的品牌液晶屏都直接安装在二维调整架上，相对来说比较方便调节角度和俯仰，准直光路。”

根据客户对产品笨重的反馈，滨松推出了小体积，加了强机械底座的新款X15213系列产品，方便客户在光学平台上以及集成化设备里操作。

客户说激光功率要更高，我们就做更高

客户C反馈：

“滨松的激光功率阈值虽然已经是LCOS中ZG的了，但是我们做激光加工的超快激光器的功率还在不断提高，所以希望滨松能有更抗强光LCOS。”

根据客户对激光器功率需求的反馈，滨松推出了X15223系列板级产品，功率阈值增加一倍，专为产业客户提供。

在此之后，滨松研究所还研制出了400 GW/cm²空间光调制器芯片，拥有世界z高耐光性能，用于高功率工业级脉冲激光加工的SLM，目前产品正在测试阶段，敬请期待。

客户说DVI不行，我们就换USB控制

客户D反馈：

“DVI控制有的时候不方便，有没有其他更高速、更便捷的控制方式？”

根据客户对使用便捷性的反馈，滨松X15213系列搭载了USB控制方式，每一帧提速了16.7ms，操作方便快捷，有现成的免费软件和中文使用说明书。

客户说编程麻烦，我们就设计新软件

客户E反馈：

“日本的产品软件不好用，还得自己编程，国外攻城狮响应速度太慢，问个问题要一周才有回复，还不一定可以接受客户的需求。”

根据客户对编程的反馈，滨松专门设计了用户友好的新软件，无需编程，老型号用户也可以免费升级。并且对于需要编程控制的高端玩家，C语言和python的SDK我们双手奉上，另外还有大牛算法工程师为您提供定制化方案。

X15213ZX软件，新老型号均可使用

工程师算法讲解视频回顾

从新软件面世以来，针对各位热心客户提出的意见和建议，滨松产品技术工程师不断更新软件版本，修缮了旧bug，增加了新功能，软件维护基本上可以达到十几天一个版本，包您在速度和质量上得到双重满意。

SLM

客户反馈

人的指纹是各自不同的，通过指纹识别，便可以找到特定的那一个人。而在微观世界中，分子也是拥有自己独特的“指纹”的。红外光具有在特定波长被吸收的特性，该特定波长由分子固有的振动能决定。利用此特性可以识别每个分子，因此红外光的光谱范围通常被称为分子的“指纹区”，并被广泛用于分析光谱学中。

其中，傅里叶红外光谱仪（FTIR）是红外光谱分析中一种重要的光谱仪类型，发展自20世纪70年代，属于第三代红外光谱仪技术。由于可以快速、准确的进行多组分的定量和定性分析，FTIR被看看作是医药、食品、农业和化工等领域中实现质量控制的理想工具。

典型的FTIR工作示意

进入FTIR光谱仪的红外光由光学干涉仪中的分束器分成两束。这两个光束分别被固定镜和可移动镜反射，并被分束器重新组合。然后，光被红外检测器检测为光学干涉信号。根据可移动反射镜的位置信息和根据光学干涉信号强度按可移动反射镜位置分布的信息，来执行傅立叶变换以计算每个波长的红外光强度，从而分析样品的成分。

不过，虽然性能棒棒，本领超凡，但FTIR却有一个关于自己“体型”的“烦恼”，那就是：真！的！太！笨！重！了！作为一个“精贵的月半子”，FTIR几乎只能止步于实验室中。面对应用场景中出现的在线检测、快速移动等需求，只能无奈说一句“臣妾做不到”了。

之所以传统的FTIR光谱仪体积非常大，主要是其中的核心部分——光学干涉仪占据了非常大的空间。虽然业界中也一直在推进小型化的工作，也推出了一些有助于缩小整机体积的内部FITR光谱组件产品。但体积的缩小，往往会带来入射光量和光能量损失的问题，许多产品也是在牺牲了灵敏度、信噪比等性能下实现的小型化。若想解决这个问题，内部元件、光路的创新性设计，以及提高工艺水平都是关键。

经过精心重构光学干涉仪的设计思路，并采用always独特的MOEMS技术，滨松成功开发出了一款高性能的微型化FTIR引擎。迈克尔逊光谱干涉仪和控制电路统统内置其中，仅手掌大小，却实现了在1.1-2.5 μm区域超高的灵敏度，具有远超同类产品的高信噪比表现（10000:1），以及高光谱重现性。可内置于便携式FTIR仪器中，实现整机小型化的同时，也可保证高性能的实现。

滨松新型FTIR引擎C15511-01

左：FTIR引擎结构图

右：内置在FTIR中的光学干涉仪结构图

这个FTIR引擎内部到底是有什么样的乾，什么样的坤，才实现了这样的性能的呢？下面我们来看看吧！

1、高灵敏度&高信噪比

上文我们也提到，入射光量和光能量的损失是小型化FTIR灵敏度和信噪比下降的一个重要因素。采用MOEMS技术，滨松开发出了一个直径3 mm的微型可移动反射镜，克服了缩小干涉仪尺寸而又不减少入射光量的挑战。这是信噪比得以提升的关键。

我们还通过先进的封装技术，将可移动反射镜和固定镜直接键合在一起，从而成功地将镜与镜之间的相对角度误差减小了约0.01度。光程差控制更加精确，灵敏度则得到提高。此外，还优化了移动反射镜的驱动器结构和驱动方法，以消除驱动反射镜时出现的模糊，YZ了红外光在光学干涉仪中的扩散，进一步减少了光损失。

当然，体积也进一步得到了缩小，57×49×76 mm，这样的体型仅仅是一般台式仪器的1/100。

2、高光谱重现性

一般的FTIR光谱仪基于干涉光（光学干涉信号）和可移动镜的位置信息执行傅立叶变换，以计算每个波长的红外光强度。而新FTIR引擎利用半导体激光器，可以精确地检测可移动反射镜的位置，增强了测量结果的可重复性。

除了硬件设施外，为了更加方便使用。滨松还开发了与该产品相匹配的软件，用于设置测量条件，获取数据和显示数据图。

评估软件

为了满足进一步的市场需求，滨松此后也将持续提高FTIR引擎性能，进一步减小其尺寸，以及将光谱响应扩展到更长的波长区域，敬请期待~

7月3日-5日，慕尼黑上海光博会2020将在上海·国家会展ZX举办，滨松将在本次活动中出展（7.1 B301展台），并将呈现5场技术报告，以及激光雷达、激光加工、光谱分析、X射线成像检查、智能生活5大主题展区，其中多类新品及DEMO均将迎来首秀。除线下展出外，滨松也将在7月4日（11:00-16:30）进行现场同步直播，内容涵盖技术报告以及工程师现场展台导览，为大家开启“云观展”新体验。

扫描图中二维码，可进行报名

※注意※ 以下各环节时间，可能会由于实际直播进程，有略微提前或延迟。

滨松展台技术报告

11:00 滨松用于X射线检查应用的全线产品简介

11:25 滨松ZGX射线成像实验测试平台介绍

11:50 用于5G/数通光模块的滨松高速InGaAs PD方案

12:15-14:30 直播中场休息

※注意※ 届时直播间画面可能会显示“直播已结束”，请勿担心，下午开播时间则会重新恢复直播画面！

14:30 车载激光雷达芯片的进阶之路

14:55 滨松产品在激光加工中的应用

滨松展台导览及看点一览

15:20 激光加工应用展区

· 适用于激光热加工应用的新光源

· 高性能加工用空间光调制器模块

· 湖北工业大学-滨松ZG-金顿激光联合激光加工实验室合作成果：并行多光束系统配合超快激光器的加工演示

· 第四代隐形切割系统

15:30 智能生活应用展区（编码器、消费电子、光通信应用）

·编码器用光电器件优势及定制化能力展示

·针对广泛民用消费电子应用的光电探测方案

·5G光通信：25G-400G中长距离通信用铟镓砷PD芯片，首次全线公开

15:50 激光雷达应用展区

·滨松激光雷达用探测器及光源Road map

·生产及验证车规级器件能力

·32X32 MPPD整列带TIA DEMO

16:00 X射线成像检查应用展区

·新品集结：双能X射线TDI相机、大功率微焦点X射线源等

·全新x射线在线测试平台首次公开

16:10 光谱分析应用展区

·多类光谱分析应用产品：气体、食品、纺织物、水质分析；色选；POCT；拉曼、发射/吸收光谱

·多款新品首展：FT-NIR引擎、InGaAs面阵/线阵图像传感器、μPMT、InGaAs线阵扫描相机、连续量子级联激光器模块等

·滨松光谱用产品相关探测器技术一览：灵活应对应用需求的能力

·3款全新DEMO展示：MEMS-FPI近红光谱探测模块DEMO、FT-NIR引擎DEMO、InGaAs线阵扫描相机DEMO：SWIR成像

※ 直播观看提示 ※

1、遇到观看问题，该如何解决？

请直接在留言区提出，工作人员将为您解答。

2、如何询问产品、技术问题？

· 请在留言区中提出，工程师将在每个环节介绍的后，进行统一回答 ；

· 可以通过“咨询登记”中的“问题咨询”进行留言，我们将在活动后与您联系；

· 可以在互动区，点击左下角客服联系按钮，添加客服微信，或拨打客服电话咨询。

3、相关资料及产品信息，在哪里有？

点击菜单栏“推荐内容”，可一览本次展出的部分产品信息及相关资料。

4、12:15-14:30期间进入直播间，为何显示“直播已结束”？

此为直播中场休息时间，下午2:30开播时，直播画面则会恢复。

滨松ZG期待您前来参加展会（7.1 B301展台），以及关注展会直播活动（7月4日，11:00-16:30）。更多精彩，敬请期待！

2023年6月28日上午，滨松中国半导体实验室在浦东新区举行了开业庆典。滨松中国总经理以及众多半导体行业龙头企业、相关产业专家和其他研究院合作单位出席了此次活动。该实验室致力于为中国华东地区的半导体客户提供更加直观的产品展示平台、全方位的技术支持基地以及技术交流的场所，全面助力泛半导体合作伙伴的蓬勃发展，该实验室的正式启用也对滨松中国布局半导体检测产业，进一步开拓中国半导体检测市场具有重要里程碑意义。

滨松中国半导体实验室的成立是继上海X射线检测实验室之后的第二个本土化实验室，更是滨松中国在后疫情时代“立足中心、辐射全国”发展战略的重要举措，将全面负责中国半导体客户技术支持，产品交流以及产品开发等工作。

中国半导体行业在过去十年的发展中，经历了“两次”重大的改变，从原有求“量”的规模化发展到如今求“质”的精细化发展，从原有局限于中低端产品的“制造”到如今追求高端产品的“自主研发”，十年间的每一步都走得坚定且有力，这每一点进步，每一点成就都要求我们在分析检测相关的方法、设备、技术方面不断地磨练升级。

十年间，滨松中国在半导体行业里面的探索从未停歇。为了把国际先进的检测和分析产品第 一时间介绍给国内客户，为了快速解决半导体客户目前存在痛点问题，为了给国内客户提供更加贴合其需求的本土化技术服务，滨松中国从2021年就开始在半导体客户聚集的上海浦东新区张江地区筹划建立属于国内半导体客户自己实验室，如今终落成。

实验室四大功能展区

滨松中国半导体实验室具备以下四大功能展区：

1、失效分析实验室：配备了PHEMOS-X、IPHEMOS-MPX等高端半导体检测设备，主要用于半导体失效分析产品展示、样品测试、配置方案确认等；

PHEMOS-X：滨松新推出的高精度微光显微镜，也是未来失效定位的主流产品，可以实现高端制程芯片精确失效定位。除了配置更加丰富的激光扫描光源之外，还配置高压，高低温等各种定制化探针台，满足各类芯片的失效分析需求。

IPHEMOS-MPX：高精度倒置微光显微镜产品，主要面向晶圆级或者复杂电路设计芯片的失效定位分析工作，具备微光发射，热发射，激光诱导发射，纳米镜头，固态浸润镜头，动态失效定位等多种分析方法集成一体的特点。

2、超净间实验室：十万级超净间，配备了MiNY PL、MiNY EL等高端半导体检测设备，主要用于Mini/Micro LED巨量检测产品展示，样品测试以及配置方案确认等；

MiNY PL：光致发光巨量检测设备，主要用于MiNi/Micro LED巨量快速在线检测，能实现传统电致发光方式不能达到的，每颗样品都可以独立测试的效果，大大提升了MiNi/Micro LED坏品检出率，实现早检出，早处理，降低后道工序修补成本。

MiNY EL：电致发光测试设备，主要用于MiNi/Micro LED电致发光检测，可以实现快速、自动化测试，是MiNi/Micro LED产品质控抽检、中试线工艺研发、PL/EL结果对比修正、屏体产品final test以及失效分析的利器。

3、备品间：主要用于备品备件存储，保证在常规流程的检测下，可以第 一时间为客户提供检测服务，以及必要的备品备件更换服务。

4、会议区：利用多媒体展示方式，为了来访客户提供全方位的技术培训、报告解析、产品培训、技术交流等服务。

搭建三个平台

滨松中国希望利用半导体实验室与国内客户一起搭建三个“平台”：1、展示平台：第 一时间引入国内外的高端半导体实验设备、技术与国内客户一同观摩共享，与国内客户一起进步和成长；2、培训平台：为滨松半导体用户提供基础、进阶培训，让客户深入了解滨松半导体设备使用的各方面信息，解决产品使用过程中可能存在的潜在疑虑，提升客户使用感受，提升产品使用效率。除了产品使用前的培训，在产品使用中的相关维护、维修等内容，滨松中国也力求为客户提供“100%”满意的服务；3、验证平台：定制化方案或者技术验证平台，为客户提供更加丰富的、可定制化的产品方案和技术服务。配套使用的第三方产品或者技术验证平台，为客户提供经过验证的、可靠的整体解决方案。

发展四个方向

滨松中国成立于2011年，是滨松集团在中国的市场与商务活动中心，全面负责滨松产品在中国销售、技术支持、售后服务，累计服务客户超过6500家，在上海、深圳、武汉均已成立分公司并且在这些地区还建立了一系列自有或联合实验室，以实现更快速、更贴合本土化需求的服务。滨松中国会持续提升半导体实验室软硬件水平，使其成为为中国半导体客户服务的平台和基地，更好地助力中国半导体市场的发展，在未来的发展当中会朝着“丰富”“高效”“灵活”“开放”这四个方面发展，即持续增加半导体检测相关产品以及滨松新发布的产品和技术展示；定期开展用户培训会，为滨松用户介绍更加高效的分析技巧和软件使用方式；为潜在客户开展定制化样品测试，找到最适合每位客户的产品配置方案；邀请行业内专家和用户交流半导体检测和失效分析方面的经验技术，为客户提供一个“畅所欲言”的平台。

“不断探索未知未涉”是滨松一直以来秉承的使命，滨松希望在光子一途，可以与越来越多的能人志士携手前行，一起推动中国光子产业的未来，引领属于“光子”的第四次工业革命。