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从图中可以看出，无论是制程中的原材料、晶圆、电子化学品以至于封装测试，都会使用到超纯水，可见超纯水在半导体产业中是很常见且至关重要的环节。那么对于所用到的水质，又是如何规范的呢？

根据美国材料与试验协会(ASTM) 提出的ASTM_D5127电子及半导体工业用纯水水质要求，将建议的水质依照制程线宽分为六种：

Milli-Q® 超纯水解决方案

提供痕量级别超纯水

在进行各项水质检测时，通常需要使用超纯水作为空白样品分析或是配液，这时候如果使用制程用水作为检验用水显然不满足需求，因为如果制程水中如果有污染物，将会同时引入到空白样与待测样品中，对结果产生很大影响。因此，为了确保检验的独立性和准确性，通常需要使用经过校准的超纯水系统作为检验用水。

Milli-Q®提供了超纯水系统IQ7000，搭配专门用于痕量过滤的IQ Element能够产出半导体产业所需的sub-ppt等级超纯水。

Milli-Q® 超纯水解决方案

助力半导体企业

随着半导体制程进步，产品规格不断微缩，对于设施的能源需求也将大幅提升。而在联合国气候大会之后，全 球都朝着碳中和的目标加速前进。在半导体领先企业率先倡议可持续发展，越来越多的企业加入了承诺中长期节能减碳目标。作为全 球实验室用水解决方案的领先厂商，Milli-Q®不仅为半导体企业提供高纯电子级水，并且在产品研发生产过程中始终关切“可持续发展”，助力客户达成可持续发展指标。所有的工厂都通过了ISO 14001认证，意味着在生产过程中有着明确的环境管理政策；系统符合关键的环境法规，如RoHS, REACH 和WEEE ；作为TfS(Together for Sustainability)成员，我们积极与通过可持续发展实践审计的供应商合作。

通过各项技术创新优化，Milli-Q®能帮助用户至多可节省50%用水量，相当于每天节省约1200 L的用水；EQ系列纯水系统可在产品生命周期内节省超过35%用电量（约2000kWh的电量），而我们的无汞紫外灯，帮助用户轻松减少汞和相关处置管理。化学废弃物和塑料的减少使用，都是为了环境友好和可持续发展，也能为用户提供更紧凑的系统，减轻系统重量，缩小系统体积。