半导体行业解决方案之电镀液分析
电镀液中主要成分为产生阳离子的金属盐、加速剂、抑制剂、整平剂和光亮剂等复配的添加剂配方。在利用色谱技术进行成分分析的过程中,一方面要找到合适的前处理方法来去除金属盐的影响,另一方面要对多组分分离结果的可信度进行判断。今天,小编就来推荐LC-QDa(液相色谱 - 单四极杆质谱检测器)解决方案进行电镀液有机组分分析,一起来看看吧!
图1.ACQUITY UPLC H-Class /PDA(UV)/QDa。
拥有从HPLC到UHPLC和UPLC的全面液相平台,可基于实验室分离度需求进行分离技术选择。同时结合多样化的色谱柱填料,可大大优化极性化合物、有机酸等组分的分离。
下图为合作伙伴禾川化学开发的硫酸亚锡电镀添加剂LC测试方案,分析电镀液中各组分的含量。
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图3.对苯二酚(303 ppm)、邻苯二酚(102 ppm)、 TX-15(986 ppm)。
图4.苄叉丙酮(305 ppm)、BNO-12(201 ppm)、曲拉通X100(400 ppm)、TX-20(205 ppm)。
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基于Waters MaxPeak高性能表面色谱柱技术,解决了酸性物质等和金属表面相互作用的问题;之后,更进一步增加了混合离子交换模式,推出Premier BEH C18 AX?谱柱,很好地保留了OA等极性化合物。结合QDa特有的SIR采集功能,分析物的积分和定量分析变得轻松可靠。
图5.在11个SIR通道中检测15种有机酸标准品得到的?谱图。有机酸浓度:20 ppm。?谱柱:Atlantis Premier BEH C18 AX, 1.7 μm, 2.1 × 100 mm。峰ID:1.乳酸;2.羟基丁?酸;3.抗坏?酸;4.奎尼酸;5.琥珀酸;6.酒?酸;7.异柠檬酸;8.丙?酸;9.戊?酸;10.柠檬酸;11.富?酸;12.顺式乌头酸;13.??酸;14.莽草酸;15.?来酸。
借助QDa质谱检测器一键启动、几分钟快速实现真空、自动质量轴校正、简便易用的能力,在无需专业质谱人员并且小成本投入的情况下,即可提升液相分析的能力。
显著提升灵敏度
图6.ACQUITY UPLC H-Class/QDa进行电镀液中有机酸分析。
降低对校正标准品的依赖,多一维质谱信息来追踪峰位置,尤其对于过程控制中或使用后组分更复杂的电镀液样品。
图7.使用后的电镀液样品LC/PDA/QDa分析。
半导体行业解决方案,涵盖光刻流程中所应用到的化学品分析,从液相色谱分离到高灵敏度质谱表征以及高分辨未知成分定性,提供快速高效的色谱质谱解决方案。从小分子到大分子,从日常质控、过程放行、到配方剖析,涉及光刻胶、蚀刻液、电镀液、研磨液等多种材料分析需求。
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