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德 Iplas 微波等离子化学气相沉积
- 品牌:德国iplas
- 型号: Iplas
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-07-16 16:58:13
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
德国 IPLAS 微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。
MPCVD是世界公认的制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。德国iplas公司ZG的 CYRANNUS® 等离子技术解决了传统等离子技术的局限,可以在10mbar到室压范围内激发高稳定度的等离子团,最大限度的减少了因气流、气压、气体成分、电压等因素波动引起的等离子体状态的变化,从而确保单晶生长的持续性,为合成大尺寸单晶金刚石提供有力保证。化学机理概要:
碳氢化合物:提供沉积材料
氢气:生成sp3键
氧:对石墨相/sp2键侵蚀
惰性气体:缓冲气体,或生成纳米晶体。
适用合成材料:
大尺寸宝石级单晶钻石
高取向度金刚石晶体
纳米结晶金刚石
碳纳米管/类金刚石碳(DLC)
多种等离子发生器选择:
频率:2.45GHz, 915MHz:
功率:1-2kW, 1-3kW, 3-6kW,1-6kW,5-30kW
等离子团直径:70mm, 145mm, 250mm, 400mm
工作其他范围:0-1000mBar
其他应用:
MPCVD同样适用于平面基体,或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累,可以为用户提供高度定制的设备,满足用户不同的应用需要。
多种等离子发生器选择:频率:2.45GHz, 915MHz:功率:1-2kW, 1-3kW, 3-6kW,1-6kW,5-30kW等离子团直径:70mm, 145mm, 250mm, 400mm工作其他范围:0-1000mBar其他应用:
MPCVD同样适用于平面基体,或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累,可以为用户提供高度定制的设备,满足用户不同的应用需要。- 产品优势
- 德 Iplas 微波等离子化学气相沉积技术,通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。
- 德国IPLAS 微波等离子化学气相沉积系统CYRANNUS
- 英国Oxford 等离子增强化学气相沉积 Plasmalab System100
- 法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150
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