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利用纳米压痕技术评估衬底和膜层的脆性
定期分享KLA Instruments旗下产品的各种技术资料、应用笔记和使用指南。 旗下产品包括:探针式/光学轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜测厚仪、方阻测量仪等测量仪器。
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