仪器网（yiqi.com）欢迎您！

红外光在光谱中覆盖了很大的一部分区域。其中，短波红外（SWIR）在科研、产业中运用得Z为普遍。所谓短波红外（SWIR），一般是指0.9－1.7μm波长范围内的光线，也可归入0.7－2.5μm。

SWIR的穿透能力很强，适用于检测物体内部结构或者缺陷。比如检查包装中的液体量、检查密封容器中的内容等。另外，还可以进行硅晶片以及太阳能电池的缺陷检测。此外，不同物质对红外光的吸收不同，利用这一特性，通过物体表面的光谱特性分析，还可进行物品的分拣，如塑料分选、检测农产品中的损坏和杂质等。

为了拓展自己的“视觉”范围，人们通过开发红外敏感的材料，制成各类探测器，以实现多种多样的SWIR成像应用。

InGaAs红外相机是SWIR成像的关键器件，有线阵和面阵两种类型。其中，因为低成本、更适合产线设计等优点，线阵扫描型相机更多被工业在线应用所选择。为保证检测的准确性和GX率，需要相机具备高灵敏度、高行频、高稳定性等性能。

基于多年InGaAs红外探测器及相机的研发经验，滨松diyi款线扫描式InGaAs相机C15333-10E正式登场了！面向工业检测，它可以为应用带来怎样的新的可能？下面就来了解了解这个小可爱吧~

滨松红外线扫描InGaAs相机C15333-10E

宽波段+高灵敏度：1000nm-1500nm内QE达60%以上

这是一个让它显得尤为突出的特点。受制于材料和工艺，一般同类相机仅仅会在SWIR十分有限的一段光谱区域有较好的QE（量子效率）表现，如1500nm附近，这就使得其他SWIR光谱区域所对应的应用，其检测效果始终难以达到更理想的状态。

滨松红外线扫描InGaAs相机C15333-10E光谱范围覆盖了整个SWIR波段：950nm-1700nm，其中1100nm -1600nm部分的QE超过了60%，这一突破，使更高检查精度、检测效率的SWIR成像应用成为可能。

高质量图像以及的矫正功能

在高QE的基础上，通过独特的电路设计，滨松红外线扫描InGaAs相机实现了低噪声和高性能的wan美融合。内置的像素校正功能，可校正热像素（坏点）以及传感器的非均匀性响应（芯片的波动性），图像质量再次提升，检出效率也因此可得到提高。

高行频输出

Z高40kHz的行频，让该相机在高速在线检查应用上毫无压力。

大视场高分辨率

与滨松的InGaAs面阵相机C12741-03（640×512像素）相比，该相机的1024像素线性阵列可捕获更大的视野，使产线上检测通量得以提升。

紧凑小巧+GigEVision：面向工业领域，易于集成和使用

新相机采用了在工业领域广泛使用的千兆以太网接口，并且支持GigE Vision，具备高兼容性。而小型化设计（4.9×4.9×10cm），也让它能更方便地集成到产线的检测系统中。

滨松一直致力于InGaAs红外相机的开发，无论在科研还是产业的应用中，除了高性能以外，高稳定性也获得业内的一致认可。目前也有产品在某半导体厂工作十年零故障的记录。新推出的红外线扫描InGaAs相机C15333-10E也继承了一系列的“家族优点”，希望在产业应用中为用户带去的工作表现。

下面我们再来瞧瞧这款相机的成像案例吧！

# 检测咖啡豆中混入的石头

# 密封容器的液位检查

# 检测大米中混合的杂质（石头和塑料）

# 检查苹果是否损坏

# 包装检查

# 半导体晶圆检查

2010年，科研相机从CCD进入到了sCMOS时代，带来了革命性的变化。而随着时间推进，行业逐渐发现，“如何同时拥有高速和高信噪比”成为了sCMOS科研相机再启下一个新纪元的关键。十年间，各方技术持续改进，却也始终难逃“厚此薄彼”的选择。站在2020年，这个问题，是时候该解决了…

2020年，滨松新一代旗舰级sCMOS科研级相机，即将同步上市！永不妥协的高帧速、前所未有的信噪比、的分辨能力、多种ji致性能集于一身。它具有怎样的表现？打破了怎样的技术壁垒？4月1日，上午10:00，滨松ZG将举办一场网络直播发布会，这一场sCMOS相机即将发生的革命性变革，我们将为您全面解读。

 主讲人： 郑一哲 博士  滨松ZG成像应用工程师。2011年获香港科技大学博士学位。后进入显微成像行业，广泛涉猎从大型成像系统、显微镜到关键部件（如相机、光电倍增管）等各类显微成像相关产品。2013年加入滨松ZG，负责显微成像、X射线成像等相关产品的技术支持及市场推广工作。

近年来，我国甲状腺手术量逐年攀升，甲状旁腺功能减退引起暂时或性低钙血症是甲状旁腺术后Z为常见的并发症。因此对于甲状腺疾病患者来说，手术中保留甲状旁腺就尤为重要，当前国内手术中因为缺乏很好探查技术，还主要是以肉眼观察为主，经验成份较为重要，这一直困扰着甲状腺外科医生，使得在ZG这样一个甲状腺疾病高发的国家，甲状旁腺移植手术一直无法得到广泛推广。 

甲状旁腺为内分泌腺之一，扁卵圆形小体，长约3-8毫米、宽2-5毫米、厚0.5-2毫米、每个重约35-50毫克，位于甲状腺侧叶的后面，有时藏于甲状腺实质内。一般分为上下两对，甲状旁腺表面覆有薄层的结缔组织被膜。若甲状旁腺分泌甲状旁腺激素的功能低下，血钙浓度降低，出现手足抽搐症；如果功能亢进，则引起骨质过度吸收，容易发生骨折。甲状旁腺功能失调会引起血中钙与磷的比例失常。

自去年郑州大学diyi附属医院甲状腺外科殷德涛主任带领团队使用滨松集团研发的Z新款PDE-NEOⅡ红外荧光定位观察相机进行临床学术研究，探索新的甲状旁腺定位方法，通过对41例患者的临床研究发现，采用PDE-NEOⅡ红外荧光定位观察相机探测甲状旁腺自发荧光取得了良好的临床效果，可提高甲状腺外科医生对于甲状旁腺的识别能力，并值得在ZG进行多ZX研究的深入探究。

此研究成果近日发表于《ZG实用外科杂志》：柳桢，殷德涛，王涛，等. 近红外荧光系统对甲状腺术中甲状旁腺识别临床应用研究[J]. ZG实用外科杂志,2020,40(2):230-234.

详情请点击以下链接：https://mp.weixin.qq.com/s/mXXWV_qeWKWz73MBhNy0mQ 

PDE-NEOⅡ红外荧光定位观察相机

滨松光子学商贸（中国）有限公司（以下简称滨松中国）兹定于2023年1月21日至27日春节放假，2023年1月28日起恢复正常工作。

春节期间，公司的服务热线、网站咨询等暂停回复，如有紧急事项请致电各业务相关人员，其他事项敬请留言。留言可在滨松中国官网、微信公众号、技术文章及资料网站中进行，或发送邮件至hpc@hamamatsu.com.cn，也可发送传真至010-65862866。我们将于恢复工作后第 一时间与您取得联系。给您带来不便，敬请谅解。

感谢各位对滨松中国一直以来的支持，我司全体员工将以更饱满的热情和更优异的工作为您提供服务！最近疫情反扑，也请大家注意防护，多运动、多吃蔬菜、多休息好，以提高自身的免疫能力。最 后，祝愿大家拥有平安喜乐的假期时光。

学习如何正确使用滨松H10722光电倍增管

2021年3月17-19日，滨松ZG即将参加Semicon China 2021，展位号为N2-2189，滨松ZG期待与您相见。本次展台设计一共有5大亮点。

一、全新展示理念

针对国内半导体行业差异化需求，展示从元器件、模块、子系统到大型设备的产品。以汽车行业为代表的传统工业，往往是下游市场需求的爆发推动上游零部件、装备、材料、机械装置等行业的发展，依照供需层级关系，产业链往往划分为从上而下的金字塔结构。但是滨松认为光产业具备完全不同的性质，上游的光子使能技术是能够推动行业产生革命性突破、造福人类生产与生活的JD科技，因此滨松一直以来以“倒金字塔”理念布局光电行业。本届Semicon China 2021，滨松首次以倒金字塔产业链概念，立体地展示滨松集团在半导体行业，从元器件、模块、子系统到大型设备的典型产品。

光产业“倒金字塔”

二、 解决卡脖子问题

为半导体设备客户供应高稳定性、高性能的光源-探测器产品。过去几年，国际局势动荡频繁，半导体设备关键部件出现供应问题，给国产设备企业正常发展造成了一定影响。目前ZG半导体设备行业国产率约19%，其中检测设备国产率不足5%，ZG半导体设备行业发展仍重而道远。本届Semicon China，滨松ZG以半导体检测应用为主题之一，展示了光学检测、量测、电子束检测技术相关设备中的核心光源和探测器产品。滨松ZG致力于成为ZG半导体设备行业优秀的合作伙伴之一。

TDI相机 C15333-10E

MCP

三、瞄准前沿领域

展示Micro/Mini LED检测方案。MicroLED显示被誉为新一代的显示技术，而且当前Micro/Mini LED技术尚不成熟，芯片价格居高不下，传统电性测试又无法满足巨量检测的需求，AOI检测只能检出外观缺陷。本届Semicon滨松将展示光致发光检测设备、电致发光检测设备和微光显微镜产品线，覆盖从MicroLED/MiniLED芯片端巨量检测和显示产品失效分析，到显示驱动电路失效分析等环节。

滨松Micro LED巨量检测设备 PHEMOS-1000

四、引领行业发展

发布面向5 nm芯片失效分析工作的全新EMMI显微镜。近年来，数据ZX市场发展迅猛，预计在5G的推动下，数据ZX对存储芯片的带宽、安全性和稳定性等性能有更加苛刻的要求，HBM作为次世代高性能高带宽内存，随着技术逐渐成熟，成本逐渐降低，将有越来越广阔的市场前景。本届Semicon China，滨松将发布面向5 nm HBM失效分析应用的全新EMMI产品，PHEMOS-X和iPHEMOS-MPX。

半导体故障分析设备PHEMOS-X　C15765-01

五、显示行业研发利器展示

展示面向ZGLCD、OLED等显示行业的失效分析系统、材料分析研究系统产品。随着ZG大陆面板显示行业的发展，ZG已成为LCD，OLEDDY大市场，LCD、OLED产品出货节节攀升。然而，随着LCD、OLED产品出货量的增加，产品失效现象越来越多，能否快速定位缺陷位置、查明故障原因将极大地影响到面板企业的盈利能力。本届Semicon China，滨松将发布面向ZGLCD、OLED等显示行业的失效分析系统、材料分析研究系统产品，适合从手机、手表到TV panel大小的多种尺寸产品。此外，滨松针对OLED、量子点材料研究应用推出了Q-Y，Q-Tau产品，帮助企业提升产品质量，增加产品附加值。

MPEM产品

Quantaurus-QY

滨松光谱仪软件全新升级，现已进入火热测试阶段。诚邀各位下载最 新款Jian Spectra尖雀光谱仪TM软件，前20名在评论区反馈的客户还可以获得精美礼物一份哟。

图1 Jian Spectra软件界面 

最 新款Jian Spectra尖雀光谱仪TM软件，从视觉上来说，更加扁平化，功能区域划分更加清楚，提高了用户的使用体验；从功能上来说，Jian Spectra这一款软件就可以适配滨松所有型号光谱仪需求，对于有多个型号的光谱仪用户来说，可以大大减少工作负担；从使用的便捷性来说，只需要通过简单的鼠标点击即可完成诸如曝光时间、平均次数、触发参数等设置，无需单独打开设置按钮，使得用户可以更快速地获取数据。无需专业的光谱仪使用经验即可轻松上手。

表1 新旧版光谱仪软件对比

表2 新款光谱仪软件适用型号一览

接下来，我们通过两个案例来详细介绍一下Jian Spectra尖雀光谱仪TM的具体操作流程。

序列采集

1、首先点击“预览”按钮，根据光谱完成参数设置。

2、点击“保存设置”按钮，完成序列采集相关参数设置。

3、采集完毕后，可以查看所有采集的光谱曲线，或者保存单张。

透过率采集

1、点击“预览“按钮，完成光谱参数设置。

2、采集暗背景，扣除暗背景。

3、点击“空白参考采集”按钮，采集参考信号。

4、放置样品，采集信号。

5、点击“T”按钮，就可以查看透过率光谱，或点击“A”按钮，也可以查看吸光度。

除了上述图片文字演示之外，我们还为大家准备了工程师实操视频演示版本，点击下图查看软件操作，希望可以帮助大家更好地使用最 新款光谱仪软件。

关于最 新款光谱仪软件的信息介绍到此结束啦，大家要记得下载测试给我们反馈哦。前20位还有礼品等着你哟。

从2022年7月起，滨松中国计划以“光，即可能性本身”为主题，开展一系列介绍光电元器件产品技术及相关应用的线上直播活动。滨松希望通过一系列的分享，与大家一起交流讨论光学领域时下热门的产品技术、应用方向、技术热点、行业报告等内容。2022年9月2日 15:00，滨松中国产品技术工程师蔡红志将为大家带来《从400G到800G，滨松的探测器方案》直播报告，将围绕：1、滨松固体事业部介绍；2、数通和电信市场需求热点；2、针对市场需求滨松的方向展开介绍，扫描二维码报名。

工程师介绍：蔡红志，滨松中国产品技术工程师。毕业于天津工业大学光学信息与技术专业，后取得华南师范大学光学工程硕士学位。具有多年的研发和技术经验。主要负责滨松中国 LIDAR、光通信、民用消费电子等应用的技术服务。

LCOS-SLM全称是液晶硅基空间光调制器，因其在涡旋光的产生、并行加工、贝塞尔光束优化等应用中的优异表现，近年来，越来越多的受到国内外研究人员的青睐。

SLM

大师姐与客户的日常~

对比国际市场研发周期长、产品审核制度冗余等特点，ZG市场对于SLM的需求可以用“求快”两个字来概括，器件数量增长越快越好，产品技术革新越快越好，软件升级越好越好，售后服务维修越快越好。

但是众多国际品牌产品主要是面对欧美主流应用，但是这些应用在ZG并不热门；或者说ZG领先的行业、发展速度超越欧美的产业，所需要的产品性能，并不被产品设计者所熟知和理解。

所以近五年来，滨松ZGZD收集ZG市场信息和DY手客户需求，推出了专门为ZG市场设计的1550nm介质镜型号产品，充分满足国内SLM市场快速发展的需求。并且我们在细节服务上也下足了功夫，对于客户关于算法、软件、说明书、产品体积等问题上的反馈，我们均快速做出了升级与改进。我们始终重视客户的意见，希望每一位客户都可以在产品与服务上得到双重满足。

客户说英文说明难懂，我们就做全中文的

客户A反馈：

“英文说明书冗长、逻辑顺序难理解、不知道先看哪里后看哪里、有的问题也找不到答案。

滨松ZG产品技术工程师综合了五年多的实际客户技术支持经验，并结合客户多年来反馈的意见与需求，更新了全中文的SLM使用手册，从参数解析到安装使用说明，事无巨细，手把手地教您使用SLM。

扫描下方二维码获取

X15213参数解析及选型指南

X15213装机手册

如何用USB控制X15213

如何用USB控制X15223

客户说产品笨重，我们就缩小体积

客户B反馈：

“滨松SLM测试的光强拟合非常WM，拟合的越接近正弦说明这个相位调制的线性度越好，并且滨松对不同波长都做了校准，用的时候只要改一下软件设置就好了，而其他公司的SLM只对一到两个波长做了校对，每次用在其他波长都要自己校对，非常繁琐。

但是有一点需要改进的是，这个液晶屏相对来说比较笨重，其他的品牌液晶屏都直接安装在二维调整架上，相对来说比较方便调节角度和俯仰，准直光路。”

根据客户对产品笨重的反馈，滨松推出了小体积，加了强机械底座的新款X15213系列产品，方便客户在光学平台上以及集成化设备里操作。

客户说激光功率要更高，我们就做更高

客户C反馈：

“滨松的激光功率阈值虽然已经是LCOS中ZG的了，但是我们做激光加工的超快激光器的功率还在不断提高，所以希望滨松能有更抗强光LCOS。”

根据客户对激光器功率需求的反馈，滨松推出了X15223系列板级产品，功率阈值增加一倍，专为产业客户提供。

在此之后，滨松研究所还研制出了400 GW/cm²空间光调制器芯片，拥有世界z高耐光性能，用于高功率工业级脉冲激光加工的SLM，目前产品正在测试阶段，敬请期待。

客户说DVI不行，我们就换USB控制

客户D反馈：

“DVI控制有的时候不方便，有没有其他更高速、更便捷的控制方式？”

根据客户对使用便捷性的反馈，滨松X15213系列搭载了USB控制方式，每一帧提速了16.7ms，操作方便快捷，有现成的免费软件和中文使用说明书。

客户说编程麻烦，我们就设计新软件

客户E反馈：

“日本的产品软件不好用，还得自己编程，国外攻城狮响应速度太慢，问个问题要一周才有回复，还不一定可以接受客户的需求。”

根据客户对编程的反馈，滨松专门设计了用户友好的新软件，无需编程，老型号用户也可以免费升级。并且对于需要编程控制的高端玩家，C语言和python的SDK我们双手奉上，另外还有大牛算法工程师为您提供定制化方案。

X15213ZX软件，新老型号均可使用

工程师算法讲解视频回顾

从新软件面世以来，针对各位热心客户提出的意见和建议，滨松产品技术工程师不断更新软件版本，修缮了旧bug，增加了新功能，软件维护基本上可以达到十几天一个版本，包您在速度和质量上得到双重满意。

SLM

客户反馈

21世纪被称为光之世纪。如今，光子技术的应用已经十分广泛，在YL、环保、汽车、安全、能源、宇宙探索等各方各面，作为基础的使能力量，支撑着科技和社会的发展，并持续地被寄予了更高的期待。

滨松对「光」的追求，始于1953年，至今已有67年的历史。我们始终相信，光子技术是人类探索未知未涉世界的钥匙，是更美好未来的坚实基础。这一份信念，让我们坚定地前行在光之大道上，并希望通过不断挑战和攻克更高的技术难题，来创造出更多光子技术的应用可能。

人的指纹是各自不同的，通过指纹识别，便可以找到特定的那一个人。而在微观世界中，分子也是拥有自己独特的“指纹”的。红外光具有在特定波长被吸收的特性，该特定波长由分子固有的振动能决定。利用此特性可以识别每个分子，因此红外光的光谱范围通常被称为分子的“指纹区”，并被广泛用于分析光谱学中。

其中，傅里叶红外光谱仪（FTIR）是红外光谱分析中一种重要的光谱仪类型，发展自20世纪70年代，属于第三代红外光谱仪技术。由于可以快速、准确的进行多组分的定量和定性分析，FTIR被看看作是医药、食品、农业和化工等领域中实现质量控制的理想工具。

典型的FTIR工作示意

进入FTIR光谱仪的红外光由光学干涉仪中的分束器分成两束。这两个光束分别被固定镜和可移动镜反射，并被分束器重新组合。然后，光被红外检测器检测为光学干涉信号。根据可移动反射镜的位置信息和根据光学干涉信号强度按可移动反射镜位置分布的信息，来执行傅立叶变换以计算每个波长的红外光强度，从而分析样品的成分。

不过，虽然性能棒棒，本领超凡，但FTIR却有一个关于自己“体型”的“烦恼”，那就是：真！的！太！笨！重！了！作为一个“精贵的月半子”，FTIR几乎只能止步于实验室中。面对应用场景中出现的在线检测、快速移动等需求，只能无奈说一句“臣妾做不到”了。

之所以传统的FTIR光谱仪体积非常大，主要是其中的核心部分——光学干涉仪占据了非常大的空间。虽然业界中也一直在推进小型化的工作，也推出了一些有助于缩小整机体积的内部FITR光谱组件产品。但体积的缩小，往往会带来入射光量和光能量损失的问题，许多产品也是在牺牲了灵敏度、信噪比等性能下实现的小型化。若想解决这个问题，内部元件、光路的创新性设计，以及提高工艺水平都是关键。

经过精心重构光学干涉仪的设计思路，并采用always独特的MOEMS技术，滨松成功开发出了一款高性能的微型化FTIR引擎。迈克尔逊光谱干涉仪和控制电路统统内置其中，仅手掌大小，却实现了在1.1-2.5 μm区域超高的灵敏度，具有远超同类产品的高信噪比表现（10000:1），以及高光谱重现性。可内置于便携式FTIR仪器中，实现整机小型化的同时，也可保证高性能的实现。

滨松新型FTIR引擎C15511-01

左：FTIR引擎结构图

右：内置在FTIR中的光学干涉仪结构图

这个FTIR引擎内部到底是有什么样的乾，什么样的坤，才实现了这样的性能的呢？下面我们来看看吧！

1、高灵敏度&高信噪比

上文我们也提到，入射光量和光能量的损失是小型化FTIR灵敏度和信噪比下降的一个重要因素。采用MOEMS技术，滨松开发出了一个直径3 mm的微型可移动反射镜，克服了缩小干涉仪尺寸而又不减少入射光量的挑战。这是信噪比得以提升的关键。

我们还通过先进的封装技术，将可移动反射镜和固定镜直接键合在一起，从而成功地将镜与镜之间的相对角度误差减小了约0.01度。光程差控制更加精确，灵敏度则得到提高。此外，还优化了移动反射镜的驱动器结构和驱动方法，以消除驱动反射镜时出现的模糊，YZ了红外光在光学干涉仪中的扩散，进一步减少了光损失。

当然，体积也进一步得到了缩小，57×49×76 mm，这样的体型仅仅是一般台式仪器的1/100。

2、高光谱重现性

一般的FTIR光谱仪基于干涉光（光学干涉信号）和可移动镜的位置信息执行傅立叶变换，以计算每个波长的红外光强度。而新FTIR引擎利用半导体激光器，可以精确地检测可移动反射镜的位置，增强了测量结果的可重复性。

除了硬件设施外，为了更加方便使用。滨松还开发了与该产品相匹配的软件，用于设置测量条件，获取数据和显示数据图。

评估软件

为了满足进一步的市场需求，滨松此后也将持续提高FTIR引擎性能，进一步减小其尺寸，以及将光谱响应扩展到更长的波长区域，敬请期待~

2023年6月28日上午，滨松中国半导体实验室在浦东新区举行了开业庆典。滨松中国总经理以及众多半导体行业龙头企业、相关产业专家和其他研究院合作单位出席了此次活动。该实验室致力于为中国华东地区的半导体客户提供更加直观的产品展示平台、全方位的技术支持基地以及技术交流的场所，全面助力泛半导体合作伙伴的蓬勃发展，该实验室的正式启用也对滨松中国布局半导体检测产业，进一步开拓中国半导体检测市场具有重要里程碑意义。

滨松中国半导体实验室的成立是继上海X射线检测实验室之后的第二个本土化实验室，更是滨松中国在后疫情时代“立足中心、辐射全国”发展战略的重要举措，将全面负责中国半导体客户技术支持，产品交流以及产品开发等工作。

中国半导体行业在过去十年的发展中，经历了“两次”重大的改变，从原有求“量”的规模化发展到如今求“质”的精细化发展，从原有局限于中低端产品的“制造”到如今追求高端产品的“自主研发”，十年间的每一步都走得坚定且有力，这每一点进步，每一点成就都要求我们在分析检测相关的方法、设备、技术方面不断地磨练升级。

十年间，滨松中国在半导体行业里面的探索从未停歇。为了把国际先进的检测和分析产品第 一时间介绍给国内客户，为了快速解决半导体客户目前存在痛点问题，为了给国内客户提供更加贴合其需求的本土化技术服务，滨松中国从2021年就开始在半导体客户聚集的上海浦东新区张江地区筹划建立属于国内半导体客户自己实验室，如今终落成。

实验室四大功能展区

滨松中国半导体实验室具备以下四大功能展区：

1、失效分析实验室：配备了PHEMOS-X、IPHEMOS-MPX等高端半导体检测设备，主要用于半导体失效分析产品展示、样品测试、配置方案确认等；

PHEMOS-X：滨松新推出的高精度微光显微镜，也是未来失效定位的主流产品，可以实现高端制程芯片精确失效定位。除了配置更加丰富的激光扫描光源之外，还配置高压，高低温等各种定制化探针台，满足各类芯片的失效分析需求。

IPHEMOS-MPX：高精度倒置微光显微镜产品，主要面向晶圆级或者复杂电路设计芯片的失效定位分析工作，具备微光发射，热发射，激光诱导发射，纳米镜头，固态浸润镜头，动态失效定位等多种分析方法集成一体的特点。

2、超净间实验室：十万级超净间，配备了MiNY PL、MiNY EL等高端半导体检测设备，主要用于Mini/Micro LED巨量检测产品展示，样品测试以及配置方案确认等；

MiNY PL：光致发光巨量检测设备，主要用于MiNi/Micro LED巨量快速在线检测，能实现传统电致发光方式不能达到的，每颗样品都可以独立测试的效果，大大提升了MiNi/Micro LED坏品检出率，实现早检出，早处理，降低后道工序修补成本。

MiNY EL：电致发光测试设备，主要用于MiNi/Micro LED电致发光检测，可以实现快速、自动化测试，是MiNi/Micro LED产品质控抽检、中试线工艺研发、PL/EL结果对比修正、屏体产品final test以及失效分析的利器。

3、备品间：主要用于备品备件存储，保证在常规流程的检测下，可以第 一时间为客户提供检测服务，以及必要的备品备件更换服务。

4、会议区：利用多媒体展示方式，为了来访客户提供全方位的技术培训、报告解析、产品培训、技术交流等服务。

搭建三个平台

滨松中国希望利用半导体实验室与国内客户一起搭建三个“平台”：1、展示平台：第 一时间引入国内外的高端半导体实验设备、技术与国内客户一同观摩共享，与国内客户一起进步和成长；2、培训平台：为滨松半导体用户提供基础、进阶培训，让客户深入了解滨松半导体设备使用的各方面信息，解决产品使用过程中可能存在的潜在疑虑，提升客户使用感受，提升产品使用效率。除了产品使用前的培训，在产品使用中的相关维护、维修等内容，滨松中国也力求为客户提供“100%”满意的服务；3、验证平台：定制化方案或者技术验证平台，为客户提供更加丰富的、可定制化的产品方案和技术服务。配套使用的第三方产品或者技术验证平台，为客户提供经过验证的、可靠的整体解决方案。

发展四个方向

滨松中国成立于2011年，是滨松集团在中国的市场与商务活动中心，全面负责滨松产品在中国销售、技术支持、售后服务，累计服务客户超过6500家，在上海、深圳、武汉均已成立分公司并且在这些地区还建立了一系列自有或联合实验室，以实现更快速、更贴合本土化需求的服务。滨松中国会持续提升半导体实验室软硬件水平，使其成为为中国半导体客户服务的平台和基地，更好地助力中国半导体市场的发展，在未来的发展当中会朝着“丰富”“高效”“灵活”“开放”这四个方面发展，即持续增加半导体检测相关产品以及滨松新发布的产品和技术展示；定期开展用户培训会，为滨松用户介绍更加高效的分析技巧和软件使用方式；为潜在客户开展定制化样品测试，找到最适合每位客户的产品配置方案；邀请行业内专家和用户交流半导体检测和失效分析方面的经验技术，为客户提供一个“畅所欲言”的平台。

“不断探索未知未涉”是滨松一直以来秉承的使命，滨松希望在光子一途，可以与越来越多的能人志士携手前行，一起推动中国光子产业的未来，引领属于“光子”的第四次工业革命。

滨松中国半导体实验室预计于今年6月28日正式投入使用，滨松中国半导体实验室，欢迎大家前来参观交流。

滨松中国半导体实验室建筑面积为340平方米，针对不同客户的使用场景专门设立了五个不同功能的使用区域。根据市场大环境与客户的实际要求出发，滨松中国参考了半导体产业的发展态势和行业特点，于2023年上半年从日本滨松总部进口了两款行业内具有代表性的Demo样机：FA半导体失效分析设备和Micro LED PL Inspection System。这两款设备主要用于中国半导体材料缺陷分析领域以及Micro/Mini LED产品存在缺陷问题时能够帮助客户进行精 准、快速定位。

图1 两款样机展示左：PHEMOS-X 右：MiNY PL

本次滨松中国半导体样机的引进，不仅能够帮助客户论述与验证工作场景遇到的诸多问题，还可以快速地帮助客户寻找到这些问题背后的原因并制定精 准的对策。全方位为客户提供便捷的服务、快速的应答机制同时还可以为特殊客户进行远程在线故障诊断和问题查找等服务。除此之外，还可以为客户提供相应的技术咨询和样品Demo测试。关于产品新功能以及新应用等相关内容也会定期地同客户进行线上或者是线下的技术交流。

为了让大家更好地了解半导体实验室相关产品的功能与特点，接下来将为大家详细介绍滨松中国自主研发的FA半导体失效分析设备，2023年全 球同步上市的最 新款机型PHEMOS-X微光显微镜。

PHEMOS-X 实测案例

众所周知，半导体芯片出现功能失效时，针对电性测试（EFA检测）而言，业内以往传统的分析方法主要是：红外热成像探测、液晶涂抹显影探测、电路回路探测等等。这些方法不仅会造成消耗的时间太长，而且还会遇到一些共同的缺点，比如：需要使用特殊试剂才能达到测试条件，需要借助化工原料作为激发媒介、芯片在物理破坏下才能进行探测等等。这些传统测试方法带来的测试结果会导致无法第 一时间找到失效坐标，大大增加了不良品流向市场的概率。

日本滨松公司从上世纪80年代开始致力于半导体材料的分析与深入研究，多年以来经过技术的不断积累和创新，研发出了高稳定性、高品质的PHEMOS-1000系列产品。在2023年年初正式向全 球同步发售了新一代FA产品PHEMOS-X 以及iPHEMOS-MPX。随着这两款新产品的正式推出和发布，我们希望将来针对高制程产品的失效定位和特殊产品的精 准探测等能够更好地提供新的解决方案和全新的思路参考。

图2 微光显微镜C15765-01

首先我们通过3组实测案例为大家说明该产品的实际使用效果，基于此再为大家进一步说明获得此种检测效果所需的技术原理和特点。

案例一 PCB板级布线工艺缺陷

背景说明：客户的一批PCB电路板（部分产品）存在短路现象。但是客户工厂不具备高精度的测试仪器和分析设备。为了尽快找到发生短路的具体位置，客户借助了滨松公司自主研发的Thermal热红外相机对这批部分短路的PCB电路板进行了全面的热成像检测。最 终滨松帮助客户精确地找出了PCB板中存在短路的坐标位置，同时也给后道工程提供进一步分析的方向和参考意见。

图3 PCB板级布线工艺缺陷案例

案例二 手机屏坏点失效

背景说明：客户在给手机屏幕通电测试时，发现屏幕上面有多处明显的黑点（属于上电后不亮故障）。客户在利用传统的分析方法下，始终未能找出真正的失效坐标。为了防止这类有缺陷的产品流入终端市场，影响品牌形象。客户联系了滨松FA样品测试工程师，表示希望可以在测试现场一起进行样品的测试与技术交流。本次测试使用的是滨松公司自主研发的InGaAs红外相机，成功地为客户找到失效位置。

图4 手机屏坏点失效案例

案例三 手机摄像头失效

背景说明：客户在启动相机软件进行拍照时，手机会瞬间出现黑屏现象并会直接退出相机的应用程序（类似闪退的问题）。而且在手机摄像头（小范围内）手指触摸时会有较为明显的发热现象。客户取出手机内部的相机主芯片之后，使用了伏安特性仪器对这颗有问题的芯片进行了IV曲线的测量，发现在芯片中的某一路的电路回路中有明显漏电的现象。借助滨松公司自主研发的Thermal热红外相机进行全方位分析，最 后成功地找出了芯片失效的热点坐标，并为客户提供了后续工程的进一步分析思路与参考建议。

图5 手机摄像头失效案例

PHEMOS-X 产品特点

PHEMOS-X 微光显微镜C15765-01采用的是国际上最 先进的相机传感器制造封装技术。

特点一：国际领先相机传感器制造封装技术

日本滨松自主研发的InGaAs红外相机（950 nm-1550 nm）采用的是水冷型方式（-70℃）对相机工作时候的温度进行有效温控和降温。此外，Emmi-X系列产品更具有较高分辨率（1024*1024）以及较高的量子效率QE值可达到90%。

PHEMOS-X微光显微镜搭配的是1.35倍高灵敏度大视野FOV红外镜头，它可以同时满足Emmi分析和OBIRCH分析两种功能使用，上一代机型只能用于Emmi单一功能的使用，对于体积较大的元器件而言具有较高的尺寸覆盖面和较高的灵敏度提升。日本滨松公司自主研发的第7代IR-OBIRCH高灵敏度放大器（Amplifier System V7.0）也同时进行了发布和推广。V7.0版本的OBIRCH放大器不仅继承了V6.0旧款放大器较高精度的探测优点，在该基础上日本滨松公司研发出了独有的四象限通道测试专利技术和有效的扩展功能，在某些特定的测试环境下，漏电测试可以达到1 PA的极高理论值。四象限通道均可在软件中自由切换和使用，这些模式有：V1模式、I1模式、V2模式、V3模式。客户们可以根据被测物的属性和测试要求等来选择正确的模式通道。

图6 不用的模式通道

此次，日本滨松软件开发团队专门为PHEMOS-X系列产品量身定制了全新的测试软件Semishop4.0版本。从原来的四个分析窗口扩展到了6个窗口，而且在新版本4.0软件登录程序菜单中，客户们还可以建立属于自己的用户ID和登录密码。同时，还可以根据平时自己的使用习惯和喜好等来对这些按钮和功能进行重新排列和保存。新版本登录时客户最 多可以创建50个不同的账号ID，进一步满足了不同客户的使用需求和应用场景。

图7 全新的测试软件

特点二：可同时搭配5种激光光源

PHEMOS-X微光显微镜C15765-01根据不同的客户需求，最 多可以在一台机器内同时搭配5种不同波长范围的激光光源，可以同时满足静态测试和动态测试的需要。为了应对不同的测试环境和复杂的测试条件，针对第三方检测机构的客户群滨松一般会优先推荐搭配使用三种不同波长的激光光源（1.3 μm，1.1 μm，532 nm），这种搭配模式最 大的优势是可以针对SI/SIC/SIN/GaAS等不同的半导体材料进行不同的探测和分析，以到达多材料的分析和技术覆盖。

全新设计的MACRO LENS的特点：

• 倍率为1.35X的微距红外镜头具有较高的数值孔径(N/ A=0.4)。它对弱光发光和IR_OBIRCH微弱信号处理起到更好的侦测作用；

• 全新的1.35X镜头可以同时兼容Emmi亮点分析和IR_OBIRCH信号探测两种功能（可共同使用）；

•功能应用包含以下：DALS/Digital Lock-in / EO Probing analysis / EOFM Function/ Laser Marker High Power Device Analysis。

半导体两种发光机制科普介绍

半导体主要有两种发光机制：

1、热载流子能量释放(Relaxation accompanied with light emission) 

当载流子经过电场时加速获取到足够的动能(kinetic,热载流子)以光的形式进行释放的一种持续的过程。此过程程发生在同一能带(intra band process).即未跨跃能阶带。

2、电子空洞结合(Radiative Band-Band Recombination) 

导带与价带(valence band)的电子空洞相结合，不在能带间进行转换的一种过程。

图8：Si硅材料Bandgap是1.1eV(常温下)；SiO2的Bandgap为5.2eV；EC为导带的底部能级；EV为价带的顶部能级；EG为禁带宽度（为EC和EV之间的能量间隔）；导带（Conduction Band）指自由电子存在的能带。有自由电子的存在，固体材料才能够导电。价带（Valence Band）是价电子能级对应的能带；禁带（Forbidden Band）指价电子要成为自由电子，就必须获得足够的能量进行跃迁到达导带，这时候能量的最 小值就是它的禁带宽度。

关于滨松中国半导体实验室以及半导体失效分析系统的内容已经全部讲解完毕，如果有任何问题都可以在评论区提问，以下滨松中国产品技术工程师会第 一时间为您解答。

“滨松公司在光电技术应用方面是世界顶 尖的厂家，我们知道只要这个公司愿意，没有什么干不了的事情。这可不是恭维的话。”

这是小柴昌俊在其自传《我不是好学生》中对滨松公司的评价。由此拉开了滨松公司PMT助力小柴昌俊问鼎诺贝尔物理学奖的序幕。

▲小柴昌俊与20英寸光电倍增管合影

第 一次助力诺奖：小柴昌俊与中微子

当时，小柴昌俊与麻省理工学院（以下简称麻省理工）同时在进行质子衰变的实验。麻省理工使用了7000吨纯水和直径12.5厘米的光电倍增管来捕捉质子衰变的切伦科夫光，而小柴昌俊的神冈实验场内只有3000吨纯水，并且由于实验场地和经费的限制，无法增加纯水的容量和光电倍增管的数量。在经过一番周密的计算，小柴昌俊确定光电倍增管的直径必须要达到50厘米，才能与麻省理工一较高下。面对如此困境，是放弃还是博弈，小柴昌俊给出了自己的答案。

20英寸光电倍增管：一次史 无前 例的创新

他又一次找到了时任滨松公司社长的昼马辉夫先生，要与公司开展一次后人看来具有历史性意义的“大合作”。说到又一次，是因为在此之前，小柴昌俊从事正负对撞的实验时，发现光电倍增管在磁力很强的磁铁旁边很难使用。于是拜托滨松公司改进，滨松公司秉持着对科学研究孜孜不倦的攻坚精神，成功地开发出能够在磁铁旁边使用的升级版光电倍增管。正是由于上一次的光电倍增管升级事件，飞跃性地提升了滨松公司在小柴昌俊心中的地位，也就有了小柴昌俊在本文开头提到的对滨松公司如此之高的评价，只要滨松公司愿意，就没有什么他们不能完成的任务。

小柴昌俊邀请时任滨松公司社长昼马辉夫先生和技术主任来到研究室，并深刻阐述了光电倍增管再次升级将对正在进行的质子衰变实验成功与否所产生的关键作用。虽然社长先生被小昌柴俊的科学家精神深受鼓舞和感动，但在听到要将光电倍增管的直径由12.5厘米增加到50厘米的需求后，公司两人仍然认为这在技术上难度上相当之大，因此并没有马上答应这个请求。要知道，当时世界上直径最 大的光电倍增管也仅20厘米，而小柴昌俊的这一升级请求相当于将光电倍增管的世界极限性能翻了倍。
困难面前的犹豫不是退缩的信号，而是滨松公司在思考如何做得更好。

标准、材料、工艺，三大技术难关逐一攻克

现在，横亘在公司面前的是“三座大山”。一是“标准大山”，由于两种光电倍增管型号相差太大，从材料到设计，全部需要打翻原来的标准重新制作；二是“材料大山”，由于实验是在水下进行，所以光电倍增管的强度需要耐住水压，这样一来，玻璃材质性能成本自然要加大；三是“工艺大山”，新标准的光电倍增管显然无法用现有的机械制造，尤其在曲线的不同部位，玻璃的厚度也不尽相同，而误差却只允许几毫米，工作难度系数极大，这样只能请业内顶 级玻璃工匠极为小心精细地一个一个手工制作。

▲光电倍增管制造 

就这样，面对如何搬走眼前的“三座大山”，滨松公司与小柴昌俊在研究室内就着各种细节又足足讨论了3个多小时。 

多年后，对于当时的研讨情形，小柴昌俊显然是记忆犹新，并回忆道，“昼马社长本人对这项任务表现出了极大的兴趣，在谈话中可以感受到，昼马社长是一个干劲十足并且很值得信赖的人。”

▲滨松集团已故前任社长昼马辉夫先生 

这也坚定了小柴昌俊一定要说服昼马社长确定攻坚的决心。在打出了所有科研方面的“技术牌”之后，小柴昌俊又使出了自己的“感情牌”。小柴昌俊动情地说：“昼马社长的生日是1926年9月20日吧，我们是同一年生人。不过，我们的出生日期不同，我早你一天出生，所以我就是你大哥。在咱们国家，对年长者说的话要老老实实地听哟！”昼马社长也终于下定决心说：“那就试试看吧！” 长幼尊卑的这种说法应该只是一个由头，但滨松公司下定决心了，就一定会完成。

夜以继日，20英寸光电倍增管终于做出来了

为了尽快完成任务，滨松公司与小柴昌俊研究室的两名研究员一起夜以继日的展开研究与实验。仅仅一年后，经过共同的努力，光电倍增管的样品终于成功做出来了。反复试 用的结果证明，直径50厘米的光电倍增管用于实验是可行的！它的实验敏感度是麻省理工使用光电倍增管的16倍，它可使实验室的观测能力增强一千倍以上，性能如此之高，就连天上月亮上的一束手电光亮也可以捕捉到。

▲20英寸光电倍增管 

直径50厘米光电倍增管的成功研发，为一年前的“夜话之约”交出了圆满答卷，再一次验证了小柴昌俊对于滨松公司的评价，没有什么是滨松公司不能完成的。 随着光电倍增管批量的生产，关于价格的讨论也随之而来。

1000支PMT售出，滨松财务出现了3个亿赤字

按照研发等各种成本核算，这种直径为50厘米的光电倍增管单个售价应不少于30万日元。但是小柴昌俊却对这种物有所值的新产品不认账，还美其名曰这次实验是日本国民的纳税支付的，所以实验组不能如此大手笔的购置光电倍增管。与此同时，小柴昌俊还打起了自己的算盘，称“我们还支援了你们两名优秀的研究人员，他们应该抵一部分开发经费，所以按照成本价计算，一个光电倍增管以12万元为好。”

昼马社长乃至整个公司科研团队都简直被小柴昌俊震惊了，虽然情感上很难接受，但为了将研发的产品发挥最 大的价值，公司最 终还是做出了让步，且堪称是巨大让步，因为这让滨松公司账面上赫然出现了三个亿的赤字。最 终，滨松公司以最 高的标准为小柴昌俊的神冈探测实验提供了1000支光电倍增管。 

三个亿的赤字，出现在当时任何一家商贸公司的账面上，相信无论是谁都会为当时的决定悔恨地直拍大腿。滨松公司也不能免俗，昼马社长也不免发出这样的感慨：“要不是小柴先生，我们怎么能出现三个亿的赤字！”

古语有云：“塞翁失马，焉知非福。”一时的得失，只是让滨松公司在当下觉得愤然，但是从长久来看，对于自身产品技术实力不断的提升，对于国家科研项目的支持，对于宇宙间未知未涉的向往，才是滨松矢志不渝竭尽全力追求的终 极目标。

随着光电倍增管的到位，纯水的注入，实验探测正式开始。监测、排查、记录、分析；再监测、再排查、再记录、再分析，循环反复的实验，静静地等待着捕捉质子衰变而产生的切伦科夫光。然而，在众人的兴奋与期待中，时间一天一天流逝，实验并没有给人们带来想象中的惊喜，因为探测并没有获得什么突破性的进展。从失落到失望，这种“无进展”探测被预测可能将持续到小柴昌俊退休后，这意味着直到1987年3月，小柴昌俊可能将带着终身的遗憾退出科研舞台。

▲神冈实验室

滨松光电倍增管助力小柴昌俊获诺奖

如果看不到曙光，请相信命运的礼物正在路上，它也许迟到，但终会到达。1987年2月23日，这一天必将为历史所铭记，因为此前一直没有检测到质子衰变的神冈探测器，在那一天成功探测到了距离地球16万光年的超新星爆炸释放出来的中微子，且数量多达11颗。至此，在与麻省理工的科研竞赛中，由滨松公司参与贡献的超级光电倍增管助力中微子探测项目大获全胜。凭借此研究成果，小柴昌俊也获得了2002年诺贝尔物理学奖的殊荣。滨松公司也自然成为了助力小柴昌俊获得诺贝尔奖重要力量，在业界名声鹊起。

▲小柴昌俊与诺奖合影

至此，滨松公司完成了第 一次对诺奖的助力，但这又绝不是最 后一次。

第二次助力诺奖：梶田隆章与中微子振荡

科研的脚步从不会因为一个奖项的获得而止步，神冈探测器的使命也不止如此。1996年，在小柴昌俊的推动下完成了探测器的迭代升级，超级神冈探测器正式创立。超级神冈探测器是一个由高41.4米、直径39.3米的圆柱形容器构成。这一次，滨松公司一共为其提供了11200个直径为50厘米的光电倍增管，并且将探测器的灵敏度提高为首代神冈探测器的两倍。梶田隆章开始利用超级神冈探测器观测飞入大气的中微子。探测很快获得重大发现，即宇宙射线与地球中大气撞击产生的μ中微子，在穿行地球1万余公里的过程中变身为τ中微子，这种现象被称为“中微子震荡”。这一发现，证实了以往被认为没有质量的中微子是有质量的，从而颠覆了基本粒子物理学的标准理论，树立了该领域研究的新的里程碑。梶田隆章也因此获得了2015年的诺贝尔物理学奖。

梶田隆章在2015年诺贝尔物理奖揭晓后的记者会上说：“虽然是以我个人的名字获奖，但我觉得其实这是超级神冈探测器以及神冈探测器的研究团队得到了认可。”

▲梶田隆章（图片来源网络）

第三次助力诺奖：希格斯玻色子理论

至此，滨松公司又一次光荣地完成了对诺奖的助力，而这是第三次。那么，第二次呢？

那是在2013年比利时理论物理学家弗朗索瓦·恩格勒和英国理论物理学家彼得·希格斯被授予诺贝尔物理学奖。他们获奖的希格斯玻色子理论预言研究实验探测装置，使用了大约10540只PMT及14000APD。

▲左：恩格勒 右：希格斯 （图片来源网络）

不要说“我不能”，而要说“我会去尝试”。无论是多么艰巨的任务，无论是多么苛刻的条件，只要滨松公司承诺了，就一定会做到。

光，即可能性本身。正如现任滨松光子学株式会社总裁昼马明所言，“多年的基础研究中闪现出很多意想不到的新产品和应用，英语中称之为‘Serendipity’,即虽然不是开始所设想的方向或目标，但由于目标很高很广，中间会产生许多意外的‘果实’。”

▲滨松集团时任社长昼马明先生

路漫漫其修远兮，吾将上下而求索。在21世纪光的时代，为了今后的可持续发展，滨松将回到创业时的初衷，充分发挥“滨松制造”的工匠精神，继续探索人类的未知未涉，继续深耕于强化核心技术和新的光子技术应用，为拓展各种产业之可能性提供“关键使能技术”，以科技创新，赋能未来！

2021年4月8-10日，ZG整合生物样本学大会即将在上海开展，滨松ZG受邀参加，展位号B35。

本次会议由ZG医药生物技术协会、ZG医学科学院主办，ZG医药生物技术协会组织生物样本库分会、复旦大学附属中山医院、生物芯片上海国家工程研究ZX等承办。会议邀请了包括10余名院士在内的100余名生物样本库、转化医学及JZ医学领域知名专家，对我国生物样本库标准化建设及应用展开交流。

在本次大会中，滨松ZG将ZD展示NanoZoomer系列的病理切片扫描仪以及我们ZX的数字病理图像分析软件，利用全流程的数字病理方案帮助大家解决问题。以NanoZoomer S360和S60数字病理切片扫描仪为例，S360以“高速、高通量”著称，数字病理切片20倍/40倍扫描（15mm*15mm）只需30秒， S60具有明场与荧光两种扫描模式，兼容双倍标准尺寸的大型切片，可广泛的应用于组织样本库领域。更多产品详细信息欢迎来到滨松ZGB35展位与我们的工程师详谈。