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激光探针台使用及测试内容？

探针台大家不陌生了，是我们半导体实验室电性能测试的常用设备，也是各大实验室的熟客。优点太多了，成本低，用途广，操作方便，对环境要求也不高，即使没有超净间，普通的坏境也可以配置，测试结果稳定，客观。深受工程师们的青睐。

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。

最近北软实验室探针台再升级，趁机为大家总结一下探针台的用途，若您还有新发现，欢迎留言交流。

激光探针台服务内容：

1、激光打标；

2、表层修复线路（利用激光将两层金属线熔融连接）；

3、驱除短路点；

4、激光断线；

5、干扰芯片测试；

除了以上几项之外激光探针台兼备常规探针台功能：

1.微小连接点信号引出  

2.失效分析失效确认

3.FIB电路修改后电学特性确认

4.晶圆可靠性验证

一：手动探针台用途：

手动探针台应用领域：

Failure analysis  集成电路失效分析                   

Wafer level  reliability晶元可靠性认证

Device characterization 元器件特性量测               

Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成监控                     

Package part probing  IC封装阶段打线品质测试

Flat panel probing 液晶面板的特性测试                

PC board probing  PC主板的电性测试

ESD&TDR testing    ESD和TDR测试                      

Microwave  probing  微波量测(高频)

Solar太阳能领域检测分析                              

LED、OLED、LCD领域检测分析

二：手动探针台的使用方式：

1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场ZX。

5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，ZH则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。手动探针台技术参数。

手动探针台用途：

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。

手动探针台应用领域：

Failure analysis  集成电路失效分析                   

Wafer level  reliability晶元可靠性认证

Device characterization 元器件特性量测               

Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成监控                     

Package part probing  IC封装阶段打线品质测试

Flat panel probing 液晶面板的特性测试                

PC board probing  PC主板的电性测试

ESD&TDR testing    ESD和TDR测试                      

Microwave  probing  微波量测(高频)

Solar太阳能领域检测分析                              

LED、OLED、LCD领域检测分析

探针台应用

2020年比较艰难的开始了，好事多磨，相信经历过新型冠状病毒的洗礼后，我国的经济会有爆发式的增长。开年伊始就收到很多朋友对手动探针台使用问题的咨询，在此收集整理供手动探针台相关信息供大家参考。因经验有限，有说的不合适的地方，望大家指正。
一：手动探针台用途：
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。
手动探针台应用领域：
Failure analysis  集成电路失效分析                   
Wafer leve reliability晶元可靠性认证
Device characterization 元器件特性量测               
Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)
IC Process  monitoring  制成监控                     
Package part probing  IC封装阶段打线品质测试
Flat paneprobing 液晶面板的特性测试                
PC board probing  PC主板的电性测试
ESD&TDR testing    ESD和TDR测试                      
Microwave  probing  微波量测(高频)
Solar太阳能领域检测分析                              
LED、OLED、LCD领域检测分析

二：手动探针台的使用方式：
1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场ZX。
5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，Z后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。
6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除
当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
手动探针台技术参数。

三：手动探针台规格描述 
（以实验室常见的仪准ADVANCED八寸，六寸探针台为例） 

仪准科技致力于失效分析设备研发及测试服务：优势设备有手动探针台probe，激光开封机laser decap，IV自动曲线量测仪，微光显微镜EMMI,红外显微镜 

探针台载物台平整度：5μm
探针台右侧标配显微镜升降机构，可抬高显微镜，便于更换镜头和换待测物
探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm，并具备锁定功能
探针台右下方标配精调旋转轮，可微调控制台面升降范围25mm（客户有特殊需求，可以增大范围），精度1μm
6英寸或者8英寸载物盘可选，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式，ZX孔径250μm-1mm定制
卡盘可0-360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，标配角度锁定旋钮
大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动，移动范围为150mm or 200mm，移动精度为1μm
载物台具备快速导入导出功能，便于上下料
载物台up/down功能（选项）
可搭配金相高倍显微镜和体式显微镜，显微镜X-Y-Z移动范围2.5英寸，移动精度1um
可搭配4~8颗探针座，进行DC或者高频测试
可选附件
射频测试探头及电缆                                   

有源探头

低电流/电容测试

高压模块

激光修复

高清数字相机

探针卡/封装/PCB板夹具

Hot Chuck

防震桌

屏蔽箱

兼容测试仪器

各种型号示波器                                     
各种品牌型号的源表
安捷伦B1500、安捷伦4155、安捷伦4156                              
Keithley 4200
各品牌的网络分析仪                               

机台总述
重量：50kg（含显微镜）
尺寸：720mm宽*680mm长*80mm高（含显微镜）
动力需求：电源220V/1；4~6KG压缩空气

湖北半导体探针台捐赠，疫情当下，ZG经济发展将受到短暂的影响。仪准科技心系国家，将爱传递，特向受影响Z大的湖北省援助价值百万的探针台。  

援助方案分两部分，总价值超过100万人民币。

1、免费捐赠探针台产品（5台）

  A、 ADVANCED PW-400-PCKG   3套         

每套配置如下：

  B、ADVANCED MPW-600-PCKG   2套        

每套配置如下：

2、特价支持探针台产品（9台）。    

服务保障：所有探针台产品都免费安装，保固一年；

发货时间：所有探针台产品5月初统一安排出货事宜；

项目对接人：赵工13488683602；微信a3608433128

申请对象要求：        

  湖北省境内从事半导体芯片研究、生产的企业和高校（申请单位和安装地需同地）。

由于数量有限，申请对象的优先顺序：

（1）芯片产业：

diyi优先级：芯片设计公司；

第二优先级：芯片生产制造公司（封装和晶圆代工）；

第三优先级：系统厂商；

（2）科研教育：

diyi优先级：大中专院校

第二优先级：本科院校

第三优先级：ZD院校

申请时间：即日起至2020年4月28日

Z终结果公示时间：2020年4月30日（按照优先原则和申请时间来确定免费赠与名单并公示）

型号 KT-0904T-RL 加热制冷 KT-0904T 不带加热制冷 KT-0904T-R 加热 类型 加热型 400℃ 加热制冷型室温到-190℃-350℃ 低温型：室温到-190℃ 腔体材质 304 不锈钢 腔体内尺寸 φ90x40mm 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） 腔体抽气口 KF16 腔体进气口 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体出气口 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5 分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30 分钟） 样品台 样品台材质 304 不锈钢 样品台尺寸 26X26mm 样品台-视窗 距离 30mm（可选凹视窗间距 15mm） 样品台测温传感器 A 级 PT100 铂电阻 样品台温度 室温到 350℃（可选高低温样品台 高温 350℃低温-190℃） 样品台测温误差 ±0.2℃ 样品台变温速率 高温 10℃/min 低温 5℃/min 温控仪

 企业介绍：

济南创谱仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高科技企业。目前公司的手动探针台、光学隔振平台、光学积分球、电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化，国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。 创谱仪器主要生产经营：光源（氙灯/光催化氙灯光源，卤钨灯光源，氘灯，汞灯，多波长可调光源，激光器）、分光单色仪、光学积分球、光电探测器、数据采集器、光谱测量系统、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。 

　　我们诚心聆听用户的需要与批评，作为不断改进的动力，能让您满意创谱仪器的产品及服务，就是我们的成就。我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好全方位质量保证，就是要让您 “付有所值”，以合理的价位得到优质的产品，这是我们对您选择创谱仪器真诚的回报。 

　　济南创谱仪器始终以满足用户需求为宗旨，分别于北京、 深圳设立分公司，为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、优质产品、高效服务” 是我们的经营理念， 公司长期重视优质高效、短时间为客户开发产品及提供技术支持。济南创谱仪器真诚的希望与国内外同仁携手合作，为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。

产品信息：

◆主体材质采用进口航空铝，在保证稳定性的同时，保证线性移动精度

◆位移部分采用精密加工燕尾槽，采用分离式燕尾，可以保证位移精度

◆整体驱动采用手轮驱动，双顶丝设计，保证稳定性

◆匹配多功能调节夹具，可以180°旋转+60°定向倾斜，适用于在显微镜下定向调节探针，不阻挡视野

◆底部可调磁性底座，可以通过旋钮调节磁力的有无，磁性吸附5Kg，保证了整个系统的稳定性

技术参数：

◆探针位移行程：XYZ三维分别13mm+180°旋转+任意角度倾斜

◆整体结构外形尺寸：170mm×45mm×80mm（LWH）

◆探针整体位移精度：10μm

◆漏电精度：同轴线缆（10pA）

            进口三同轴线缆（100fA）

◆可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头

            进口三同轴线缆只能选择三同轴接口(Triaxial)

◆测量范围：电流：10pA/100fA-10A

            电压：≤1000V

◆适用于R/F量测、I/O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等

叉指微电极因其微小的电极间距结构，可用于各种小型化传感器。对于传统分析检测，包括色谱法、光谱法、质谱等方法，大多都需要昂贵的仪器和多种操作步骤，使得许多实际问题仍面临困难。开发高灵敏度、低成本、小型化的传感器尤为重要。本文综述了叉指微电极的研究进展，介绍了基于叉指微电极的传感器在各领域的广泛应用。

 小型真空探针台郑科探 KT-Z4019MRL4T是一款性高价比配置的真空高低温探针台。

高温400℃ 低-196℃ 测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜。公司致力于各类探针台，（包括手动与自动探针台、双面探针台、真空探针台、）、显微镜成像、光电一体化的技术研发，拥有国内专业的技术研发团队，在探针台电学量测方面拥有近十年的经验团队。

微电容单通道叉指电极探针台

微电容单通道叉指电极探针台KT-Z4019MRL4T

塞贝克系数（Seebeck Coefficient）也称为热电偶效应或Seebeck效应，是指两种不同导体（或半导体）材料在一定温差下产生热电动势的现象。塞贝克系数是研究热电材料（将热能转化为电能的材料）非常重要的一个参数，它用来衡量材料在一定温差下产生的热电压。

塞贝克系数的测量方法有很多种，其中一种常用的方法是恒流法。首先准备一个热电偶，它由两种不同材料的导线组成。然后将热电偶的其中一个节点保持在恒定的高温T1，而另一个节点保持在低温T2（不同于T1），使热电偶产生热电动势（热电压）。通过测量恒流状态下的电压值V以及温差ΔT，可以计算出塞贝克系数：

S = V / ΔT。

另外，还有一些其他的测量方法如闭环法、开路法等，各种方法都有其优缺点，具体选择哪种方法取决于实际的测试环境和需求。

解释塞贝克系数测量原理。

塞贝克系数（也称为Seebeck系数）是一个描述一个材料热电效应特性的参数，具体地说，它表示了一个材料中的电流与横向温差将产生的电压之间的关系。测量塞贝克系数的原理主要基于Seebeck效应。Seebeck效应是指在一种导体材料中，当两个不同导体之间有一个温差时，将产生一个电压。

测量塞贝克系数的实验装置通常包括以下部分：

1. 绝热材料底座：确保测试样品的温度稳定。

2. 样品夹持器：保持测试样品的固定。

3. 加热器：用于在样品的一端创建温差，从而在样品中产生Seebeck电压。

4. 冷却器：在样品的另一端保持较低的温度。

5. 热电偶：用于测量样品两端的温差。

6. 电压测量仪器：用于测量生成的Seebeck电压。

   在测量过程中，首先将测试样品固定在夹持器中，然后通过在样品的一端加热和在另一端冷却来创建稳定的温差。Seebeck电压将在样品两端形成，然后可以使用电压测量仪器将其测量出来。计算塞贝克系数所需的公式是：

Seebeck系数 = (产生的电压) / (热电偶测量的温差)

通过测量此特定温差下生成的Seebeck电压，我们可以计算出材料的塞贝克系数。

蒸汽发生器一般有几根探针?