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扫描电镜

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扫描电镜景深

类型:扫描电镜的其他知识 2019-03-14 13:28:39 3781阅读次数

  在景像平面上所获得的成清晰像的空间深度称为成像空间的景深,简称景深。扫描电镜对准的是固定的平面在,所以有个景深,在景深范围内,你可以看到清晰的像,而景深范围外的物体所成的像是看不清晰的。

什么是景深?

  在拍摄照片时,目标物体应该始终处于焦点位置,并尽可能地清晰。从艺术的角度来说,这无声地吸引了观察者的注意力。实际上,它揭示了对焦区域的更多细节信息。

  但是该物体中有多少部分是真正处于对焦状态,这部分占比又是如何调控的呢?对焦状态的图像部分始终是一个平面,这意味着我们只能对wan美的平面进行观察(拍摄)。幸运的是,只要它“足够接近”焦平面,我们的大脑可以处理那些稍微脱焦的部分。而这一部分则被称为景深。

  影响扫描电镜景深的因素有几个,调节这些参数,拍摄照片所包含的信息就会变多或变少。光圈大小和聚焦装置(摄影中的镜头和扫描电镜中的物镜)起着重要作用。

  成像设备和拍摄目标之间的距离也是很关键的。一般来说,当物体离得很远的时候,景深会增加,而更多的物体会变得足够清晰,使得大脑能够处理并区分它们。

  当物体靠近时,景深会急剧下降,而锐利程度或分辨率会增加,从而可以看到物体太远时所观察不到的细节。

扫描电镜是如何聚焦的

  在扫描电镜中,焦点是入射电子束圆锥直径Z小时的位置。灯丝发射电子束,镜筒内的电磁透镜以及末端光阑,约束电子束,并决定Z小束斑尺寸。

  当电子束直径接近Z小值时,分辨率将提高。该Z小值通常是在特定的、Zyou的工作距离下获得——工作距离即物镜极靴下表面和样品的间距。工作距离过长或过短时,电子束直径的Z小值将会变大。此时,也就无法获得Z佳分辨率。不过在这些情况下,仍然是可以对焦的。

  扫描电镜电子束直径Z小处所对应的水平面即所说的焦平面。当电子束对焦时,所有处于该焦平面上的特征物都是非常清晰的。调焦意味着改变这个平面的高度。在该平面之上或之下的所有特征将逐渐变得越来越模糊,直至无法辨识。

扫描电镜工作距离如何影响景深

  总结一下刚才所讨论的:景深指的是工作距离的一段范围,在该范围内,图像的清晰度可以接受。而Z佳工作距离可以在对焦时提供Z佳分辨率。

  然而,有某些情况下,扫描电镜分辨率变得不那么重要,景深对结果的影响则要大得多。例如,在观察较高样品时。观察昆虫时,能区分所有的特征,例如腿和头顶,是至关重要的关键。在观察电连接时,同样如此。在一张图中可以同时看清整根电线和两端的连接触点,从而对样品有全面的了解,这很有意义。对于这些情况,较长的工作距离(同时尽可能Zyou)有助于获得更大的景深,并在图像中清晰地观察到更多细节。

  当样品距离极靴更近时,电子束的锥角更大。这意味着稍微偏离焦平面就会导致电子束直径的明显变大,从而图像明显模糊。当工作距离较长时,锥角较小,稍微远离焦平面不会使图像明显模糊;工作距离缩短,锥角很大,远离焦平面会使电子束直径明显增加,因此图像模糊。另一方面,焦平面上的光束直径更小,分辨率更好。另一方面,当样品距扫描电镜物镜较远时,光束角较小,并且偏离焦平面所引起电子束直径变化也更小。因此,可以相对清晰地观察到不同高度处的所有特征点。

  扫描电镜的景深可以从几微米变化几毫米,适当调整景深可以获得Z佳的分析结果和成像质量。选择合适的工作距离与正确制备样品是一样重要的。就比如,对样品喷金可以增加有机物样品的背散射电子产率。


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