扫描电镜技术
扫描电镜是材料表征时所广泛使用的强有力工具，具有景深大，图像富有立体感，分辨率高，图像放大倍数高，显像直观，样品制备过程相对简单，可连接EDAX(X-射线能谱分析仪)进行微区成分分析等特点。被广泛应用于生物学、医学、古生物学、地质学、化学、物理、电子学及林业等学科和领域。
扫描电镜成像技术
扫描电镜操作有许多调整环节，但Z终反映在扫描电镜参数的变化上，对图像的形成和质量均有直接影响。图为入射到样品表面的电子束，其中有四个参数加速电压E0、电子束流Ip、电子束斑直径dp、孔径半角ap与电子束直接相关;V为样品附近的真空度。分别设定或调整以上几个参数，可以获得不同的成体模式。
1、常规成像
按常规操作要点调整扫描电镜，可以获得优质图像。对于大多数样品能够满足要求。
2、低衬度成像
减小聚光镜激励，增大dp，使得ip显增加样品也可以适度倾斜。适于自然衬度低的样品的观察，如表面平坦或成分均一的样品。
3、大景深成像
选用大工作距离(WD)和小物镜光阑，使ap减小，提供大景深图，样品深度方向的细节可以辨认，适用于材料断口或表面起伏大的样品。
以上三种成僚技术在常规扫描电镜上均可以实现，也是Z常用的技术。
4、高分辨成像
选用较高E0，例如20kv～30kv增加聚光镜激励，减小dp减小WD;选用场发射电子枪和Inlens探测器等是高分辨成的必需条件。对于纳米材料的研究是非常必要的。
5、低加速电压成像
选用低加速电压，例如E0=1kv～5kv，获得样品表面的形貌和成分，也适于直接观察不导电样品。这种成技术在场发射扫描电镜上得到广泛应用。
6、可变压力成像
这是近十年发展起来的一种特殊功能。改变样品周围的真空状态V，例如真空度在0.1Pa～3000Pa之间可调，包括可变压力或环境扫描两种成技术，可以直接观察含水或油性样品，有利于动植物研究，极大拓展了扫描电镜的应用领域。
7、电子背散射衍射技术
这是分析研究晶体样品的有效手段，利用晶面反射电子成像，表征样品的晶体学特性，如织构、晶粒尺寸和取向等。
扫描电镜技术特点
扫描电镜测试技术特点主要有:
1、聚焦景深大。扫描电镜的聚焦景深是实体显微镜聚焦景深的50倍，比偏反光显微镜则大500倍，且不受样品大小与厚度的影响，观察样品时立体感强。
2、二次电子扫描图像的分辨率优于100埃，比实体显微镜高200倍。可以直接观察矿物、岩石等的表面显微结构特征，清晰度好。
3、放大倍数在14～100000倍内连续可调。填补了光学显微镜和电子显微镜之间放大倍数的空白，便于在低倍下寻找位置，在高倍下详细观察，且不用重新对焦，易于了解局部和整体之间的相互联系。
4、不破坏样品，制样方便，样品大小几乎不受限制。
5、扫描电镜是一种有效的理化分析工具，通过它可进行各种形式的图像观察、元素分析、晶体结构分析。
扫描电镜特殊之处在于把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。
扫描电镜技术的应用
1、扫描电镜技术在木材工业中的应用
世界上林业发达的国家，如欧美及日本等国均大量采用扫描电镜技术来研究木材解剖、木材化学、木材物理及力学等方面的性质，为树种的改良、木材改性及应用提供了有力的科学依据。近年来，在木材学研究领域，我国也大量应用了扫描电镜技术。在20世纪80年代，ZG林科院的科研人员就使用SEM505型扫描电镜对ZG裸子植物木材的超微构造进行研究，填补了我国在该研究领域的空白。
2、用于纺织品文物表面物的表面形态分析和元素分析
因为纺织品文物的制作工艺一般都比较复杂，它的制作历经染色、刺绣、掺杂金属丝线等工艺，另外纺织品文物表面一般附有污染物。因此应用扫描电镜—能谱仪对纺织品文物上表面物的分析研究(例如鉴定染料成分、分析污染物成分等)对纺织品的文物保护具有十分重要的意义。
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- 扫描电镜技术
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- 扫描电镜简介
- 扫描电子显微镜简称为扫描电镜，英文缩写为SEM。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。
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- 扫描电镜基础知识
- 扫描电镜是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。
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- 扫描电镜展望
- 扫描电镜是一种超高速、高分辨、全自动、快速成像、场发射电子显微分析设备，在IT行业计算机、半导体、互联网、移动通讯、人工智能发展神速。对促进我国产业发展有着重要意义和实用价值。
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- 扫描电镜景深
- 在景像平面上所获得的成清晰像的空间深度称为成像空间的景深，简称景深。扫描电镜对准的是固定的平面在，所以有个景深，在景深范围内，你可以看到清晰的像，而景深范围外的物体所成的像是看不清晰的。
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- 扫描电镜历史
- 扫描电镜的制造依据是电子与物质的相互作用。扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
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- 扫描电镜发展
- 扫描电镜用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在扫描电镜都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。
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- 扫描电镜应用领域
- 扫描电镜一种新型的多功能的，用途最为广泛的电子光学仪器。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
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- 扫描电镜选购指南
- 扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。现在市面上的扫描电镜分为台式扫描电镜以及大型场发射扫描电镜等。
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- 扫描电镜特点
- 扫描电镜全称扫描电子显微镜(SEM)，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
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- 扫描电镜功能
- 扫描电镜是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。由镜筒、电子信号的收集和处理系统、电子信号的显示和记录系统、真空系统和电源系统等组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。
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- 扫描电镜应用
- 扫描电镜是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。成像是采用二次电子或背散射电子等工作方式，随着扫描电镜的发展和应用的拓展，相继发展了宏观断口学和显微断口学。
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- 扫描电镜用途
- 扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜还具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器。
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- 扫描电镜分类
- 扫描电镜全称扫描电子显微镜，是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来，迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。
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- 扫描电镜管理制度
- 扫描电镜为大型精密仪器设备，为保证设备安全及正常运行，应加强对扫描电镜的管理，充分发挥其使用率、完好率，更好地服务于检验工作。
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- 扫描电镜能谱分析
- 扫描电镜是利用精细聚焦的电子束照射在样品表面，电子束与样品相互作用产生各种信号这些信号经相应的探测器接收，用于研究各种材料的微观形貌；配上能谱仪、波谱仪等附件，可对材料元素成分进行分析。
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- 扫描电镜使用方法
- 扫描电镜通过电子束在样品上进行逐点扫描，获得三维立体图像，图像观察视野大、景深长、富有立体感。在观察样品表面形貌的同时，进行晶体学分析及成分分析。
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- 扫描电镜参数选择
- 扫描电镜参数众多，皆可显示在图片下方工具栏中，但决定图像质量最直接、最关键因素是加速电压（EHT）、工作距离（WD）、放大倍数（Mag）和检测器种类。
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- 扫描电镜维护保养
- 要把扫描电子显微镜使用好，日常的保养和维护非常重要。通过维护保养，还能够发现扫描电镜潜在问题，能够及时修正和解决问题，避免事态扩大，减少损失。
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- 扫描电镜粉末样品制备
- 粉末样品的颗粒形状、颗粒大小及组成、颗粒表面的微观形貌组织、内部结构等粉末特性是其重要的物理性能，用扫描电镜来观察粉末样品的各种复杂结构与性能具有独特的优势和特点。
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