●样品尺寸：４英寸基片向下兼容 ●10个源炉接口，其他数量可定制 ●具有快速进样及传样的特点；最多暂存5片样品，其他数量可定制 ●兼容SPM、RHEED、QCM、BFM等多种原位生长...

● 样品类型：粉体样品，旗形样品，其他样品类型可定制 ● 可与超高真空XPS，STM，及其他UHV系统互联 ● 腔体最高加热400℃，控温精度±1℃ ● 复杂管气路，可最多具备八种...