中科艾科米(北京)科技有限公司
●样品尺寸:4英寸基片向下兼容 ●10个源炉接口,其他数量可定制 ●具有快速进样及传样的特点;最多暂存5片样品,其他数量可定制 ●兼容SPM、RHEED、QCM、BFM等多种原位生长...